技术特征：
技术总结
本发明提供一种自由曲面光学元件的面形检测装置和检测方法，该装置包括两个高精度直线运动轴、一个高精度旋转轴、真空吸盘和精密探针。该方法是将被测自由曲面的面型方程输入至计算机中，得到其极坐标表示方式；检测时，利用直线运动轴控制径向方向的半径与矢高，利用旋转轴控制角度方向的位置，三轴协同运动，使精密探针沿着待测自由曲面表面作螺旋线运动；同时，利用精密探针测量各个位置的实际矢高值，其与该位置理论矢高值的偏差便为该位置的面形误差，测得多个极坐标位置点的面形误差，再利用Zernike多项式拟合，便可得到整个面的面形误差分布。这为自由曲面光学元件的面形测量提供了一种有效的方法，在光学元件制造领域有着较大的工程应用价值。
技术研发人员：李世杰;刘卫国;郭忠达;李宏;阳志强
受保护的技术使用者：西安工业大学
技术研发日：2017.05.10
技术公布日：2017.08.18