探针、探针卡和接触检查装置的制作方法

文档序号:14077331阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
探针、探针卡和接触检查装置。根据本发明的探针(3)包括:探针基体(4),其具有作为在检查时与测试对象(7)接触的部分的第一端(4a)和与触点构件(17)接触的第二端(4b);覆盖构件(5),其覆盖第一端(4a)与第二端(4b)之间的探针基体(4);以及扩径部(6),其设置在探针基体(4)的位于第二端(4b)侧的露出部(41)。通过使覆盖构件(5)的位于第一端(4a)侧的末端部(5a)压靠接触检查装置(1)的基部(37),将探针(3)安装在弯曲变形状态。探针基体(4)的第二端(4b)通过归因于该压靠的反作用力而压靠触点构件(17)的触点(16)。

技术研发人员:久我智昭
受保护的技术使用者:日本麦可罗尼克斯股份有限公司
技术研发日:2017.09.28
技术公布日:2018.04.03
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