用于创建集成电路布局方法、计算机系统及可读储存媒介的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明是关于集成电路的制造，更详而言之，是有关于利用电子设计自动化技术来创造出集成电路的布局。
【背景技术】
[0002]集成电路通常包括大量的电路元件，特别是包括场效电晶体。其他类型的电路元件可能出现在集成电路中的包括电容，二极体以及电阻。在集成电路中的电路元件可经由用介电材料制成的导电金属线的方式进行电连接，例如金属镶嵌技术。导电金属线可被用在电路元件中与其上的基底上面彼此堆迭于顶部的多个互连层，像场效电晶体，电容，二极体与电阻的形成。不同互连层中的金属线可利用内有金属填充的接触通孔来进行彼此的电连接。
[0003]由于现代集成电路的复杂性，在集成电路的设计上常采用自动化设计技术。
[0004]集成电路的设计可采用许多步骤。这些步骤可包括创造用户规范来定义集成电路的功能。用户规范可作为基础用来创造暂存器传输级描述让硬体暂存器之间的讯号流动和那些讯号之间的逻辑操作使得集成电路模型化。接着，集成电路的暂存器传输级描述可用于集成电路的物理设计，其特征在于集成电路的布局的创造。该创造出的布局可作为基础来形成掩膜，其可被用于当作图案化材料来制造集成电路。
[0005]集成电路的布局的创建是基于用来限定集成电路的布局的设计规则。例如，设计规则可定义集成电路的电路特征之间的间距，金属线之间和/或接触通孔之间的间距，电路特征的宽度，金属线的宽度，定义用来涵盖其他电路特征的边的封装区域，例如以金属线涵盖接触通孔，或是限定相关的电路特征。
[0006]在集成电路的布局的创建中，设计规则可被模型化且被用于当作布局建构工具来执行创建集成电路的布局的自动化布局建构制程。
[0007]创建出布局后，该布局可被验证和/或优化。特别是，设计规则可用来确认所创建出的布局是否有符合所有的设计规则。若在布局中发现错误，则该布局可被修正。为达到这个目的，可以进行图案匹配技术。
[0008]美国专利第8，429，582号揭露一种自动修正布局的方法。从电子布局中的第一图案被识别。这可依据设计规则检查错误标记来完成。一或多个第二图案，其可提供错误修正，可从数据库或其他种已知为”好”图案的数据结构来进行识别，例如，就设计规则检查而言。这些图案可被分组并进行计分处理以在多个第二图案中选择出一个。
[0009]美国专利第8，418，105号揭露了设计规则检查的执行和基于规则的检查双重图案化技术遵从性。如果设计失败，一自动分解制程会进行分解该设计，且接着产生后分解布局，以再次检查设计规则与双重图案化技术遵从性。该布局可被扫描其错误之处以比较与预先特征双重图案化技术兼容模式库中的预特征图案的相似处。当发现有匹配的地方时，在布局中的错误位置会基于所匹配的图案进行自动修正。
[0010]在制造集成电路的先进技术中，例如，按照20奈米技术节点的技术，可能会涉及到大量的设计规则。另外，相较于早期技术节点考虑到的设计规则，20奈米技术节点的技术所涉及的设计规则可能具有更大程度的复杂性。
[0011]用于集成电路的布局的现有算法相对一组小的设计规则来说，是通常优化用于各种大量布局的选择是正确的。与此相反的是，涉及以先进技术制造集成电路的设计规则很大程度可能会限制了正确布局的空间，像只有一组设计结构或图案可能会限制所需布局情况的维持。此外，可能有些设计规则其用在布局建构工具中是困难的。因此，一种不被看好的设计规则的模型化被用在自动化布局建构工具上，其中这些无法轻易为自动化布局建构工具进行模型化的设计规则被容易模型化的设计规则所取代，但也导致正确布局空间所受到的限制比原先的设计规则来得大。
[0012]当利用先进工艺技术形成集成电路以创建布局的现有技术中，可能出现的问题，因此，包括不被看好的布局，其中集成电路在晶圆上所占的面积和/或集成电路的操作速度是较不理想的。此外，传统的方法可能会导致相对大的周转时间，因为以现有算法创建集成电路的布局的会聚可能是困难的。此外，在某些情况下，集成电路的布局可能需要较大量的手动修正。
[0013]鉴于以上情况，本发明提供一种方法，机算机系统以及计算机可读储存媒介能够来帮助避免或至少减少上述所提到的一些或全部问题。
【发明内容】
[0014]下文是提供本发明中对本发明于一些方面的基本理解的简要概述。该概述不是本发明的详尽概览。它不旨在标识本发明的关键或重要元素或描绘本发明的范围内。其唯一的目的是以简化形式呈现一些概念作为前奏以对稍后论述作更详细的描述。
[0015]本文中所公开的方法包括:获得用于集成电路的多个设计规则。该集成电路的一部分被选择。该集成电路的未选择的其余部分被包括在第一组的设计规则。该集成电路的选择的部分被包括在第二组的设计规则。执行自动化布局建构的制程。该自动化布局建构制程会创建出该集成电路的布局。该自动化布局建构制程是依据该第一组设计规则而不是该第二组设计规则来执行。该集成电路的该布局会被检查其中未满足该第二组设计规则的至少一个的违规设计。如果在该集成电路的该检查中发现有一或多个的违规设计，该集成电路的该布局会被修改以使该集成电路的该布局符合该多个设计规则中的每一个。
[0016]本文所公开的示例性计算机系统包括检测图案库，修复图案库，布局建构工具，图案匹配工具，分类器以及修复图案选择器。该检测资料库包括一组检测图案。该修复图案库包括一组修复图案。该布局建构工具执行一自动化布局建构制程。该自动化布局建构制程创建一集成电路的布局且是依据第一组设计规则而不是第二组设计规则来执行。该图案匹配工具会进行图案匹配制程以辨识电路布局中匹配该组检测图案的至少一个的一或多个部分。每个匹配代表一个违规设计，其是指该第二组设计规则中的至少一个未被满足。该分类器是用于分类该集成电路的布局中的一或多个部分。该修复图案选择器会依据该集成电路的该布局中个别部分的分类，从该修复图案库中选择一或多个修复图案以对应该集成电路的该布局中的每个部分。该布局建构工具接收该选择的一或多个修复图案，并根据该选择的一或多个修复图案修改该集成电路的该布局以使该集成电路的该布局符合该第二组设计规则。
[0017]本文所公开的另一示例性计算机系统包括内含一组检测图案的检测图案库以及内含一组修复图案的修复图案库。另外，该计算机系统包括执行自动化布局建构制程的工具。该自动化布局建构制程创建该集成电路的该布局且是依据第一组设计规则来执行而不是第二组设计规则。该计算机系统进一步包括执行图案匹配制程的工具以辨识该集成电路的该布局中匹配该组检测图案的至少一个的一或多个部分。每个匹配代表一个违规设计，其是指第二组设计规则中的至少一个未被满足。该计算机系统进一步包括该集成电路的该布局中的一或多个部分的分类工具以及为该集成电路中的每个部分从该修复图案库中选择一或多个修复图案的选择工具。该一或多个修复图案的选择是依据该集成电路的该布局中各自部分的分类来执行。执行自动化布局建构制程的工具会接收选择的一或多个修复图案并根据该选择的一或多个修复图案修改该集成电路的该布局以使该集成电路的该布局符合该第二组设计规则。
[0018]本文所公开的示例性计算机可读储存媒介包括编码以令计算机进行自动化布局建构制程。该自动化布局建构制程创建集成电路的布局。该自动化布局建构制程是依据第一组设计规则来执行而不是第二组设计规则。另外，该编码令该计算机进行图案匹配制程以辨识该集成电路的该布局中匹配一组检测图案中的至少一个部件的一或多个部分。每个匹配代表一个设计规则，其是指第二组设计规则中的至少一个未被满足。该编码进一步令该计算机进行该集成电路的该布局中的一或多个部分的分类并提供一或多个修复图案对应该集成电路的该布局中的每个部份。该一或多个修复图案是在该集成电路的该布局中个别部分的分类基础下被提供。此外，该编码依据该一或多个修复图案令该计算机修改该集成电路的该布局以使该集成电路的该布局符合该第二组设计规则。
【附图说明】
[0019]本发明可以配合附图来了解，其中相同的附图标记标识相同的元件，且其中并结合下面的描述:
[0020]图1示出本发明所公开的计算机系统的方块图；
[0021]图2到图10示出了本发明所公开的方法的流程图；
[0022]图11示例性地示出关于接触通孔之间的空间的设计规则；
[0023]图12a与图12b示例性地示出通孔群集间隔规则与通孔群集规则；
[0024]图13示例性地示出可用于检测通孔群集违规的检测图案；
[0025]图14a与图14b示例性地示出当通孔群集违规被图13所示的图案检测方法检测到时，可用于使电路布局符合设计规则的修复图案；
[0026]图15示例性地示出重金属间隔规则；
[0027]图16和图17示例性地示出通孔到金属间隔规则；
[0028]图18示例性地示出复杂的多切外壳规则；以及
[0029]图19示例性地示出密集线终端同掩膜间距规则。
[0030]尽管本文所公开的主题易受各种修改和替代形式，其具体实施例已经示出通过实施例在附图的方式并在本文中详细描述。但是，应当理解的是，本文对具体实施例的描述并不打算限制本发明于公开的特定形式，相反的是，其意图是涵盖在本发明的权利要求的精神和范围内的所有修改，等价物和替代物。
【具体实施方式】
[0031]本发明的各种说明性实施例描述如下。为了清楚起见，实际实现的所有特征在本说明书中进行了描述。当然可以理解的是，在任何这种实际实施例的发展，许多实施方式特定的决定必须进行以实现开发者的特定目标，例如符合与系统相关和商业相关的限制，这将从一个实施变化到另一个。此外，应当理解的是，这样的开发努力可能是复杂和耗时耗时，但是对于本领域中受益于本发明的普通技术人员仍然是例行任务。
[0032]本发明现在将参照附图来描述。各种结构，系统和元件的示例性描绘在附图中是为了解释的目的之用，以便不会让在本领域中的技术人士因已知的细节模糊本发明。尽管如此，附图被包括用以描述和解释本发明的说明性实施例。本文中所使用的字词和短语应被理解和解释成与那些相关领域的技术人士所理解的含义一致。文中术语或短语没有特殊的定义，即，不同于本领域技术人士所理解的传统或一般定义，旨在用术语或短语本文前后一致使用来暗示。在某种程度上，术语或短语旨在具有特殊含义，即不同于技术人员所理解的其他意义，这样的特殊定义应意味深长所列的定义的方式是直接且明确地提供该术语或短语的特殊定义的规范。
[0033]在本文所公开的实施例中，一种被看好用在自动化布局建构制程中的模型化设计规则，可藉由布局建构工具来执行。多个用于集成电路的设计规则，例如，可由集成电路制造上所采用技术提供的设计规则手册来获得。一部分的设计规则被选中，而自动化布局建构制程创建集成电路的布局，且是依据其他未被选中的设计规则来执行。因此，可能会发生由该自动化布局建构制程所建构的制程不满足所有的设计规则，而这些被选中的设计规则中可能会发生违规。如果发生违规设计，自动化图案匹配演算法可能会检测该布局中内含违规设计的失败部分。该布局中的失败部分可被自动分类，且一或多个修复图案会定义修复方案，其可被选用于该布局中的失败部分，并回馈到该布局建构工具。接着该布局建构工具会进行修复。
[0034]在一些实施例中，该布局的修复可藉由图案替换的方法来进行，其中嵌