技术特征：
技术总结
一种电熔丝位单元阵列中的电熔丝缺陷检测方法及电路，所述电熔丝位单元阵列包括至少一个电熔丝位单元，所述电熔丝位单元包括所述电熔丝，所述电熔丝位单元阵列中的电熔丝缺陷检测方法包括：每一次检测时，在所述电熔丝单元阵列中选中一个电熔丝位单元，灵敏放大器的输入端经由选中的电熔丝位单元形成对地通路，从所述灵敏放大器的输出端读出检测结果；读出检测结果之后且在下一次检测之前，断开所述灵敏放大器的输入端的对地通路，以使得所述灵敏放大器的输出端输出逻辑高电平。本发明实施例可以对电熔丝位单元阵列中的电熔丝的缺陷进行检测，并可以提高所述电熔丝的缺陷检测的准确率。
技术研发人员：罗睿明;陈先敏;邱星福;杨家奇
受保护的技术使用者：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
技术研发日：2016.01.11
技术公布日：2017.07.18