混酸系统的制作方法

本实用新型涉及一种混酸系统，特别是关于一种提供洗涤药液的混酸系统。

背景技术：

于半导体制造过程中，半导体需要经过多次洗涤，以洗去位于板导体表面的残余物，或是于制造过程中所留于半导体表面的化学物。于每次洗涤时，所使用的洗涤剂(或称为药剂)可能具有不同的浓度、温度或酸碱值，以实际配合制造过程需求。

但是，现有的洗涤装置于面对上述的多次洗涤情况时，仅停止洗涤作业，然后更换适合该洗涤程序的洗涤剂。但对讲求时效的半导体制造商而言，每次更换洗涤剂的程序随之带来成本提升与工时增加，故现有的洗涤程序或洗涤装置仍有可以改善的空间。

技术实现要素：

本实用新型的主要目的在于提供一种混酸系统，以解决上述成本提升与工时增加的问题。

为了达到上述目的，本实用新型提供的混酸系统用于一洗涤腔，该混液系统包含有：

一第一混液槽，其具有一第一液控手段；

一第二混液槽，其具有一第二液控手段；

一浓度控制手段；以及

一切换手段；

其中，该第一混液槽具有一第一药液，该第二混液槽具有一第二药液，该第一液控手段侦测该第一药液于该第一混液槽中的液面位置，以判断是否进行一补液的动作，该第二液控手段侦测该第二药液于该第二混液槽的液面位置，以判断是否进行一补液的动作；该浓度控制手段侦测该第一药液或该第二药液的浓度，以判断是否进行改变该第一药液或该第二药液的浓度的动作；该切换手段切换该第一混液槽或该第二混液槽，以使该第一药液或该第二药液提供给该洗涤腔。

本实用新型提供的混酸系统应用于一洗涤腔，该混酸系统包含有：

一混液槽；

一液位计，其设于该混液槽；以及

一浓度计，其耦接该混液槽与该洗涤腔之间的连通管线；

其中，该混液槽容置一药液，该液位计侦测该药液的液面高度，该浓度计侦测该药液的浓度。

于一实施例，该第一混液槽还具有一第一温控手段，该第二混液槽还具有一第二温控手段，该第一温控制手段控制该第一药液的温度，该第二温控控制该第二药液的温度。

于一实施例，该浓度控制手段具有至少一浓度计、至少一泵浦与至少一药液槽与一补液槽，该浓度计耦接该泵浦与该洗涤腔，该泵浦耦接该第一混液槽，另一浓度计耦接另一泵浦与该洗涤腔，该另一泵浦耦接该第二混液槽，该药液槽耦接该第一混液槽与该第二混液槽，该补液槽耦接该第一混液槽与该第二混液槽。

于一实施例，该切换手段具有一第一阀体，该第一阀体设于该洗涤腔、该第一混液槽与该第二混液槽之间的连通管线；该切换手段还具有一第二阀体与一第三阀体，该第二阀体设于该洗涤腔、该第一混液槽与该第二混液槽之间的连通管线，该第三阀体设于该补液槽、该第一混液槽与该第二混液槽之间的连通管线。

于一实施例，一温控手段控制该药液的温度，该温控手段设于该混液槽或设于该洗涤腔与该混液槽之间的连通管线。该温控手段还具有一温度计、一冷却器与一加热器，该温度计、该冷却器与该加热器设于该混液槽或设于该洗涤腔与该混液槽之间的连通管线，并且该浓度计还耦接一泵浦，该泵浦耦接该混液槽，该混液槽耦接一补液槽与一药液槽。

综合上述，本实用新型提供的混酸系统于不同洗涤程序时无须更换药液，仅使用切换手段，即可切换药液，进而可降低成本与工时。

附图说明

图1为本实用新型提供的一种混酸系统的第一实施例的示意图；

图2为本实用新型提供的一种混酸系统的第二实施例的局部示意图。

附图标记说明：1-清洗端；10-洗涤腔；11-喷洒头；20-第一混液槽；21-第二混液槽；22-浓度控制手段；220-药液槽；221-药液槽；222-补液槽；223-浓度计；224-浓度计；225-泵浦；226-泵浦；23-切换手段；230-第一阀体；231-第二阀体；232-第三阀体；233-第四阀体；234-第五阀体；235-第六阀体；24-第一温控手段；240-第一加热器；241-第一冷却器；242-第一温度计；25-第二温控手段；250-第二加热器；251-第二冷却器；252-第二温度计；26-第一控液手段；27-第二控液手段；3-厂务端；40-混液槽；41-控液手段；410-液位计；42-温控手段；420-温度计；421-冷却器；422-加热器；43-浓度控制手段；430-泵浦；431-浓度计；44-第一阀体；45-第二阀体；46-第三阀体；50-清洗端；51-厂务端。

具体实施方式

如图1所示为本实用新型提供的一种混酸系统的第一实施例，其用于一清洗端1，该混酸系统包含有一第一混液槽20、一第二混液槽21、一浓度控制手段22与一切换手段23。

清洗端1具有一洗涤腔10与多个喷洒头11。该多个喷洒头11设于洗条腔10的内部。

第一混液槽20具有一第一温控手段24与一第一控液手段26。第一温控手段24用于控制位于第一混液槽20的第一药液的温度。该第一温控手段24可设于该第一混液槽20或设于该洗涤腔10与该第一混液槽20之间的连通管线(或者如图2所示的本实用新型的第二实施例)。

第一温控手段24具有一第一温度计242、一第一加热器240与一第一冷却器241。第一温度计242、第一加热器240与第一冷却器241设于第一混液槽20。第一控液手段26侦测第一药液于第一混液槽20中的液面位置。第一控液手段26为一液位计。该液位计可为气压式液位计或点位式液位计。第一混液槽20以连通管线耦接洗涤槽10。

第二混液槽21具有一第二温控手段25与一第二控液手段27。该第二温控手段25可设于该第二混液槽21或设于该洗涤腔10与该第二混液槽21之间的连通管线(或者如图2所示的本实用新型的第二实施例)。

第二温控手段25具有一第二温度计252、一第二加热器250与一第二冷却器251。第二温度计252、第二加热器250与第二冷却器251设于第二混液槽21。第二温控手段25用于控制位于第二混液槽21的第二药液的温度。第二控液手段27侦测第二药液于第二混液槽21中的液面位置。第二控液手段27为一液位计。该液位计可为气压式液位计或点位式液位计。第二混液槽21以管线耦接洗涤槽10。

浓度控制手段22侦测第一药液或第二药液的浓度，以判断是否要改变第一药液或第二药液的浓度。浓度控制手段22具有至少一浓度计223、224、至少一泵浦225、226、至少一药液槽220、221与一补液槽222。于本实施例中，浓度计223、224、泵浦225、226与药液槽220、221的数量分别为两个。

如图1所示，药液槽220以连通管线耦接第一混液槽20。药液槽220提供药液给第一混液槽20，以改变第一混液槽20槽内的第一药液的浓度。泵浦225以管线耦接第一混液槽20与浓度计223。浓度计223以连通管线耦接洗涤腔10。

药液槽221以连通管线耦接第二混液槽21。药液槽221提供药液给第二混液槽21，以改变第二混液槽21槽内的第二药液的浓度。泵浦226以连通管线耦接第二混液槽21与浓度计224。浓度计224以连通管线耦接洗涤腔10。

补液槽222以连通管线耦接第一混液槽20与第二混液槽21。又，在另一实施例中，该补液槽222亦可为两个，以分别对应该第一混液槽20及该第二混液槽21。

在对该洗涤腔10进行供液时，切换手段23切换第一混液槽20或第二混液槽21，以使第一药液或第二药液提供给洗涤腔10。或者当第一药液或第二药液由洗涤腔10回流时，切换手段23切换第一药液或第二药液的流道，以使第一药液流入第一混液槽20或第二药液流入第二混液槽21。或者当第一混液槽20或第二混液槽21需要补充液体时，切换手段23切换来自补液槽222的补充液体的流道，以使补充液体流入第一混液槽20或第二混液槽21，以达浓度改变的目的。

切换手段23具有一第一阀体230、一第二阀体231、一第三阀体232、一第四阀体233、一第五阀体234与第六阀体235。第一阀体230设于浓度计223、224与洗涤腔10之间的连通管线。第二阀体231设于洗涤腔10、第一混液槽20与第二混液槽21之间的连通管线。第三阀体232设于补液槽222、第一混液槽20与第二混液槽21之间的连通管线。第四阀体233设于第一混液槽20、第二混液槽21与厂务端3之间的连通管线。第五阀体234设于浓度计223与第一混液槽20之间的连通管线。第六阀体235设于浓度计224与第二混液槽21之间的连通管线。

如图1所示，第一混液槽20与第二混液槽21呈现内循环的状态。第一阀体230呈关闭状态。第五阀体234与第六阀体235呈开启状态。

第一混液槽20的内循环状态，泵浦225将第一药液由第一混液槽20抽出，经由连通管线经过浓度计223，再回到第一混液槽20。当第一药液通过浓度计223时，浓度计223侦测第一药液的浓度，若该浓度过高，则补液槽222提供补充液体给第一混液槽20。第三阀体232使补充液体仅能流入第一混液槽20。若该浓度过低，则药液槽220提供药液给第一混液槽20。

同时，液位计26侦测第一混液槽20的第一药液的液面高度，若液面高度过低，则补液槽222提供补充液体，或者药液槽220提供药液，或者同时补液槽222提供补充液体与药液槽220提供药液。温度计242侦测第一药液的温度，若温度过高，则第一冷却器241对第一药液进行降温。若温度过低，则第一加热器240对第一药液进行增温，以控制第一药液的温度符合制造过程需求。呈开启状态的第五阀体234使第一药液被泵浦225加压后，由第一混液槽20流出，经过浓度计223与第五阀体234，再回到第一混液槽20的内部。

同理，第二混液槽21的内循环状态，泵浦226将第二药液由第二混液槽21抽出，经由连通管线经过浓度计224，再回到第二混液槽21。当第二药液通过浓度计224时，浓度计224侦测第二药液的浓度，若该浓度过高，则补液槽222提供补充液体给第二混液槽21。第三阀体232使补充液体仅能流入第二混液槽21。若该浓度过低，则药液槽221提供药液给第二混液槽21。同时，液位计27侦测第二混液槽21的第二药液的液面高度，若液面高度过低，则补液槽222提供补充液体，或者药液槽221提供药液，或者同时补液槽222提供补充液体与药液槽221提供药液。

温度计252侦测第二药液的温度，若温度过高，则第二冷却器252对第二药液进行降温。若温度过低，则第二加热器250对第二药液进行增温，以控制第二药液的温度符合制造过程需求。呈开启状态的第六阀体235使第二药液被泵浦226加压后，由第二混液槽21流出，经过浓度计224与第六阀体235，再回到第二混液槽21的内部。

若第一混液槽20提供第一药液给洗涤腔10时，泵浦225加压第一药液，以使第一药液由第一混液槽20流经泵浦225、浓度计223与第一阀体230，再流入洗涤腔10，从而由喷洒头11喷出，以清洗位于洗涤腔10的待清洗物，如半导体基板、玻璃基板或显示面板。第一阀体230使第一药液能够流入洗涤腔10，并使第二混液槽21维持于上述的内循环状态。此时，第五阀体234呈关闭状态，以避免第一药液由第一阀体230处回流至第一混液槽20。第六阀体235呈开启状态，以使第二药液流回至第二混液槽21，从而使第二混液槽21呈一内循环状态。

同理，当第一阀体230切换至第二混液槽21提供第二药液时，第六阀体235呈关闭状态，以避免第二药液回流至第二混液槽21。第五阀体234呈开启状态，以使第一药液流回至第一混液槽20，从而使第一混液槽21呈一内循环状态。

上述的内循环状态的目的是当第一混液槽20提供第一药液给洗涤腔10时，呈内循环状态的第二混液槽21可为一种备料状态。故当第二混液槽21欲提供第二药液给洗涤腔10时，第二混液槽21能够实时提供给洗涤腔10。同理，当第二混液槽21提供第二药液给洗涤腔10时，呈内循环状态的第一混液槽20可为一种备料状态。故当第一混液槽20欲提供第一药液给洗涤腔10时，第一混液槽20能够提供给洗涤腔10。如前所述，内循环状态使其一混液槽(第一混液槽20或第二混液槽21)处于一种备料状态，在制造过程变换或药液使用寿命到期而需更换药液时(第一药液或第二药液)，能实时提供药液，从而达到节省工时的目的。

第一药液经由连通管线流出洗涤腔10，第二阀体231控制第一药液流回至第一混液槽20。如上所述，浓度控制手段22侦测第一药液的浓度，以判断是否要改变第一药液的浓度。第一温控手段24侦测第一药液的温度，以判断是否要改变第一药液的温度。第一控液手段26侦测第一药液的液面高度，以判断是否要改变第一药液的液面高度。

若洗涤腔10的洗涤流程要由第二混液槽21提供第二药液时，第一阀体230使第二药液能够供给至洗涤腔10，并使第一混液槽20呈内循环状态。第二阀体231控制第二药液流回第二混液槽21。

泵浦226加压第二药液，以使第二药液由第二混液槽20流经泵浦226、浓度计224与第一阀体230，再流入洗涤腔10，从而由喷洒头11喷出。第二药液油管线流出洗涤腔10，并受第二阀体231控制，以使第二药液流回第二混液槽21。如上所述，浓度控制手段22侦测第二药液的浓度，以判断是否要改变第二药液的浓度。第二温控手段25侦测第二药液的温度，以判断是否要改变第二药液的温度。第二控液手段27侦测第二药液的液面高度，以判断是否要改变第二药液的液面高度。

于另一实施例中，其与图1相同，该第一药液与该第二药液的成分相同，仅需一个药液槽分别供给药液至该第一混液槽20及该第二混液槽21。

当第一混液槽20的第一药液过多或需要替换时，第四阀体233切换至开启第一混液槽20与厂务端3的连通管线，以使第一药液能够流入厂务端3。同理，当第二混液槽21的第二药液过多或需要替换时，第四阀体233切换至开启第二混液槽21与厂务端3的连通管线，以使第二药液能够流入厂务端3。若无需更换或泄出第一药液或第二药液，则第四阀体233呈关闭状态。

如图2所示为本实用新型提供的一种混液系统的第二实施例，其用于一设于该清洗端50的洗涤腔(如图1的第一实施例所示的洗涤腔10)。该混液系统包含有一混液槽40、一液控手段41、一温控手段42与一浓度控制手段43。

清洗端50如上述的第一实施例所述。混液槽40以多个阀体及连通管线耦接清洗端50，以使药液可自混液槽40内供给至清洗端50，及由清洗端50回流至混液槽40。

混液槽40可容置一药液。液控手段41具有一液位计410，液位计410设于混液槽40。混液槽40进一步以连通管线耦接补液槽与药液槽(图中未示)。混液槽40进一步以连通管线耦接厂务端51。

温控手段42控制该药液的温度，温控手段42设于混液槽40或设于洗涤腔与混液槽40之间的连通管线。温控手段42具有一温度计420、一冷却器421与一加热器422。于本实施例中，温度计420、冷却器421与加热器422设于洗涤腔与混液槽40之间的连通管线。于另一实施例中，温度计420、冷却器421与加热器422可设于混液槽40。

一第一阀体44设于清洗端50与混液槽40之间的连通管线。一第二阀体45设于浓度计431与混液槽40之间的连通管线。一第三阀体46设于厂务端51与混液槽40之间的连通管线。

如同第一实施例所述，当第一阀体44关闭且第二阀体45开启时，混液槽40呈现上述的内循环状态。泵浦430加压位于混液槽40的药液，以使药液流经温度计420、冷却器421、加热器422、泵浦430、浓度计431与第二阀体45，再回到混液槽40。温度计420侦测药液的温度。若温度过低，则加热器422加热药液。若温度过高，则冷却器421降温药液。

浓度计431侦测药液的浓度，以使药液槽是否要提供药液，或是补液槽是否要提供补充液体。液位计410侦测药液的液面高度，以使药液槽是否要提供药液，或是补液槽是否要提供补充液体。

当第一阀体47改变药液流向，并且第二阀体45关闭时，药液能够提供给清洗端50，药液再由清洗端50流回至混液槽40。温度计420侦测药液的温度。若温度过低，则加热器422加热药液。若温度过高，则冷却器421降温药液。浓度计431侦测药液的浓度，以使药液槽是否要提供药液，或是补液槽是否要提供补充液体。液位计410侦测药液的液面高度，以使药液槽是否要提供药液，或是补液槽是否要提供补充液体。

当混液槽40的药液过多或需要替换时，第三阀体46呈开启状态，以使药液能够流入厂务端51。待药液已流出一预定量后，第三阀体46呈关闭状态。

综上所述，本实用新型于不同洗涤程序时无须更换药液，仅使用切换手段，即可切换药液，进而可降低成本与工时。

同理，本实用新型可进一步以浓度控制手段控制药液浓度，液控手段控液药液的液面高度，以及温控手段控制药液的温度。

以上所述仅记载本实用新型为呈现解决问题所采用的技术手段的较佳实施方式或实施例而已，并非用来限定本实用新型专利实施的范围。即凡与本实用新型权利要求文义相符，或依本实用新型权利要求所做的均等变化与修饰，皆为本实用新型的保护范围所涵盖。