用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪的制作方法

文档序号:14212273阅读:来源:国知局
用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪的制作方法

技术特征:

1.用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪,其特征在于,所述电位分析仪包括测试反应装置、自动添加装置和远程监控主机,

其中,所述自动添加装置包括化学镀补充液储存桶(1)、定量加药器(4)、用于化学镀补充液储存桶(1)和定量加药器(4)之间流体连通的进液管(3)、补充液回流及排气管(6)以及用于定量加药器(4)和现场工作液辅槽(7)之间流体连通的定量加药管(5),所述自动添加装置成一直线排列,

所述测试反应装置包括温度补偿感应棒(8)、参比电极(9)、工作电极(10)和pH补偿电极(11),上述温度补偿感应棒和电极均通过固定结构(15)被设置在自动监测电控头(12)上,且自动监测电控头(12)通过导线被连接到远程监控主机(13)上。

2.根据权利要求1所述的用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪,其特征在于,所述自动添加装置的个数取决于镀液中待补充的化学镀补充液的种类。

3.根据权利要求1所述的用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪,其特征在于,进液管(3)上连有进液泵(17)。

4.根据权利要求1所述的用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪,其特征在于,定量加药器(4)内设置有液位计(22),用于实时检测定量加药器(4)中的液位信息。

5.根据权利要求1所述的用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪,其特征在于,温度补偿感应棒(8)和参比电极(9)通过固定结构(15)相邻地被设置在自动监测电控头(12)上,工作电极(10)和pH补偿电极(11)通过固定结构(15)相邻地被设置在自动监测电控头(12)上。

6.根据权利要求5所述的用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪,其特征在于,参比电极(9)和工作电极(10)相对地被设置在温度补偿感应棒(8)和pH补偿电极(11)内侧。

7.根据权利要求1或5-6任一项所述的用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪,其特征在于,所述测试反应装置还包括相对地设置在温度补偿感应棒(8)和pH补偿电极(11)外侧的脚(16)。

8.根据权利要求7所述的用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪,其特征在于,脚(16)是由耐腐蚀性材料制成。

9.根据权利要求1所述的用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪,其特征在于,所述电位分析仪还包括清洗液储存瓶(18),其中装有清洗液,清洗液储存瓶(18)通过导线被连接到远程监控主机(13)上并且通过输液管(20)与现场工作液辅槽(7)流体连通。

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