有的光学探针130亦可沿一垂直方向上下移动，以因应图案化蓝宝石基板200的表面210的变化调整测量焦点134的相对位置。另一方面，藉由光学探针130的上下移动，亦有助于供影像处理器150计算及反推蓝宝石基板200的底宽及球径，以获得更为精准的数值。
[0027]在本发明的一实施例中，光源110为一全波长光源，包括可见光及不可见光。因此，第一光束300可相应地为一可见光激光光束或一不可见光激光光束，且较佳地，第一光束300为一共轭焦白光激光光束。
[0028]如图4所示，本发明还揭示一种测量图案化蓝宝石基板200的表面210的状态的光学测量方法，其包含下列步骤。
[0029]首先，如步骤401所示，利用一自动光学检查(Automated Optical Inspect1n，Α0Ι)程序，检查图案化蓝宝石基板200的表面210，以定义一良品区域与一缺陷区域；接着，如步骤402所示，提供光源110以发射第一光束300 ;如步骤403所示，使第一光束300依序通过光纤连接器120及光学探针130，而聚焦于图案化蓝宝石基板200的表面210上所定义的测量焦点134 ;最后，如步骤404所示，当第一光束300为图案化蓝宝石基板200的表面210反射而形成第二光束400后，提供影像处理器150，以接收第二光束400并进行影像分析作业。其中，测量焦点134位于良品区域内，光学探针130在相对于测量焦点134的一侧具有针孔132以供第一光束300入射，且针孔132与测量焦点134为共轭。
[0030]需提醒的是，在本发明中，光源110为一全波长光源，故其可呈现为一可见光光源或一不可见光光源的形态。因此，第一光束300可相应地为一可见光激光光束或一不可见光激光光束，且较佳地，第一光束300为一共轭焦白光激光光束。
[0031]如此一来，当以自动光学检查程序快速地检查图案化蓝宝石基板200的表面210，以先期初步定义良品区域与缺陷区域后，便能够确保本案的光学测量装置100及光学测量方法可直接被应用于正确的测量区域上，有效避免误差值的产生。之后，再藉由针孔132与测量焦点134间的共轭关系，同时配合第一光束300的强度大小、聚焦焦点位置等数值的调整，影像处理器150将可根据测量反射后的第二光束400的波长、能量变化等数据，以高速测量方式捕捉到非常精准的参数(如图案化蓝宝石基板200的图案高度、球径大小、头宽及底宽等)。
[0032]因此，本案所揭露的此种非接触式的测量方式，除了如上述实施例的内容所言，可进行本案图案化蓝宝石基板200的表面210的测量外，亦可使用于其他基板或面板上进行测量。
[0033]由于本案的光学测量装置100及光学测量方法应用于图案化蓝宝石基板200的测量时，可在单次的扫描路径及扫描时间内，同时取得图案化蓝宝石基板200的表面210的高度变化、以及取得图案化蓝宝石基板200对第一光束300的波长的反射变化量等数值，故通过影像处理器150的适当运算后，便可利用这些数值而计算出且输出图案化蓝宝石基板200的表面210的3D轮廓，从而达到快速扫描的目的。另一方面，藉由上述所取得的第一光束300的波长的变化量，亦可用以计算图案化蓝宝石基板200的图案高度、球径大小、头宽及底宽等数值，而获得更为精准的测量结果。
[0034]综上所述，藉由本发明的测量图案化蓝宝石基板200的光学测量装置100及光学测量方法，将可在测量图案化蓝宝石基板200的表面210的同时，保有图案化蓝宝石基板200的完整性，如此一来，不仅可避免对所测量的图案化蓝宝石基板200造成破坏性损失，更可进一步降低因破坏图案化蓝宝石基板200所导致的生产成本。
[0035]另一方面，也因为本案的测量图案化蓝宝石基板200的光学测量装置100及光学测量方法属于非破坏性测量的关系，故亦可用以局部性或全面性地进行图案化蓝宝石基板200的测量作业，以有效控管后端产线成品的品质。
[0036]上述的实施例仅用来例举本发明的实施方式，以及阐释本发明的技术特征，并非用来限制本发明的保护范畴。任何熟悉此技术者可轻易完成的改变或均等性的安排均属于本发明所主张的范围，本发明的权利保护范围应以申请专利范围为准。
[0037]符号说明
[0038]100光学测量装置
[0039]110 光源
[0040]120光纤连接器
[0041]130光学探针
[0042]132 针孔
[0043]134测量焦点
[0044]140 光纤
[0045]150影像处理器
[0046]200图案化蓝宝石基板
[0047]210 表面
[0048]300 第一光束
[0049]400 第二光束
【主权项】
1.一种光学测量方法，用以测量一图案化蓝宝石基板的一表面状态，包含下列步骤: 利用一自动光学检查程序，检查该图案化蓝宝石基板的该表面，以定义一良品区域与一缺陷区域； 提供一光源以发射一第一光束； 使该第一光束依序通过一光纤连接器及一光学探针，而聚焦于该图案化蓝宝石基板的该表面上所定义的一测量焦点； 其中，该测量焦点位于该良品区域内，该光学探针在相对该测量焦点处具有一针孔以供该第一光束入射，且该针孔与该测量焦点为共轭。2.如权利要求1所述的光学测量方法，还包含下列步骤: 当该第一光束为该图案化蓝宝石基板的该表面反射而形成一第二光束后，提供一影像处理器，以接收该第二光束并进行分析作业。3.如权利要求2所述的光学测量方法，其特征在于，该影像处理器与该光源设置于相同侧，并与该光纤连接器相互连接。4.如权利要求1所述的光学测量方法，其特征在于，该光学探针适于沿该图案化蓝宝石基板的该表面的该良品区域进行一全区扫描。5.如权利要求1所述的光学测量方法，其特征在于，该光源为一全波长光源，该全波长光源包括一可见光光源及一不可见光光源。6.如权利要求1所述的光学测量方法，其特征在于，该第一光束为一可见光激光光束或一不可见光激光光束。
【专利摘要】本发明关于一种光学测量方法，用以测量一图案化蓝宝石基板的一表面状态，包含下列步骤：利用一自动光学检查程序检查图案化蓝宝石基板的表面，以定义一良品区域与一缺陷区域；提供一光源以发射一第一光束；使第一光束依序通过一光纤连接器及一光学探针，而聚焦于图案化蓝宝石基板的表面上所定义的一测量焦点；其中，测量焦点位于良品区域内，光学探针在相对测量焦点处具有一针孔以供第一光束入射，且针孔与测量焦点为共轭。
【IPC分类】G01N21/956
【公开号】CN105372264
【申请号】CN201510446515
【发明人】蔡政道
【申请人】政美应用股份有限公司
【公开日】2016年3月2日
【申请日】2015年7月27日
【公告号】US20160047756