叠的多台例如4台气体供给单元U的四条独立的气体通路28构成，利用上述纵向气体通路(贯通孔)25，将堆叠的多台例如4台气体供给单元U的各出口侧气体通路部的气体通路28彼此相互连结。通过做成这样的结构，使得不用上述连结管29，能够使装置更简洁化。
[0023]进而，也可以构成为，在上述气体入口侧块12与入口开闭阀用主体块18之间夹设入口开闭阀主体用块18a，并且在入口开闭阀用主体块18a的背面侧及正面侧固定入口开闭阀Ia及加工气体入口接头6a，增加加工气体的供给部位。通过做成该结构，能够更简单地实现加工气体等的供给部位的增加。
[0024]在本申请发明中构成为，通过在以平面观察隔开间隔地并列设置的气体入口侧块12及气体出口侧块13上对置状地组合固定设置有多个流量控制部的两台流量控制器3，并且在各流量控制器3中设置入口开闭阀I及出口开闭阀5，来形成包括至少四个系统的气体供给线路S的气体供给单元U，并将多台该气体供给单元U堆叠固定。
[0025]其结果为，在气体供给线路S增加的情况下，集成型气体供给装置也不会大幅地大型化，例如在将4台气体供给单元U层叠并且气体供给线路S为16且各线路的控制流量为ILM的情况下，能够将集成型气体供给装置的尺寸抑制在高度240mm、横宽240mm、进深450mm以内，能够实现大幅的小型化。
[0026]此外，通过做成上述结构，能够使集成型气体供给装置内部的气体流通路容积大幅减小，特别是，通过构成为在隔开间隔地并列设置的气体入口侧块12及气体出口侧块13上对置状地组合固定设置有多个流量控制部的两台流量控制器3，并且在各流量控制器3中设置入口开闭阀I及出口开闭阀5，使得在气体流通路内径6.27mm、气体供给线路数16、各线路的控制流量ILM的情况下，能够使装置内部的气体通路容积成为60?70CC左右，能够降低到以往的集成型气体供给装置的内部气体通路容积的大致1/3以下。
[0027]其结果为，所谓气体的置换性显著地提高，与以往的相同控制容量的集成型气体供给装置相比，能够使气体置换所需的时间缩短约30?40%。
[0028]进而，本发明的集成型气体供给装置由于是小型、轻量的，所以即使在半导体制造装置的顶板面上也能够容易地设置，能够实现清洁室的占地面积的小型化，并且能够将构成集成化气体供给装置的各仪器类全部从装置的侧方拆卸或安装，装置的维护管理变得极其容易。
【附图说明】
[0029]图1是本发明的第I实施例的半导体制造装置用集成型气体供给装置的气体供给系统图。
[0030]图2是本发明的第I实施例的半导体制造装置用集成型气体供给装置的主视图。
[0031]图3是在本发明的第I实施例中使用的气体供给单元的横截面概要图(图2的^一Y观察截面概要图)。
[0032]图4是图2的Y — Y观察的放大的截面概要图。
[0033]图5是图4的气体出口部的左视图。
[0034]图6是在本发明的第I实施例中使用的第2例的气体供给单元的截面概要图。
[0035]图7是图6的气体出口部的左视图。
[0036]图8是本发明的第2实施例的半导体制造装置用集成型气体供给装置的气体供给系统图。
[0037]图9是第2实施例的半导体制造装置用集成型气体供给装置的主视图。
[0038]图10是图9的Π — Π观察的截面概要图。
[0039]图11是图9的口一口观察的放大的截面概要图。
[0040]图12是图11的气体出口部的左视图。
[0041]图13是第3实施例的半导体制造装置用集成型气体供给装置的气体供给系统图。
[0042]图14是第3实施例的气体供给单元U的气体入口部分的截面概要图。
[0043]图15是表示以往的集成化气体供给装置的一例的立体图(日本特开平5 — 172165号)。
【具体实施方式】
[0044]以下，基于【附图说明】本发明的各实施方式。
[0045][第I实施方式]
图1至图7是表示本发明的第I实施例的半导体制造装置用集成型气体供给装置的图，在本第I实施例中，如图1的气体供给系统图所示，被向加工气体入口接头6供给的4种气体种类经过16条气体供给线路S及四个加工气体通路10的某个，从加工气体出口接头8向加工处理装置(省略图示)供给。
[0046]即，在本实施例中为以下结构:总计16个的气体供给线路S分为四个组，从各加工气体入口接头6流入的气体向四个组分别导入，并且从四个各组引出的四个系统的气体供给线路S会合为一个，从加工气体通路10分别向加工处理装置(省略图示)供给。
[0047]另外，在图1中，I是入口开闭阀，2是阀驱动部，3是流量控制器，5是出口开闭阀，6是加工气体入口接头，7是净化气体入口接头，8是加工气体出口接头，9是净化气体通路，10是加工气体通路10。
[0048]此外，在以下的说明中，将由上述四个系统的气体供给线路S构成的组称为气体供给单元U。
[0049]图2是本发明的第I实施例的半导体制造装置用的集成型气体供给装置的主视图，该集成型气体供给装置通过将由上述四个系统的气体供给线路S构成的4台气体供给单元U在纵向上层叠并相互固定而形成，该集成型气体供给装置具有高度H=85?90mm、横宽W=202?210mm、进深L=420?424mm的各尺寸。
[0050]此外，在以下的说明中，将图2的出口开闭阀5侧称为左侧面，将入口开闭阀I侧称为右侧面，将与正面对置的里侧称为背面(进深L的里部)，将高度H的下方称为底面，将上方称为上表面。
[0051]图3是图2的64观察截面概要图，对应于各气体供给单元U的横截面概要图。该气体供给单元U如后述那样形成，在平面观察隔开间隔地将气体入口侧块12及气体出口侧块13平行状地纵向配置，在该气体入口侧块12上固定入口开闭阀用主体块18并在气体出口侧块13上固定出口开闭阀用主体块19，并且在这些等部件的正面侧和背面侧分别对置状地固定入口开闭阀1、流量控制器3、出口开闭阀5等。
[0052]即，上述的各流量控制器3经由压力式流量控制器入口块15及压力式流量控制器出口块16固定在气体入口侧块12及气体出口侧块13上，通过使具有由入口开闭阀1、流量控制器3、出口开闭阀5等构成的两个系统的气体供给线路S的第I单元体U1和第2单元体U2水平地对置而固定在气体入口侧块12及气体出口侧块13的正面侧和背面侧，来形成具有四个系统的气体供给线路S的I台气体供给单元U。
[0053]另外，在图2及图3中，14是流量控制器主体块，20是固定用螺栓，21a是流量控制器的控制阀，28是气体通路。
[0054](第I 例)
图4是表示在第I实施例中使用的气体供给单元U的结构的图，该第I例的气体供给单元U这样形成:使相同结构的第I单元体U1及第2单元体U 2水平状地对置，并组装到隔开一定的间隔纵向平行地配置的气体入口侧块12和气体出口侧块13的正面侧及背面侧。
[0055]即，第I单元体U1由四角状的入口开闭阀用主体块18、四角状的出口开闭阀用主体块19、流量控制器3、入口开闭阀I和两个出口开闭阀5等形成，入口开闭阀用主体块18气密地固定在气体入口侧块12的右侧侧面上，出口开闭阀用主体块19气密地固定在气体出口侧块13的左侧侧面上，流量控制器3平行状地设置有两组压电元件驱动部21，两组压电元件驱动部21经由压力式流量控制器入口块15及压力式流量控制器出口块16气密地固定在气体入口侧块12及气体出口侧块13的背面侧，入口开闭阀I固定在入口开闭阀用主体块18的背面侧，两个出口开闭阀5并列状地固定在出口开闭阀用主体块19的背面侧。另外，2Ia是由压电元件驱动部21驱动的控制阀。
[0056]同样，第2单元体U2由四角状的入口开闭阀用主体块18、四角状的出口开闭阀用主体块19、流量控制器3、入口开闭阀I和两个出口开闭阀5等形成，入口开闭阀用主体块18气密地固定在气体入口侧块12的右侧侧面上，出口开闭阀用主体块19气密地固定在气体出口侧块13的左侧侧面上，流量控制器3平行状地设置有两组压电元件驱动部21，两组压电元件驱动部21经由入口块15及出口块16气密地固定在气体入口侧块12及气体出口侧块13的正面侧，入口开闭阀I固定在入口开闭阀用主体块18的正面侧，两个出口开闭阀5并列状地固定在出口开闭阀用主体块19的正面侧，在入口开闭阀用主体块18的右侧侧面上固定有加工气体入口接头6及净化气体入口接头7，此外在出口开闭阀用主体块19的左侧侧面上固定有加工气体出口接头8。
[0057]上述入口