专利名称：凝汽阀运行检测器的制作方法
技术领域：
本发明涉及用来判断凝汽阀运行状态好坏的运行检测器，这些凝汽阀用于诸如汽动电力厂、化工厂、生产设备之类的蒸汽系统中的蒸汽设备上。
为了自动排除冷凝水而不放出蒸汽，通常在蒸汽管道或蒸汽设备的适当位置上装有凝汽阀。在这种蒸汽阀运行不正常的情况下，由于蒸汽传输故障或漏汽，蒸汽设备的运行将发生严重障碍。更有甚者，在蒸汽设备上附属的凝汽阀的排汽能力比冷凝水量小的情况下，或者在凝汽阀的冷凝水排除功能减退或完全丧失以至于阀门的开通作用因而不能发挥时，冷凝水将留在凝汽阀的进口导管中，结果经常发生水击现象或者降低蒸汽设备的效率，在极端情况下会引起破裂。相反，在凝汽阀的阀门关闭作用不合适的情况下，显然，蒸汽泄漏将增加，以至由于蒸汽压力和汽量不足而降低效率，并由此造成不希望有的昂贵能量的浪费。
在公布号为58-187739的日本未审查的实用新型中已披露一种蒸汽检漏器，可作为在凝汽阀之类的蒸汽阀门上检测蒸汽泄漏的装置的一个实例。该蒸汽检漏器从汽阀外部检测汽阀的阀体中的振动，从而判断汽漏现象是否存在。该蒸汽检漏器的检测原理是，在检测器顶端装设一个探头使之与汽阀或类似的被测物接触，使得探头中产生的振动通过一个采用压电元件超声微音器转换为电信号，然后放大该电信号并输送到显示单元或扬声器以驱动该显示单元或该扬声器。
根据这种先有技术装置，读出由探头检测的振动作用所产生的指针偏转角或探听扬声器发生的声音即可识别振动的强度，并由此得知汽漏的出现和泄漏的程度。然而，该装置的缺点是不能定量地掌握汽漏情况。这是因为，虽然指针偏转或扬声器输出是与探头检测出的振动成正比的，但是在诸如凝汽阀之类的阀门中产生的振动却是随各种因素广泛变化的，这些因素例如有阀的结构和尺寸、蒸汽对冷凝水的比率等等。
本发明的一个目的是提供一个凝汽阀运行检测器，以此可以借助参考预先存入的如类型、尺寸等数据精确地并定量地掌握诸如凝汽阀之类的汽阀中产生的振动情况。
本发明的另一目的是提供一个凝汽阀运行检测器，以此可以借助检测凝汽阀中的蒸汽温度来检测出由蒸汽流引起的振动，以区别于冷凝水流引起的振动。
本发明的再一目的是提供一个凝汽阀运行检测器，由于消除凝汽阀内蒸汽压力变化产生的影响，它可以精确地掌握汽漏的存在。该蒸汽压力可由用户人工确定出来或从所测的温度自动计算出来。
本发明的又一目的是提供一个凝汽阀运行检测器，它可以有效地测量在凝汽阀中产生的宽范围的振动情况。
本发明的更进一步目的是提供一个凝汽阀运行检测器，由于它消除了外部输入的振动噪声的影响，所以能无误差地检测出凝汽阀内部产生的振动。
依照本发明的凝汽阀运行检测器包括振动检测部分和运算部分。该振动检测部分包括一个一端经过成型、能以一定预定压力接触被测物的探头，探头的另一端装设一个能把机械振动转换成电信号的振动传感器，而运算部分的设置则能把振动检测部分传输来的信号和从存贮器中已存入的必要数据中选出的存贮数据进行比较，以便计算被测物体的汽漏量并产生一个输出，从而根据计算结果判断被测物的运行情况的好坏。
依照本发明的凝汽阀运行检测器可以将有关汽漏量和振动强度之间关系的数据作为对应于被测物结构、标称尺寸等变化的贮存数据存入。
依照本发明的凝汽阀运行检测器可以将关于汽漏量和振动强度之间关系的数据作为对应于被测物的蒸汽压力变化的贮存数据存入。
依照本发明的凝汽阀运行检测器，可以在探头的顶端附设一个温度传感器以便根据那里的温度范围识别被测物内部的流体。
在依照本发明的凝汽阀诵屑觳馄髦校梦露却衅骺赏ü桓鼍忍辶拥教酵返亩ザ耍员阆确涞挠跋臁 在依照本发明的凝汽阀运行检测器中，可以使探头的一个端部成型为尖顶以便消除热传导中的振动所引起的检测误差。
依照本发明的凝汽阀运行检测器可包括为了能检测结构、尺寸等彼此不同的各种被测物的振动具有多元谐振点的膜片装置。
依照本发明的凝汽阀运行检测器的结构能减少来自检测器本身或外部传来的振动，以便精确地检测被测物的振动。
根据本发明，当探头以预定压力与被测物接触时运算部分就进行工作，因此本装置可以良好的重复性精确地感受出蒸汽泄漏的出现和测出汽漏程度，而且能够消除用户在判断被测物的运行状态的好坏情况时引起的任何误差。进而，按照被测物体的结构、标称尺寸、汽体压力等等的差别而预先选定存入的数据则可作出更精确的判断。
再者，根据本发明，通过附带地检测被测物体的温度，可更精确地判别出该流度(fluidity)仅仅是冷凝水的还是蒸汽和冷凝水的混合物的。进而，借助改进温度检测传感器的附装结构和探头的结构，本装置可以消除任何由于应用条件或个别用户的差别而造成的检测误差。
更进一步，根据本发明，由于利用具有多元振动的谐振膜片装置把振动传送给振动传感器，该检测器实际上能适应随被测物体种类和使用情况而改变各种振动情况。
此外，根据本发明，被测物的振动检测精度或运行情况的判别精度由于消除了向振动传感器传递不必要的振动的途径因而得到极大改善。
图1是表示根据本发明的凝汽阀运行检测器的结构的一个纵剖面和电路方框图;
图2是表示振动强度和蒸汽泄漏量之间的关系依据蒸汽阀的结构而变化的特性曲线图;
图3是表示按照本发明的凝汽阀运行检测器的另一种结构的纵剖面和电路方框图;
图4是表示蒸汽和冷凝水流动引起的振动的振幅特性曲线图;
图5是表示按照本发明的凝汽阀运行检测器中的探头顶端结构的纵剖面图;
图6和图7是表示按照本发明的凝汽阀运行检测器中的探头顶端结构的纵剖面图;
图8是表示按照本发明的凝汽阀运行检测器另一种结构的纵剖面和电路方框图;
图9和图10是表示超声频率与振动强度之间关系的特性曲线图;
而图11和图12则分别是表示按照本发明的凝汽阀运行检测器的另二种结构的纵剖面和电路方框图。
参看图1，其上展示了按照本发明的凝汽阀运行检测器的整个结构。该凝汽阀运行检测器由检测部分1和运算部分50组成。检测部分1和运算部分50之间是通过电缆51进行电气连接的。
检测部分1的组成有装配成滑动方向如图1双头箭所示的可滑动的探头2，装配成包围着探头2的探头支撑件4，壳体5，把支撑件4连接到壳体5的前盖6，后盖7以及后盖7上用于导出电缆51的接插件25。前盖6、壳体5和后盖7确定了一个大体上成圆柱形的内部空间，在这确定的内部空间里装有检测振动的元件，其中包括用来支撑膜片固定件11的振动膜片支撑板15，微音器支撑器18(它通过0型密封圈17来支撑作为振动传感器的超声微音器16)，弹簧支撑器19(它用来支撑向前推进探头2的螺旋形弹簧22)，还有一个包含放大作用的电路板20(用来对超声微音器16转换出来的电信号进行电的处理并输出处理过的信号)。探头支撑件4上部呈园锥形，下部呈圆柱形。在该部件的上面圆锥部分加工了一个纵向孔9，而由弹簧22把探头2向前推进以使探头2的顶端轴线与孔的端面垂直地从孔9的顶端伸出。该探头2要装配成适当的位置，即当推力施加到探头2的顶端时探头2可向后滑动到其顶端与支撑件4的顶端对齐的位置。探头2经过成型使得能使其顶端与被测体(未示出)接触，并使其后端可压入膜片固定件11以使秸叱晌惶濉 膜片21被一个螺丝或任何其它适当方法从探头的另一侧固定到膜片固定件11上。超声微音器16(作为振动传感器)装设成面对着膜片21的位置。该超声微音器16的输出端子接到含有放大电路和其它必要电路的电路板20上。支撑板15、弹簧支撑器19和微音器支撑器18通过由螺丝23彼此相连。
运算部分50由一个输入-输出接口I/O，一个中央处理单元CPU，一个存贮器M，一个键盘-输入单元K，一个显示单元D和一个扬声器S组成。根据使用目的，可以在运算部分50附设一个用来打印计算结果的打印单元P，以及用来传送计算数据给主计算机的功能件或其他类似的功能件。
与各种凝汽阀的结构和尺寸有关的振动强度和蒸汽泄漏量之间的关系的数据可以存入运算部分50中的存贮器M中。图2是一组以振动强度为横坐标、蒸汽泄漏量为纵坐标的的特性曲线，它们与作为参变量的各种凝汽阀的结构变化有关。如图2所示，尽管处在一个相同的振动强度A上，不同的凝汽阀其泄漏量却是不同的。更具体地说，即使所有凝汽阀处在一个同样振动强度A上，自由浮筒式(free-bucket)结构的凝汽阀的泄漏量可能是B，自由浮子(freefloat)式结构的凝汽阀的泄漏量可能是C，而热动力结构的凝汽阀的泄漏量则可能是D。因此，与凝汽阀的结构、尺寸、蒸汽压力等特性相对应的蒸汽泄漏量与振动强度之间的关系预先测出并存入存贮器M中，而后把必要的条件，例如凝汽阀的种类、结构和凝汽阀中所用的蒸汽压力等等，通过键盘-输入单元K设置好，以便中央处理单元CPU能在检漏时进行精确的计算。
上述检测器的运行情况如下。检测部分1的探头2的顶端与被测物接触，结果，被测物上存在的机械振动便传送到膜片固定件11上，从而引起膜片21振动。膜片21的振动在微音器支撑器18内的空间里传播，以致被配置在膜片21对面的超声微音器16转换为电信号。该信号经电路板20适当放大后通过电缆51送到运算部分50。在收到与被测振动强度成正比、并经电缆51从检测部分1传送到运算部分50的输入信号时，中央处理单元CPU根据设置条件进行计算，以便根据计算结果驱动显示单元D和/或扬声器S。通过与存贮器M中事先存入的预定数据的比较处理就可获得计算结果。因为真实的振动强度是考虑到被测物的结构、尺寸、使用状态等特性而精确地表述出来的，所以计算结果总是适合于上述条件的。
图3表示了按照本发明的结构的另外一个实施方案。在图3中，与图1相同的部件可对应地参考图1。与图1的不同点为在探头2的顶端配置了一个温度传感器10;在探头2的顶端部分加工了孔12用来插入温度传感器10的导线;还有一个微型开关31设置在支撑件15中。根据图3的结构，可以判断凝汽阀泄漏的仅仅是冷凝水还是冷凝水和蒸汽的混合物。依照本发明的凝汽阀运行检测器可以检测出被测物的温度及机械振动。检测凝汽阀的温度有如下作用。通常，凝汽阀根据运行原理而分为利用蒸汽和冷凝水之间比重差工作的机械型，利用蒸汽和冷凝水之间热动力特性差工作的热动力型，利用蒸汽和冷凝水之间温度差工作的热静力型，以及使得比预定温度低的冷凝水全部排除的温度判别型。在冷凝水被正常排出的情况下，机械型的、热动力型的和热静力型的凝汽阀中的温度比饱和蒸汽温度低几度(℃)或几十度(℃)。因此，在凝汽阀容量不足，或在凝汽阀的冷凝水排除功能不正常或完全失灵或发生类似现象的情况下，冷凝水保留在凝汽阀的上游。因此，在此情况下，凝汽阀的温度变得比冷凝水被正常排除时低。根据这种观点，在本实施方案中，凝汽阀的温度作为被测目标而被装在本方案中探头2顶端的温度传感器感受，运算部分50以此检测温度为基础则可对运行情况进行判断，包括对冷凝水排除功能降低的判断。另一方面，微型开关31用以下方式工作当探头2的顶端与被测物体接触到一定程度时，能使膜片固定件11延伸一个预定的距离，或换言之，测量的准备工作完成时，微型开关31动作，使检测部分和运算部分接通电源。从微型开关31的触点引出的导线接到电路板20，以使图中示出的电源系统能自动地接通或切断。
根据图3的结构，不仅可以以上述图1结构的相同方式检测出凝汽阀的运行情况，而且可以由温度传感器10测得凝汽阀运行时的温度数据，所以可对包括冷凝水排除功能在内的运行状态作出更为精确的判断。显然，为了判别起见，运算部分50可具有把从温度传感器10得到的温度数据与一个参考值比较的功能，以及其他众所周知的附加功能，例如显示功能、警报功能等等。
再者，利用键 输入单元输入所用的蒸汽压力和根据饱和蒸汽温度建立参考温度可以更精确地检测冷凝水排除功能的衰退情况。进而，在被测物是一个温度判别型的凝汽阀的情况下，使设定的参考温度比预先设置的排除冷凝水的温度低，因此可以排除低于该设置温度范围的冷凝水，利用这点，可以精确地检测出冷凝水排除功能的衰退情况。
如上所述，如果探头2顶部安设的温度传感器10测得了被测物的温度，则可知道被测物内部蒸汽的饱和压力。图4表示了此压力和振动振幅之间的关系。因此，根据温度传感器测出的温度可推断出压力值和相对应的振动情况，从这些振动的情况便可以了解蒸汽流或冷凝水流的存在与否或它们的量值。在此情况下，必要数据的存贮和根据这些存贮数据所作的计算也是由运算部分50自动执行的。
图5表示本发明的一个改进方案，它对图3中探头顶端所配置的温度传感器的设置作了改进。如上所述将温度检测功能附加到振动检测功能上，会明显地改进检测精度并且增加了检测项目。然而，在大多数情况下，该探头是由不锈钢之类的导热材料制成。因此，当温度传感器10因被测物传导来的热而升高温度时，也会通过探头发生热传导，因此使温度传感器自身的温升变得不稳定。根据这个观点，本方案的要点是这样的将一个选择恰当的材料制成的管状热绝缘体43嵌入探头2顶端的凹坑41中，而温度传感器10则安放在管状热绝缘体43的顶上。温度传感器10安装得略微从探头2顶端伸出。温度传感器10的导线101经热绝缘体43上的孔44和探头2上的孔12引到图中未表示出的电路板上。该热绝缘体43必须具有足够地传递机械振动的特性。该热绝缘体43最好用既能满足热绝缘要求又能以金属材料相同的方式传递振动的陶瓷管制成。
图6和图7表示本发明的另外两个改进方案，其改进之处在于探头顶端的结构。按照前面所述的运行检测器中的探头结构，检测出的振动强度常常随探头与被测物的接触状态而变化。虽然该探头设计成持续向前受压以避免因用户不同而引起的各个差异，但是，因为在大多数情况下被测物的表面是曲面，所以总不可能达到相同的接触状态。进一步说，由于用户们特有用法而形成的区别，接触状态常常变化。因此，在探头与被测物面接触状态下所测得的振动，与探头与被测物点接触状态下所检测的振动之间产生了差别，这种振动检测差别会引起计算的基本数据的误差，结果产生不希望有的误判断。在图6的改进方案中，为了避免这种不希望有的误判断，在通过探头支撑件4的孔由纵向插入的探头60的顶端61上，加工了一个凸块62。此外，被弹簧64持续向前压着的温度传感器65附装在探头60顶端处的凹坑63里。根据这个结构，该探头持续不断地与被测物66作点接触，因此，不论被测物66外部形状和用户特有的用法如何，都可以进行基本上一致的振动测量。在这种情况下，因为温度传感器65被弹簧62推抵在被测物66上，所以温度传感器和被测物接触良好，可以做出所需的温度检测，而因为振动被弹簧62吸收了，所以几乎不传递振动。
图7表示了探头顶端做了改进的第二种形式。除把图6的顶端结构切成凸块67的样子使之倾斜以外，图7的结构与图6的结构相同。图7的结构易于加工成形。
图8也是本发明的一个改进方案，其中把探头检测的机械振动转换为超声波的膜片的结构作了改进。在上述各实施方案中的每一个运行状态检测器中，因为采用了单片膜片，所以只具有单个谐振点。一般知道膜片的灵敏度在其谐振频率(谐振点)附近最大，而在其它点则很小。在根据振动幅度来检测凝汽阀的运行状态的情况下，因为由凝汽阀的蒸汽流或冷凝水流产生的振动可能随这些凝汽阀的结构、尺寸等特性而变化，所以必须附装一个适合于预先设想可能产生的振动频率的膜片，或者准备多种在振动频率上与这些振动相适应的检测零件(膜片)。根据图8的结构，一组膜片81至84用螺钉85沿着探头2的轴向固定在膜片固定件11的底部。图8中，与图1和图3中相同的部分可参考图1和图3的相应部分。合成橡胶制成的弹性部件32插在探头支撑件4和前盖6之间。同样材料的弹性件33插在孔9中探头2和探头支撑件4之间。同样，弹性件34围绕着超声微音器16。此外，弹性件35和36装在膜片固定件11外部的两个位置上。这些弹性件32至36的每个都用来吸收由其它部分而不是被测物振动所引起的不希望有的振动噪声，而不使它们传到任何一个振动检测件即探头2、膜片固定件11、膜片81至84以及超声微音器16上去。
在图8的结构中，膜片固定件11和超声微音器16之间的距离选为9.19毫米。在这个实施方案中，采用四个膜片，每个厚度为0.3毫米、外径为15毫米，并且用一些垫圈插放在相邻膜片之间，一起附装到膜固定件11上，每个垫圈厚为0.4毫米、外径为4.5毫米。在膜片固定件11和超声微音器16之间的距离选为9.19毫米且只有一个0.3毫米厚、外径为15毫米的膜片附装到膜片固定件11上的情况下，谐振频率是43.5千赫，如图9所示。相反，在采用上述四个膜片81至84的情况下，谐振频率可扩大到如图10所示的40千赫到47千赫的范围。因此，可以采用一个同样的检测部分以高灵敏度检测出该谐振频率范围内的多种凝汽阀的振动。当然实际上膜片的个数和尺寸可以变化，并且利用这种改变制成谐振频率范围不同的检测部分。
图11示出本发明另外一个实施方案。在前面所述的实施方案中，通过检测部分1壳体传送到微音器16的振动会或多或少地产生一些影响。因此，如图8中所示，在好几处装配了弹性部件。在本实施方案中，超声微音器16和膜片21以预定的间距彼此相对分开，并且这两个部件及其间距被封闭在弹性件34中固定在膜片固定件11的下端。根据这个实施方案，从壳体5和其它部件来的振动传不到超声微音器16，该微音器最终检测出振动并把检测到的振动转换为电信号。因此，可以以较小误差进行振动检测。超声微音器16的输出接到电路板20。根据这个实施方案，由探头2检测出的振动可以有效地传送到膜片21并由超声微音器16转换为电信号，因此可以进行振动的精确量测即对凝汽阀的运行状态进行精确的判断。
图12表示本发明的又一个实施方案，其改进之处在于超声微音器16和膜片21的装配方式以及从微音器到图11结构中电路板20的连接方式。在图12中，超声微音器16和电路板20之间的距离较充分地加大了，因此两者可用诸如软电线之类的导线92灵活地连接。通常，从外部加到主体(检测部分)1上的振动会传到包括有放大电路的电路板20，因此会通过超声微音器的刚体连接脚再把振动传到超声微音器16，而后该振动叠加到经过作为原传输通道的空间从膜片21传来的振动上去，结果这个叠加振动转换成电信号。其结果是输出中可能引起误差。设计本实施方案正是为了避免这种情况。根据这个实施方案，用一个由弹性材料制成的支撑件93把电路板20装配到壳体5上，该弹性材料是诸如合成橡胶之类的材料从而防止了外来振动的传播，进而，电路板20和超声微音器16通过软导线92实现电连接，能更可靠地阻止外部振动传到超声微音器16上去。因此，送到运算部分50的输出信号与从探头2传来的真正振动成正比，从而提高了检测的精度。
工业应用领域依照本发明的凝汽阀运行检测器涉及用来检测在诸如汽动电力厂、化工厂、生产设备之类的蒸汽系统中的蒸汽设备上应用的凝汽阀的运行状态的运行检测器。在出现不正常的情况时以及在上述工厂和设备来说必不可少的凝汽阀的日常检查和维修时，该凝汽阀运行状态检测器用来检测发生故障的地方。特别地，与本发明相应的检测器在检测精度方面比普通检测器显著地优越。因此，可以在早期阶段检测出凝汽阀功能的恶化情况从而防止严重事故，提高整个设备的运行效率，并且防止昂贵能量的浪费。
权利要求
1.一种包括检测部分(1)和运算部分(50)的凝汽阀运行检测器；上述检测部分(1)包括探头(2)，设置成以一个弹性件给出的预定压力与被检测物接触，以检测该被检测物内部蒸汽流和冷凝水流引起的机械振动；膜片装置(21)，用以产生响应探头(2)检测出的上述机械振动的超声振动；振动传感器(16)，设置在上述膜片(21)的对面用以把上述超声振动转换成为电信号；包含放大电路的电路板(20)，用以放大上述振动传感器(16)的输出信号以便把该放大输出信号传送到外部；上述运算部分(50)包括存贮器(M)，用以贮存与包括所述被测物在内的各种凝汽阀相对应的数据；中央处理单元(CPU)，用以在对从检测部分(1)传送来的输出信号和从存储在存贮器(M)内的数据中有选择性地获得的预定数据斜冉系耐保葱屑扑悖 输出单元(D，S)，用以显示上述中央处理单元(CPU)计算出的结果和/或用于产生一个声频的声音输出。
2.依据权利要求1的凝汽阀运行检测器，其中上述运算部分(50)所包含的上述存贮器(M)中存有与各种凝汽阀的结构区别特性相对应的数据，从而可计算得出根据上述被测物种类的区别特性的修正结果。
3.依据权利要求1的凝汽阀运行检测器，其中上述运算部分(50)所包含的上述存贮器(M)中存有与凝汽阀内的蒸汽压力变化相对应的数据，从而可计算得出根据上述被测物使用的蒸汽压力的修正结果。
4.依据权利要求1的凝汽阀运行检测器，其中温度传感器(10)设置在上述探头(2)的顶端与被测物接触，从而可检测出被测物的温度，结果产生一个与被测温度相对应的输出电信号;而且其中温度数据已预先存入上述运算部分(50)的存贮器(M)中去，这样根据对上述温度传感器(10)的输出和从存在上述存贮器(M)内温度数据中有选择地获得的预定数据的比较则可对上述被测物体的运行好坏作出判断。
5.依据权利要求4的凝汽阀运行检测器，其中上述温度传感器(10)通过一个热绝缘体(43)附装在上述探头(2)的凹坑(41)中既防止热传导而又不影响通过上述探头(2)传输振动。
6.依据权利要求4或5的凝汽阀运行检测器，其中上述探头(2)顶端形成尖端突起(62，67)并在低于上述尖端突起的位置上形成一个凹坑(63)，以使上述温度传感器(65)被一个设置在上述凹坑内的弹性物(64)压向上述尖端突起方向。
7.依据上述各权利要求的任何一项的凝汽阀运行检测器，其中用以根据从上述探头(2)传来的上述机械振动而产生超声振动的膜片装置包括多个膜片(81至84)，这些膜片在上述探头的轴向按预定的间隔固定。
8.依据上述各权利要求的任何一项的凝汽阀运行检测器，其中上述膜片(21、81至84)和上述超声微音器(16)用一个空心的弹性件(34)封闭起来，而该空心弹性件(34)的一端连接到膜片固定件(11)上，以使上述机械振动从探头(2)传到超声微音器(16)而无外部振动噪声的影响。
9.依据上述各权利要求的任何一项的凝汽阀运行检测器，其中上述电路板(20)通过一个弹性件(93)附装到壳体(5)上，上述超声微音器(16)的端子则经由软导线(92)柔韧地接到电路板(20)的端点上，以便使机械振动从探头(2)传到超声微音器(16)而无外部振动噪声的影响。
全文摘要
一种判断蒸汽设备凝汽阀运行状态的凝汽阀运行检测器包括检测部分(1)和运算部分(50)。前者包括以预定压力与被测物弹性接触以检测机械振动的探头(2)；产生超声振动的膜片装置(21)；振动传感器(16)；包括放大电路的电路板(20)。后者包括贮存与各种凝汽阀相对应的数据的存贮器(M)；对检测的信号和存贮的数据进行比较并执行计算的中央处理单元(CPU)；显示计算结果和/或产生一个声音输出的输出单元(D、S)。
文档编号G01H11/08GK1032068SQ88106598
公开日1989年3月29日 申请日期1988年9月12日 优先权日1987年9月14日
发明者汤本秀昭, 永濑守, 藤原良康, 岡本雅克, 细川泰利 申请人:Tlv有限公司