12的个人计算机1100 (便携型个人计算机)、图13的移动电话机1200、图14的数码照相机1300中之外，还能够应用于如下的电子装置中，例如:智能手机等移动体终端、通信设备、喷墨式喷出装置(例如喷墨打印机)、膝上型个人计算机、平板型个人计算机、路由器或开关等存储区域网络设备、局域网络设备、移动体终端基站用设备、电视机、摄像机、录像机、导航装置、实时时钟装置、寻呼机、电子记事本(也包括附带通信功能的产品)、电子词典、电子计算器、电子游戏设备、文字处理机、工作台、可视电话、防盗用视频监控器、电子双筒望远镜、P0S终端、医疗设备(例如电子体温计、血压计、血糖计、心电图计测装置、超声波诊断装置、电子内窥镜)、鱼群探测仪、各种测量设备、计量仪器类(例如，车辆、航空器、船舶的计量仪器类)、飞行模拟器、头戴式显示器、运动轨迹、运动跟踪、运动控制器、PDR(步行者航位推算)等电子设备。
[0121]移动体
[0122]接下来，使用图15来对具备本发明的一个实施方式所涉及的功能元件的移动体进行说明。另外，在本说明中，示出了使用作为功能元件的角速度传感器100的示例。
[0123]图15为概要地表示作为移动体的一个示例的汽车1500的立体图。
[0124]在汽车1500中搭载有本发明的一个实施方式所涉及的角速度传感器100。
[0125]如图15所示，在作为移动体的汽车1500上，通过内置角速度传感器100而对轮胎1503等进行控制的电子控制单元1502被搭载于车身1501上。此外，角速度传感器100除此之外还能够广泛地应用于无钥匙进入系统、发动机防盗锁止装置、汽车导航系统、汽车空调系统、防抱死制动系统(ABS)、安全气囊、胎压监测系统(TPMS:Tire Pressure MonitoringSystem)、发动机控制器、制动系统、混合动力车辆或电动车辆的电池监视器、车身姿态控制系统等电子控制单元(ECU -Electronic Control Unit)中。
[0126]符号说明
[0127]10…第一基体；10a…玻璃基板；12…厚壁部；14…第一凹部；15…第二凹部；16…底面;20…支承体;22…连接部;24…第二弹性部;27…驱动电极;30…第一弹性部;40...检测可动电极；50、50a、50b…检测固定电极；60...质量体；100…作为功能元件的角速度传感器；110…第二基体;110a…硅基板;1100…个人计算机;1200…移动电话;1300…数码照相机；1500…汽车。
【主权项】
1.一种功能元件，其特征在于，具备: 第一基体； 连接部，其与所述第一基体连接； 支承体，其从所述连接部延伸； 质量体，其与所述支承体连接； 驱动电极，其被设置在所述第一基体的与所述质量体对置的面一侧； 检测可动电极，其从所述支承体延伸； 检测固定电极，其与所述第一基体连接且与所述检测可动电极的至少一部分对置，所述质量体能够在与所述质量体的主面交叉的方向上进行位移，并且在将所述第一基体与所述质量体之间的距离设为dl、将所述第一基体与所述检测固定电极之间的距离设为d2 时，dl > d2o2.如权利要求1所述的功能元件，其特征在于， 所述第一基体设置有厚壁部，所述连接部被设置在所述厚壁部上，在俯视观察时，所述质量体与所述厚壁部分离。3.如权利要求2所述的功能元件，其特征在于， 所述检测固定电极的至少一部分被设置在所述厚壁部上。4.如权利要求1所述的功能元件，其特征在于， 所述检测可动电极的厚度与所述质量体相比而较厚。5.如权利要求1所述的功能元件，其特征在于， 在所述质量体通过向所述质量体与所述驱动电极之间施加的交流电压而进行振动，并且向所述质量体施加了围绕沿着所述质量体的主面且检测可动电极所延伸的方向的轴的角速度时，所述检测可动电极在与所述方向交叉的方向上进行振动。6.如权利要求1所述的功能元件，其特征在于， 所述支承体包括与所述连接部连接的第一弹性部和与所述质量体连接的第二弹性部，在剖视观察时，所述第一弹性部的厚度与所述第二弹性部的厚度相比而较厚。7.一种功能元件的制造方法，其特征在于，包括: 对第二基体进行加工而在所述第二基体上形成第二凹部的工序； 在第一基体上配置驱动电极的工序； 将具有被设置在所述第二基体上的所述第二凹部的面与具有所述第一基体的所述驱动电极的面接合的接合工序； 对所述第二基体进行加工而形成连接部、支承体、质量体、检测可动电极以及检测固定电极的工序， 在形成所述连接部、所述支承体、所述质量体、所述检测可动电极以及所述检测固定电极的工序中，在所述第二凹部处形成所述质量体。8.如权利要求7所述的功能元件的制造方法，其特征在于， 包括在所述第一基体上形成第一凹部的工序， 在配置所述驱动电极的工序中，在所述第一凹部中形成所述驱动电极， 在所述接合工序中，使所述第一凹部与所述第二凹部以面对面的方式接合。9.一种电子设备，其特征在于， 具备权利要求1所述的功能元件。10.一种移动体，其特征在于， 具备权利要求1所述的功能元件。11.如权利要求2所述的功能元件，其特征在于， 所述检测可动电极的厚度与所述质量体相比而较厚。12.如权利要求3所述的功能元件，其特征在于， 所述检测可动电极的厚度与所述质量体相比而较厚。13.如权利要求2所述的功能元件，其特征在于， 在所述质量体通过向所述质量体与所述驱动电极之间施加的交流电压而进行振动，并且向所述质量体施加了围绕沿着所述质量体的主面且检测可动电极所延伸的方向的轴的角速度时，所述检测可动电极在与所述方向交叉的方向上进行振动。14.如权利要求3所述的功能元件，其特征在于， 在所述质量体通过向所述质量体与所述驱动电极之间施加的交流电压而进行振动，并且向所述质量体施加了围绕沿着所述质量体的主面且检测可动电极所延伸的方向的轴的角速度时，所述检测可动电极在与所述方向交叉的方向上进行振动。15.如权利要求4所述的功能元件，其特征在于， 在所述质量体通过向所述质量体与所述驱动电极之间施加的交流电压而进行振动，并且向所述质量体施加了围绕沿着所述质量体的主面且检测可动电极所延伸的方向的轴的角速度时，所述检测可动电极在与所述方向交叉的方向上进行振动。16.如权利要求2所述的功能元件，其特征在于， 所述支承体包括与所述连接部连接的第一弹性部和与所述质量体连接的第二弹性部，在剖视观察时，所述第一弹性部的厚度与所述第二弹性部的厚度相比而较厚。17.如权利要求3所述的功能元件，其特征在于， 所述支承体包括与所述连接部连接的第一弹性部和与所述质量体连接的第二弹性部，在剖视观察时，所述第一弹性部的厚度与所述第二弹性部的厚度相比而较厚。18.如权利要求4所述的功能元件，其特征在于， 所述支承体包括与所述连接部连接的第一弹性部和与所述质量体连接的第二弹性部，在剖视观察时，所述第一弹性部的厚度与所述第二弹性部的厚度相比而较厚。19.如权利要求5所述的功能元件，其特征在于， 所述支承体包括与所述连接部连接的第一弹性部和与所述质量体连接的第二弹性部，在剖视观察时，所述第一弹性部的厚度与所述第二弹性部的厚度相比而较厚。20.如权利要求14所述的功能元件，其特征在于， 所述支承体包括与所述连接部连接的第一弹性部和与所述质量体连接的第二弹性部，在剖视观察时，所述第一弹性部的厚度与所述第二弹性部的厚度相比而较厚。
【专利摘要】本发明提供一种具有较高的检测灵敏度的功能元件、该功能元件的制造方法、具备该功能元件的电子设备以及移动体。功能元件(100)的特征在于，具备：第一基体(10)；连接部(22)，其与第一基体(10)连接；支承体(20)，其从连接部(22)延伸；质量体(60)，其与支承体(20)连接；驱动电极(27)，其被设置在第一基体(10)的与质量体(60)对置的面一侧；检测可动电极(40)，其从支承体(20)延伸；检测固定电极(50)，其与第一基体(10)连接且与检测可动电极(40)的至少一部分的面对置，质量体(60)能够在与质量体(60)的主面交叉的方向上进行位移，在将第一基体(10)与质量体(60)之间的距离设为d1、将第一基体(10)与检测固定电极(50)之间的距离设为d2时，d1＞d2。
【IPC分类】G01C19/5656
【公开号】CN105277183
【申请号】CN201510316544
【发明人】古畑诚
【申请人】精工爱普生株式会社
【公开日】2016年1月27日
【申请日】2015年6月10日
【公告号】US20150362317