等条件与第I实施例的情况相同的情况下，能够使内部气体流通路的合计容积(16个系统)减小至63.8CC，除此以外，还能够使气体的入口侧的构造变得简单。
[0082][第3实施例]
图13和图14是表示第3实施例的图，是在第I实施例的气体供给单元U中在入口开闭阀I的下游侧另外设置气体供给口的结构。
[0083]S卩，在该第3实施例中，如图14所示，在气体入口侧块12与入口开闭阀用主体块18之间夹设入口开闭阀用主体块18a，并且将入口开闭阀Ia及加工气体入口接头6a固定在入口开闭阀用主体块18a的背面侧及正面侧，成为增加加工气体的供给部位的结构，除了该入口开闭阀Ia及加工气体入口接头6a这一点以外，其他结构与上述第I实施例的情况相同。
[0084]通过做成该结构，能够不使装置内部的气体流通路的内容积大幅增加，而容易增加加工气体等的供给部位。
[0085]另外，在上述各实施例中为将4台气体供给单元U层叠的结构，但层叠的气体供给单元U的数量当然也可以是两台或三台、或者四台以上。
[0086]此外，在上述各实施例中构成为，通过使具有两个系统的气体供给线路S的第I单元体U1和第2单元体U 2水平对置地固定，来形成具有四个系统的气体供给线路S的I台气体供给单元U，但当然第I单元体U1和第2单元体U2&可以分别具有I个系统或两个系统以上的气体供给线路S，气体供给单元U也可以具有两个系统或三个系统或者四个系统以上的气体供给线路S。
[0087]工业实用性
本发明不仅用于半导体制造装置，还能够作为各种化学装置等中的集成型气体供给装置使用。
[0088]附图标记说明
W集成型气体供给装置的横宽尺寸 L集成型气体供给装置的进深尺寸 H集成型气体供给装置的高度尺寸 S气体供给线路 U气体供给单元 U1第I气体供给单元 U2第2气体供给单元 I入口开闭阀 Ia入口开闭阀 2阀驱动部
3流量控制器(压力式流量控制器)
4压力检测器
4a压力检测器
5出口开闭阀
6加工气体入口接头
6a加工气体入口接头
7净化气体入口接头
8加工气体出口接头
9净化气体通路
10加工气体通路
11输入输出连接件(线缆连接器)
12气体入口侧块13气体出口侧块14流量控制器主体块15入口块16出口块
17压力检测器安装块18入口开闭阀用主体块18a入口开闭阀用主体块19出口开闭阀用主体块20固定用螺栓21压电元件驱动部21a控制阀22控制回路23密封部件24阀安装用凹部25纵向气体流路26压力检测器安装用凹部27节流孔28气体通路29连结管30罩体。
【主权项】
1.一种集成型气体供给装置，其特征在于， 通过在以平面观察隔开间隔地并列设置的气体入口侧块(12)及气体出口侧块(13)上对置状地组合固定设置有多个流量控制部的两台流量控制器(3)，并且在各流量控制器(3)中设置入口开闭阀(I)及出口开闭阀(5)，来形成包括至少四个系统的气体供给线路(S)的气体供给单元(U)，并成为将多台该气体供给单元(U)堆叠固定的结构。
2.如权利要求1所述的集成型气体供给装置，其特征在于， 使流量控制器(3)为具有并列状地设置有两个流量控制部的两个系统的气体供给线路的压力式流量控制器(3)，此外，分别将各流量控制器(3)的入口块(15)固定到气体入口侧块(12 )的侧面，并将各流量控制器(3 )的出口块(16 )固定到气体出口侧块(13 )的侧面，将各流量控制器(3 )对置状地组合固定，进而在上述气体入口侧块(12 )的右侧固定入口开闭阀(I)，并在气体出口侧块(13)的左侧固定出口开闭阀(5)，并且使气体供给单元(U)的堆叠数为多台。
3.如权利要求1或2所述的集成型气体供给装置，其特征在于， 在气体入口侧块(12 )的右侧面上固定有入口开闭阀用主体块(18 )，在该入口开闭阀用主体块(18)的正面侧及背面侧固定两流量控制器(3)的入口开闭阀(1)，此外，在气体出口侧块(13)的左侧面上固定出口开闭阀用主体块(19)，在该出口开闭阀用主体块(19)的正面侧及背面侧固定两流量控制器(3 )的出口开闭阀(5 )。
4.如权利要求1或2所述的集成型气体供给装置，其特征在于， 使设置在入口开闭阀用主体块(18)上的各流量控制器(3)用的入口开闭阀(I)为I台，从一个加工气体入口接头(6)或净化气体入口接头(7)向两流量控制器(3)的入口开闭阀(I)供给加工气体或净化气体，经过气体入口侧块(12)的气体通路(28)及流量控制器(3)的入口块(15)的气体通路(28)向各流量控制器(3)供给加工气体或净化气体。
5.如权利要求1或2所述的集成型气体供给装置，其特征在于， 使设置在出口开闭阀用主体块(19)上的各流量控制器(3)用的出口开闭阀(5)为两台，从合计4台出口开闭阀(5)经过一个加工气体出口接头(8)供给加工气体或净化气体。
6.如权利要求1或2所述的集成型气体供给装置，其特征在于， 使气体入口侧块(12)为高度H的柱状体，并且在该气体入口侧块(12)上穿孔多个纵向气体通路(25)，通过该纵向气体通路(25)，使由堆叠的多台气体供给单元(U)的各气体入口侧块(12)的四条气体通路(28)构成的入口侧气体通路部相互连通。
7.如权利要求1或2所述的集成型气体供给装置，其特征在于， 使气体出口侧块(13)为高度H的柱状体，并且在该气体出口侧块(13)上，在高度方向上隔开间隔地形成有由堆叠的多台气体供给单元(U)的四条气体通路(28)构成的出口侧气体通路部。
8.如权利要求1或2所述的集成型气体供给装置，其特征在于， 使气体入口侧块(12)为高度H的柱状体，在该气体入口侧块(12)上，在高度方向上隔开间隔地形成有向堆叠的多台气体供给单元(U)供给加工气体或净化气体的由四条气体通路(28)构成的入口侧气体通路部。
9.如权利要求1或2所述的集成型气体供给装置，其特征在于， 在出口开闭阀用主体块(19)上，设置有由与4台出口开闭阀(5)分别连通的四条独立的气体通路(28)构成的出口侧气体通路部，并且在各气体通路(28)的各自中设置有加工气体出口接头(8)，成为将堆叠的多台气体供给单元(U)的各加工气体出口接头(8)彼此通过连结管(29)连结的结构。
10.如权利要求9所述的集成型气体供给装置，其特征在于， 使出口开闭阀用主体块(19)为高度H的柱状体，在该出口开闭阀用主体块(19)上穿孔多个纵向气体通路(25)，并且在该出口开闭阀用主体块(19)上，在高度方向上隔开间隔地形成有由堆叠的多台气体供给单元(U)的四条独立的气体通路(28)构成的出口侧气体通路部，利用上述纵向气体通路(25)将堆叠的多台气体供给单元(U)的出口侧气体通路部的气体通路(28)彼此相互连结。
11.如权利要求1或2所述的集成型气体供给装置，其特征在于， 在气体入口侧块(12 )与入口开闭阀用主体块(18 )之间夹设入口开闭阀主体用块(18a)，并且在入口开闭阀用主体块(18a)的背面侧及正面侧固定入口开闭阀(Ia)及加工气体入口接头(6a)，增加加工气体的供给部位。
12.如权利要求2、6、7、8、9或10所述的集成型气体供给装置，其特征在于， 使气体供给单元(U)的堆叠台数为4台。
【专利摘要】本发明实现半导体制造装置用集成型气体供给装置的气体供给线路的增加、装置的小型化、装置内部的气体流路内容积的减小，提高装置的气体置换性，并且实现设置空间的削减、各仪器类的维护管理的容易化。通过在以平面观察隔开间隔地并列设置的气体入口侧块（12）及气体出口侧块（13）上，将设置有多个流量控制部的两台流量控制器（3）对置状地组合固定，并且在各流量控制器（3）中设置入口开闭阀（1）及出口开闭阀（5），来形成包括至少四个气体供给线路（S）的气体供给单元（U），将该气体供给单元（U）堆叠多台并固定。
【IPC分类】G05D7-00, F16K27-00
【公开号】CN104737086
【申请号】CN201380057366
【发明人】小艾睦典, 广濑隆, 山路道雄, 松田隆博
【申请人】株式会社富士金
【公开日】2015年6月24日
【申请日】2013年10月18日
【公告号】US20150234390, WO2014068886A1