探针、探针卡和接触检查装置的制作方法

本发明涉及探针、包括探针的探针卡和包括探针卡的接触检查装置，其中探针安装到用于例如电路板的检查的接触检查装置并通过压靠测试对象而使用。

背景技术：

日本专利no.4965341是该探针的现有技术文献的示例。该文献中的图7示出了探针安装到检查装置的结构。探针在探针销的长度方向上的中央部具有绝缘覆盖构件(绝缘涂层)。为了安装，将覆盖构件的位于顶端侧的端面锁定在检查装置的支撑部中的通孔的边缘部。这里，在探针的中央部弯曲变形的情况下，探针的基端部与电极板的末端接触。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利no.4965341

技术实现要素：

发明要解决的问题

传统的探针在执行检查时压靠测试对象。因而，中央部以覆盖构件与边缘部之间的接触位置(锁定位置)作为支点进一步弯曲变形，从而使弯曲量增大。探针的基端部通过归因于弯曲量增大的弹性与电极板的末端确定地接触。

当执行检查时，传统的探针的覆盖构件反复地受到从边缘部朝向探针的基端部的力。

然而，在传统的探针安装到检查装置时，与边缘部的接触会约束覆盖构件的位于顶端侧的端面(也就是说，与边缘部的接触会限制移动)，而覆盖构件的位于基端侧的端面不被约束(是释放的)。因此，仅覆盖构件与探针销的表面之间的附着能够使覆盖构件维持就位、抵抗在检查期间从边缘部施加到覆盖构件的朝向探针的基端部的力。

附着根据用于提供覆盖构件的方法和材料的类型而变化，并且附着不是均匀的。归因于检查，从边缘部朝向探针的基端部的力会反复地施加到覆盖构件，使得附着趋向于随时间减弱。

覆盖构件的与边缘部接触的部分特别地可能损坏，因为该部分反复地受到直接归因于检测的上述力。如果发生损坏，则可能无法维持探针的基端部与电极板的末端稳定地确定接触的状态。

在附着归因于附着的变化而变弱的情况下，覆盖构件可能会因为反复施加到覆盖构件的力而朝向探针的基端部错位。该错位会改变获得自中央部的弯曲变形的弹性的程度。因此，如果发生该错位，则可能无法维持探针的基端部与电极板的末端稳定地确定接触的状态。

本发明的目的是为了降低覆盖构件的归因于检查而被反复直接施力的部分损坏的风险、降低覆盖构件错位的风险，并由此维持探针的基端部与接触检查装置的电触点稳定接触的状态。

用于解决问题的方案

为了解决这些问题，根据本发明的第一方面的探针安装到接触检查装置并用于通过压靠测试对象而进行接触检查，其中，所述探针包括：探针基体，其具有第一端和第二端，所述第一端为与检查中设置的所述测试对象接触的部分，所述第二端与所述接触检查装置的电触点接触；以及覆盖构件，其在所述第一端与所述第二端之间覆盖所述探针基体，其中通过使所述覆盖构件的位于所述第一端所在侧的末端部压靠所述接触检查装置的基部，将所述探针安装在弯曲变形状态，通过归因于所述压靠的反作用力使所述探针基体的第二端压靠所述电触点，并且所述探针基体的位于所述第二端所在侧的、从所述覆盖构件露出的部分设置有扩径部。

这里，“覆盖构件的位于第一端(所在)侧的末端部”中的“末端部”是探针基体的与测试对象接触的顶端部。并且，末端部是从覆盖构件露出的露出部与覆盖部之间的边界部分。

这里，“扩径部”用于表示直径比探针基体的被覆盖构件覆盖的部分的外径大的结构部。扩径部优选与覆盖构件的位于第二端侧的末端部接触地设置，但是扩径部可以设置在能够实质上获得本发明的效果的范围内的微小距离处。

根据该方面，通过使覆盖构件的位于第一端侧的末端部压靠接触检查装置的基部，将探针安装在弯曲变形状态，并且通过归因于该压靠的反作用力使探针基体的第二端压靠触点。探针基体的位于第二端侧的、从覆盖构件露出的部分设置有扩径部。

探针在其安装到检查装置时通过与基部接触的位于第一端侧的末端部维持就位。换言之，末端部与基部的接触会约束覆盖构件的位于第一端侧的末端部。也就是说，末端部与基部的接触会限制移动。同时，扩径部还限制覆盖构件的位于第二端侧的末端部。也就是说，扩径部会限制移动。

在两侧约束结构中，不仅覆盖构件与探针基体的表面之间的附着被应用为止动件，而且扩径部的约束力也被应用为止动件。这通过在检查期间从基部施加到覆盖构件的朝向探针的第二端侧的力的反力维持了覆盖构件的位置。

约束力的施加使整个覆盖构件相对于探针基体的附着稳定化。这还使覆盖构件的在检查期间被从基部直接施力的部分(也就是说，覆盖构件的位于第一端侧的部分)的附着稳定化。结果，能够降低覆盖构件的归因于检查而被反复直接施力的部分损坏的风险。

在附着归因于附着的变化而变弱的情况下，即使上述力被反复施加到覆盖构件，扩径部的约束力也能够降低覆盖构件朝向探针的基端部错位的风险。错位会改变获得自探针的中央部的弯曲变形的弹性的程度，但是能够抑制此情况的发生。

还是在两侧约束结构中，覆盖探针基体的筒状覆盖构件会使抵抗长度方向上的压缩力的变形阻力增大。在这方面，也能够获得上述效果。

如上所述，根据该方面，能够维持探针的基端部与接触检查装置的电触点稳定地接触的状态。

根据本发明的第二方面的探针是根据第一方面的探针，其中所述扩径部通过对所述探针基体的第二端进行镀覆附着而形成。

根据该方面，扩径部通过对探针基体的第二端进行镀覆附着而形成，所以除了第一方面的效果以外，能够容易地制造扩径部。

根据本发明的第三方面的探针是根据第二方面的探针，其中用于所述扩径部的材料为导电材料，并且所述探针基体通过所述扩径部与所述电触点接触(换言之，探针基体的扩径部与触点接触)。

根据该方面，用于扩径部的材料为导电材料，使得扩径部能够被构造成与接触检查装置的电触点直接接触，除了第二方面的效果以外，这使得结构简化并将制造成本抑制在低水平。

根据本发明的第四方面的探针是根据第一方面至第三方面中的任一方面的探针，其中用于所述探针基体的材料为铜、铑、铜的合金或钯的合金，并且所述扩径部由设置于所述探针基体的表面的镍镀层和设置于所述镍镀层的金、钯、铑、铂、铱、钌和锇中的至少一种或多种贵金属的镀层或者所述贵金属的合金的镀层形成。

根据该方面，扩径部包括位于用于探针基体的诸如铜的材料与诸如金的贵金属的镀层之间的镍镀层，使得能够提高作为扩径部的电触点的电学特性的稳定性。

根据本发明的第五方面的探针是根据第一方面至第四方面中的任一方面的探针，其中用于所述覆盖构件的材料为电绝缘材料。

根据该方面，设置于探针的绝缘覆盖件能够用作具有各个方面的效果的覆盖构件，使得因为未增加部件的数量，所以是有效的。

根据本发明的第六方面的探针卡是接触检查装置的结构构件，其中，所述探针卡包括：探针头，其包括探针和引导构件，所述引导构件具有通孔并在所述探针插在所述通孔中时保持所述探针，所述通孔用于在检查期间引导所述探针的行为；以及触点构件，其被构造成能够从所述探针头分离并具有电触点，所述电触点在所述探针压靠测试对象时与所述测试对象接通，其中所述探针为根据第一到第五方面中的任一方面所述的探针，并且所述引导构件的一部分被形成为供所述覆盖构件的位于所述第一端所在侧的末端部压靠的基部。

根据该方面，探针卡能够获得第一方面至第五方面的所有效果。

根据本发明的第七方面的探针卡是根据第六方面的探针卡，其中所述引导构件包括第一端侧引导构件，其具有供所述探针基体的第一端侧插入的通孔，以及第二端侧引导构件，其具有供所述探针基体的第二端侧插入的通孔，并且其中所述第一端侧引导构件的通孔的轴线与所述第二端侧引导构件的通孔的轴线彼此错位，所述轴线的错位实现了所述弯曲变形。

根据该方面，探针的被预先设置的弯曲变形的构造能够在检查之前的状态容易地实现。

根据本发明的第八方面的接触检查装置包括：根据第六方面或第七方面的探针卡；移动单元，其使所述探针卡相对于被放在接触检查位置的所述测试对象相对移动；以及检查执行单元，其在所述探针与所述测试对象接触时执行检查。

根据该方面，用于例如电路板的检查的接触检查装置能够获得第一方面至第五方面的所有效果或者能够获得第六方面或第七方面的效果。

附图说明

图1是示意性地示出根据本发明的第一实施方式的接触检查装置的整体构造的方块图。

图2是示意性地示出根据本发明的第一实施方式的探针卡的截面侧视图。

图3是示出根据本发明的第一实施方式的在探针被安装之前的状态的截面侧视图。

图4是示出根据本发明的第一实施方式的在探针被安装之后的状态的截面侧视图。

图5是示出根据本发明的第一实施方式的在检查期间探针被加压和接触的状态的截面侧视图。

图6是示出根据本发明的第二实施方式的在探针被安装之后的状态的截面侧视图。

具体实施方式

以下参照附图详细说明根据本发明的实施方式的探针、探针卡和接触检查装置。

注意，在以下说明中，首先基于图1说明根据本发明的第一实施方式的用于例如电路板的检查的接触检查装置的整体构造的概要。接着，基于图2说明根据本发明的第一实施方式的设置在接触检查装置中的探针卡的构造。然后，基于图3至图5说明根据本发明的第一实施方式的作为探针卡的结构构件的探针的具体构造和操作。此外，说明用于用探针组装探针卡的方法以及使用接触检查装置对例如电路板执行的接触检查方法。

接着，基于图6说明根据本发明的第二实施方式的探针和具有该探针的探针卡的构造和操作。最后，说明本发明的构造与上述两个实施方式的构造部分不同的其它实施方式。

第一实施方式

(1)接触检查装置的整体构造的概要(见图1)

接触检查装置1包括探针卡11，探针卡11包括具有弹簧属性的导电探针3。在与测试对象7的测试部分接触时，探针3利用弹簧属性以适当的加压力压靠测试部分，由此建立电连接状态并执行接触检查。具体地，为了测量测试对象7的诸如电流值和各测试部分的电压差的电学特性，在该状态下探针3被通电，并且执行整个测试对象7的性能测试。因此，出于判断测试对象7的质量的目的而使用接触检查装置1。

作为接触检查装置1的测试目标的测试对象7的示例包括诸如印刷线路板的电路板、半导体晶片以及诸如封装ic和lsi的半导体芯片。与探针3直接接触的测试部分为例如载置于电路板的电路上的检查图案和被氧化物膜覆盖的电极。

具体地，本实施方式中的接触检查装置基本上被构造成包括：作为接触检查位置的载置部9，其供上述测试对象7载置于其上；将稍后说明的根据本实施方式的探针卡11a，其包括根据本实施方式的具有弹簧属性的多个探针3a；移动单元27，其使稍后说明的探针卡11a沿纵向z移动，纵向z为相对地靠近和远离放在接触检查装置1a的载置部9上的测试对象7的方向；检查执行单元29，其执行与稍后说明的探针3接触的测试对象7的检查；以及控制器25，其控制移动单元27和检查执行单元29的各种操作。

(2)探针卡的构造(见图2、图3和图4)

如图2所示，探针卡11包括作为主要结构构件的探针头15和平台18。探针头15包括具有弹簧属性的多个探针3和保持多个探针3的引导构件13。平台18被构造成能够从探针头15分离，并且包括触点构件(st连接盘(stland))17，触点构件17具有用于在探针3压靠测试对象7时与测试对象7接通的电触点16。

多个触点构件17设置在用于多层配线的接合基板21的输入端并与探针3的数量相对应。用于多层配线的接合基板21由例如空间转换器(st(spacetransformer))、多层有机物(mlo(multi-layerorganic))或多层陶瓷(mlc(multi-layerceramic))形成。

注意，主基板19设置在接合基板21的输出端并由增强板23增强。主基板19由例如层叠有陶瓷基板和配线基板的多层电子基板形成。

根据本实施方式的探针卡11a包括稍后说明的根据本实施方式的探针3a和引导构件13。引导构件13具有通孔14并在探针3a插在通孔14中时保持探针3a，通孔14用于在检查期间引导探针3a的行为。

根据本实施方式的探针3a包括探针基体4和覆盖构件5。如下所述，探针基体4具有：第一端4a，其作为在检查期间与测试对象7接触的部分；以及第二端4b，其与触点构件17的触点16接触。覆盖构件5覆盖第一端4a与第二端4b之间的探针基体4。引导构件13的一部分被构造成形成基部37，基部37压靠覆盖构件5的位于第一端4a侧的末端部5a。

在本实施方式中，引导构件13被构造成包括：第一端侧引导构件31，其具有供探针基体4的第一端4a侧插入的通孔14a；以及第二端侧引导构件35，其具有供探针基体4的第二端4b侧插入的通孔14b。

如图3所示，在本实施方式中，第一端侧引导构件31的通孔14a的内径d1被形成为大于探针基体4的外径d1且小于探针3a的外径d2，外径d2是探针被覆盖构件5覆盖的部分的外径。第二端侧引导构件35的通孔14b的内径d2被形成为大于第一端侧引导构件31的通孔14a的内径d1且大于探针3a的探针被覆盖构件5覆盖的部分的外径d2。

在本实施方式中，第一端侧引导构件31设置在限制沿纵向z和横向x两者移动的固定状态，纵向z为靠近和远离测试对象7的方向，横向x横穿纵向z。相比之下，第二端侧引导构件35设置在限制沿纵向z移动但允许沿横向x移动预定行程s的可滑动状态。

如图4所示，对具有此构造的引导构件13保持的探针3a预先执行基于预定行进量t而以加压接触力f加压的预负载，以使触点构件17与探针基体4的第二端4b之间的接触状态稳定化。通过预负载对触点构件17向下加压，同时第二端侧引导构件35沿横向x移动预定行程s。在这种状态下，通过未示出的固定机构使第二端侧引导构件35的位置固定。以这种方式，使第一端侧引导构件31的通孔14a的轴线和第二端侧引导构件35的通孔14b的轴线彼此错位。该轴线的错位实现了如图示的弯曲变形状态，这为探针3a提供了弹簧属性。

(3)探针的具体构造和操作(见图3和图4)

如上所述，根据本实施方式的探针3a包括探针基体4和覆盖构件5。探针基体4具有作为与检查期间设置的测试对象7接触的部分的第一端4a以及与触点构件17的触点16接触的第二端4b。覆盖构件5覆盖第一端4a与第二端4b之间的探针基体4。

如图4所示，通过使覆盖构件5的位于第一端4a侧的末端部5a响应于上述的预负载结构而压靠作为基部37的第一端侧引导构件31的通孔14a周围的上边缘，将探针3a安装在弯曲变形状态。在安装状态，探针基体4的第二端4b被构造成通过归因于预负载的加压接触力f的反作用力而压靠触点构件17的触点16。

探针基体4的位于第二端4b侧的、从覆盖构件5露出的露出部41设置有作为探针3a的结构构件的扩径部6。

探针基体4为外径d1是例如数十微米、具有平坦的第一端4a和渐缩的第二端4b的圆棒构件。探针基体4由弹性、可变形且导电的材料制成，该材料由例如铜、铑、铜的合金或钯的合金制成。探针基体4的第一端4a侧形成有不被覆盖构件5覆盖的露出部39。该露出部39插在第一端侧引导构件31的通孔14a中。露出部39的作为探针基体4的第一端4a的顶端面为与测试对象7的预定测试部分接触的触点。

如上所述，探针基体4的第二端4b侧也形成有不被覆盖构件5覆盖的露出部41。然后，对整个露出部41施加镀覆，以形成上述扩径部6。

如图3所示，本实施方式中的扩径部6由设置于露出部41的表面的镍镀层42和设置于镍镀层42的金镀层43形成。注意，设置于镍镀层42的表层不限于金镀层43，并且可以是钯、铑、铂、铱、钌和锇中的至少一种或多种贵金属的镀层。可选地，表层可以是贵金属的合金的镀层。这里，可以使用包含在如下范围内的适当成分的合金作为贵金属的合金(假如包含贵金属的话)：满足作为扩径部6的电触点的电学特性的稳定性。

因而，镍镀层42位于用于探针基体的诸如铜的材料与金镀层43之间，使得能够提高作为扩径部6的电触点的电学特性的稳定性。

此外，扩径部6的外径d3被设定为大于探针基体4的被覆盖构件5覆盖的部分的外径d1且小于探针3a的被覆盖构件5覆盖的部分的外径d2。注意，扩径部6的外径d3可以大于探针3a的被覆盖构件5覆盖的部分的外径d2，只要外径d3被形成为大于探针基体4的被覆盖构件5覆盖的部分的外径d1，并且实现了两侧约束结构的上述效果即可。

在本实施方式中，覆盖构件5由圆筒套状构件形成，该圆筒套状构件由电绝缘材料制成、设置成与探针基体4的表面紧密接触。然后，在覆盖构件5的位于第二端4b侧的部分插在第二端侧引导构件35的通孔14b的情况下，安装探针3a。随着在接触检查期间探针3a的第一端4a压靠测试对象7，上述弯曲变形进一步发展。以这种方式，使探针3a的覆盖构件5的位于第二端4b侧的部分在第二端侧引导构件35的通孔14b中沿纵向z移动。为了便于移动，覆盖构件5因而由绝缘涂层形成，该绝缘涂层包括例如含氟聚酯的当沿着通孔14b的内表面滑动时具有低摩擦系数的材料。

还在本实施方式中，覆盖构件5具有如下构造。覆盖构件5的位于第一端4a侧的末端部5a抵靠作为上述基部37的第一端侧引导构件31的通孔14a周围的上边缘。覆盖构件5的位于第二端4b侧的末端部5b与扩径部6的下表面接触。

在如图3所示的安装之前的状态下，从具有此构造的根据本实施方式的探针3a的基部37的上边缘到位于第二端4b侧的顶端(与触点构件17的触点16接触的部分)的距离h变成最长距离h1。在如图4所示的安装之后的状态下，距离h变成距离h2，基于预负载的加压接触，距离h2比距离h1短行进量t。

在如图5所示的检查期间，归因于从图4的状态对探针3a施加更大的压力，距离h变成甚至比距离h2短行进量u的距离h3。

(4)用于组装探针卡的方法(见图3和图4)

接着，对用于用上述的根据本实施方式的探针3a组装根据本实施方式的探针卡11a的方法的示例进行说明。

首先，如图3所示，在第一端侧引导构件31的通孔14a的轴线与第二端侧引导构件35的通孔14b的轴线一致的情况下，将根据本实施方式的探针3a安装到引导构件13。在这种状态下，探针3a是线性的。覆盖构件5的位于探针3a的第一端4a侧的末端部5a与第一端侧引导构件31的通孔14a周围的上边缘、即基部37接触，以限定探针3a的位置。探针基体4的位于第一端4a侧的露出部39插在第一端侧引导构件31的通孔14a中并向下延伸。

在探针3a的第二端4b侧，使覆盖构件5的位于第二端4b侧的部分在插入第二端侧引导构件35的通孔14b的情况下向上延伸。

接着，将以这种方式安装有探针3a的探针头15安装于平台18(图2)，平台18由增强板23、主基板19和接合基板21形成。

此时，执行预负载，使得利用加压接触力f将触点构件17向下压预定行进量t并使触点构件17处于如图4所示的状态。也就是说，在加压接触力f作用于探针3a时，第二端侧引导构件35会沿横向x移动预定行程s，使第二端侧引导构件35的位置固定。如图4所示，探针基体4和覆盖构件5因而弯曲变形成s形状，以为探针3a提供弹簧属性。

然后，通过使因预负载而弯曲和变形的探针基体4和覆盖构件5恢复到初始线性状态的该反作用力，使探针基体4的第二端4b与触点构件17的触点16之间的接触压力增大以维持第二端4b与触点16之间的接触状态的稳定性。

在图4所示的状态下，设置在探针基体4的第二端4b处的扩径部6的顶端与触点构件17的触点16接触。另一方面，作为探针基体4的第一端4a的露出部39的顶端面对放在接触检查装置1的载置部9上的测试对象7的预定测试部分。

(5)接触检查方法(见图5)

接着，对通过使用根据本实施方式的包括如上所述地组装的探针卡11a的接触检查装置1a执行的接触检查方法进行说明。

控制器25使移动单元27移动，并且进一步使探针卡11a朝向测试对象7移动预定行进量u。因此，如图5所示，探针基体4和覆盖构件5更加弯曲和变形，从而增强了探针3a的弹簧属性。这实现了位于第一端4a侧的触点与测试对象在期望的压力下的接触。

在这种状态下，控制器25驱动检查执行单元29以允许电流流过，由此执行预定接触检查。在完成接触检查之后，控制器25停止驱动检查执行单元29并驱动移动单元27，以使探针卡11a沿远离测试对象7的方向移动到待机位置。然后，移除结束了接触检查的测试对象7。接着，将用于接触检查的新的测试对象7放在载置部9上。然后，重复同样的操作，以执行必要数量的测试对象7的接触检查。

如上所述，根据本实施方式，通过使覆盖构件5的位于第一端4a侧的末端部5a压靠接触检查装置1的基部37而将探针3a安装在弯曲变形状态，通过归因于上述加压的反作用力使探针基体4的第二端4b压靠触点构件17的触点16。探针基体4的位于第二端4b侧的、从覆盖构件5露出的部分(露出部41)设置有扩径部6。

在探针3a安装到接触检查装置1时，归因于覆盖构件5的位于第一端4a侧的末端部5a与基部37的接触，基部37会约束末端部5a。也就是说，归因于末端部5a与基部37的接触，基部37会限制末端部5a朝向测试对象7移动。另外，扩径部6会约束覆盖构件5的位于第二端4b侧的末端部5b。

在两侧约束结构中，不仅覆盖构件5与探针基体4的表面之间的附着被应用为止动件，而且扩径部6的约束力也被应用为止动件。这通过与在检查期间从基部37施加到覆盖构件5的朝向探针3a的第二端4b侧的力的反力维持了覆盖构件5的位置。

约束力的施加使整个覆盖构件5相对于探针基体4的附着稳定化。这还使覆盖构件5的位于第一端4a侧的在检查期间被从基部37直接施力的部分的附着稳定化。结果，能够降低覆盖构件5的归因于接触检查而被反复直接施力的部分(位于第一端4a侧的末端部5a)损坏的风险。

在附着归因于附着的变化而变弱的情况下，即使上述力被反复施加到覆盖构件5，扩径部6的约束力也能够降低覆盖构件5朝向探针3a的基端部(第二端4b侧)错位的风险。错位会改变获得自探针3a的中央部的弯曲变形的弹性程度，但是能够抑制此情况的发生。

还是在两侧约束结构中，覆盖探针基体4的筒状覆盖构件5会使抵抗长度方向上的压缩力的变形阻力增大。在这方面，也能够获得上述效果。

如上所述，根据本实施方式，能够维持探针3a的基端部(第二端4b)与接触检查装置1的电触点16稳定地接触的状态。

在根据本实施方式的具有此构造的探针3a、探针卡11a和接触检查装置1a中，代替以传统的方式、以高的精度通过加压或焊接来处理位于探针基体4的用作止动件的高强度的突起，设置用于确保绝缘的覆盖构件5具有作为机械止动件的功能。结果，探针3a和探针卡11a能够简单且低成本地具有相同的功能。

第二实施方式

接着，说明根据本发明的第二实施方式的探针3b和具有探针3b的探针卡11b的构造和操作。

在根据本实施方式的探针3b和探针卡11b中，引导构件13和覆盖构件5b的构造被部分变型。不过，探针3b和探针卡11b的其它构造与根据上述第一实施方式的探针3a和探针卡11a的其它构造基本相同。因而，这里省略与第一实施方式的构造相同的构造的说明。主要说明引导构件13和覆盖构件5b的与第一实施方式的构造不同的构造以及引导构件13和覆盖构件5b的操作。

也就是说，引导构件13由三个引导构件形成，这三个引导构件为上述的第一端侧引导构件31和第二端侧引导构件35以及本实施方式中的设置在第一端侧引导构件31与第二端侧引导构件35之间的中间引导构件33。

中间引导构件33为与上述第一端侧引导构件31同样的固定的引导构件。中间引导构件33具有多个通孔14c，通孔14c具有与第一端侧引导构件31的通孔14a的内径d1同样的内径d3。在与通孔14a对应的位置具有相同数量的通孔14c，通孔14c的轴线与通孔14a的轴线一致。

覆盖构件5b具有与根据第一实施方式的探针3a的覆盖构件5相同的结构。然而，覆盖构件5b设置在比供第一实施方式的覆盖构件5设置的区域小的区域中。

具体地，覆盖构件5b的位于第一端4a侧的末端部5a位于第一实施方式中的末端部5a的位置的上方，并且设定在抵靠中间引导构件33的通孔14c周围的上边缘的位置。于是，在本实施方式中，中间引导构件33的上边缘为基部37。

因此，本实施方式中的第一端侧引导构件31仅用作引导探针基体4的位于第一端4a侧的露出部39沿纵向z移动的引导构件，而不用作第一实施方式中的止动件。

另一方面，在本实施方式中，中间引导构件33用作止动件。探针基体4和覆盖构件5b均被构造成通过施加在上述触点构件17与本实施方式中新设置的中间引导构件33之间的压缩力而弯曲变形成s形状。因而，从覆盖构件5b的位于第一端4a侧的末端部5a起到探针基体4的第一端4a与测试对象7的接触的触点止的露出部39比第一实施方式中的探针3a的露出部39长。另一方面，探针3b的基部37与触点构件17的触点16之间的距离h为比第一实施方式中的距离短的距离h4。

根据本实施方式的具有此构造的探针3b和探针卡11b以及包括探针3b和探针卡11b的接触检查装置1也能够获得与根据上述第一实施方式的探针3a、探针卡11a和接触检查装置1a相同的操作和效果。

还是在本实施方式中，因为纵向z上的探针基体4和覆盖构件5b弯曲变形的区域较小，所以弯曲变形量和对探针3b的端施加的压力与第一实施方式中的不同。因而，能够通过利用差异来控制探针3b的弯曲属性和压力。

其它实施方式

根据本发明的探针3、探针卡11和接触检查装置1基本上具有如上所述的构造。然而，在不脱离本发明的目的的情况下，还能够对构造的一部分进行变型或省略。

例如，传统上已经被设置成具有绝缘性的覆盖构件5用作防止从本发明中的探针基体4错位的机械止动件。因此，只要用于覆盖构件5的材料具有能够充分发挥出功能的绝缘性、柔性和机械强度，就能够应用各种材料，而不限于上述第一实施方式中的上述材料。

此外，通过限定在涂覆期间用于探针基体4的线棒涂覆绝缘涂层的区域，能够设定覆盖构件5形成的区域。另外，通过剥去一次性形成于用于探针基体4的整根线棒的绝缘涂层的一部分，能够调整覆盖构件5形成的区域。可选地，还能够通过将用于探针基体4的线棒插入圆柱形管来提供覆盖构件5。

至少当在图5所示的检查期间末端部5b与触点构件17接触并被触点构件17加压时，可以形成扩径部6的下表面与覆盖构件5的位于第二端4b侧的末端部5b之间的接触状态。因而，在图3所示的探针3被安装之前的状态下，该下表面与末端部5b之间可以存在小间隙。

扩径部6的结构不限于对整个露出部41施加镀覆的结构。代替地，可以不对整个露出部41施加镀覆，而是以能够获得上述两侧约束结构的效果的程度对露出部41的一部分施加镀覆。在这种情况下，露出部41的位于第一端4a侧的顶端与触点构件17的触点16接触。

此外，用于组装探针卡11的方法的步骤不限于第一实施方式所述的步骤。可以在第二端侧引导构件35沿横向x滑动预定行程s之后执行预负载。可选地，第二端侧引导构件35可以在预负载之后沿横向x滑动预定行程s。