同样固着于从滑炔基板20延伸出的第一驱动肋36a和第 二驱动肋36b上（图6的F-F部）。
[0070] 第一及第二驱动装置16a、16b通过向第一、第二、第三、第四电极垫片29a、29b、 29c、29d施加电压而被驱动。驱动布线37a配置成向第一驱动装置16a的第一电极垫片29a 和第二驱动装置16b的第四电极垫片29d进行输入，第二电极垫片29b、第三电极垫片29c 用接地布线37b与挠曲件基板接地。由此，如果向驱动布线37a输入交变驱动信号，第一驱 动装置16a和第二驱动装置16b就朝着相互相反的方向做伸缩运动。
[0071] 对图6(图7)所示的挠曲件15结构，在图8a~图8e中分成几个剖面分别进行了 描绘。图8a是表示图6中的C一C剖面的剖面图，图8b是表示图6中的D-D剖面的剖 面图，图8c是表示图6中的F-F剖面的剖面图。根据图8a，第一外伸支架22a由挠曲件 基板24构成，与滑炔基板20连接配置。根据图8b，处于磁头元件布线25a的背面侧的挠曲 件基板24通过蚀刻工艺被除去，滑炔基板20、第一外伸支架22a、及磁头元件布线25a被分 离。根据图8c，从滑炔基板20延伸出的挠曲件基板24即第一驱动肋36a和磁头元件布线 25a的一部分固着在一起。
[0072] 图9是表示在本发明的优选实施方式的动态吸振器的磁头支撑机构中，粘接在第 一驱动装置的挠曲件上的部分的剖面（图6中的E-E剖面）的图。在留下一部分挠曲件 基板24而形成的第一连杆39a处，第一驱动装置16a在其前端部与第一连杆39a重叠的位 置，粘接在第一压电体支撑部23a上。这是为了将薄膜压电体26的位移可靠地传递给第一 连杆39a。此外，对于具有与第一驱动装置16a同样的构造的第二驱动装置16b没有图示， 但第二驱动装置16b为如下结构：在留下一部分挠曲件基板24而形成的第二连杆39b处， 第二驱动装置16b在其前端部与第二连杆39b重叠的位置，粘接在第二压电体支撑部23b 上，将薄膜压电体的位移可靠地传递给第二连杆。
[0073] 在图7中，第一连杆39a在第一连接点40a和第二连接点40b之间连接配置。第 一连接点40a及第二连接点40b用蚀刻除去了烧曲件15的烧曲件基板24的磁头元件布线 25a(布线部）形成，与成为包含挠曲件基板24的结构的第一连杆39a相比，成为柔软的结 构，在第一驱动装置16a作伸缩运动时，第一连杆39a以第二连接点40b为中心进行细微的 转动运动。同样，第二连杆39b在第三连接点40c和第四连接点40d之间连接配置，第三及 第四连接点40c、40d与第一及第二连接点40a、40b的构造相同，因此，在第二驱动装置16b 作伸缩运动时，第二连杆39b以第四连接点40d为中心进行微细的转动运动。
[0074] 此外，在各图中，磁头支撑机构2的底板13及负载梁14相对与Y轴方向平行的中 心轴呈线对称。另外，第一连杆39a和第二连杆39b、第一连接点40a及第二连接点40b和 第三连接点40c及第四连接点40d、第一驱动装置16a和第二驱动装置16b等的构造，也同 样在各图中相对与Y轴方向平行的中心轴呈线对称。
[0075] 在图6、图7中，设有将第一驱动装置16a和第二连接点40b及挠曲件基板24分开 的第一分离槽44a，而且，该第一分离槽44a沿着与薄膜压电体26的长度方向（图中Y轴方 向）的长度相当的范围形成。通过该第一分离槽44a能够将薄膜压电体26的位移从包括 磁头元件布线部25a(布线部）的第二连接点40b和挠曲件基板24的束缚中解放出来，从 而使位移最大化。此外，磁头支撑机构2是相对与Y轴平行的对称轴呈线对称的形状，因此 根据图6,第二分离槽44b也是如此。
[0076] (第一实施方式）
[0077] 图10是具备具有本发明第一实施方式的动态吸振器的挠曲件的磁头支撑机构中 的动态吸振器的放大立体图（将图6中的区域Η放大表示的放大立体图）。图11是表示 图10中的G-G剖面的剖面图。挠曲件15具有挠曲件15的主体部15a、开口部53、动态 吸振器50。主体部15a通过第二梁焊接点17b固着于负载梁14上。开口部53形成于主体 部15a上。具体而言，设置在固着负载梁14和主体部15a的梁焊接点17b的附近。在本实 施方式中，开口部53为六边形状，但不限于此，也可以为圆形、四边形状。
[0078] 动态吸振器50配置于开口部53的大致中央，由配重部52和臂部51构成。在本 实施方式中，配重部52由大致正方形状的挠曲件基板24、设于挠曲件基板24上的大致正方 形状的绝缘层41、设于绝缘层41上的大致正方形状的导体箱25构成。即，配重部52通过 将多个弹性及比重不同的单层材料层叠而构成。此外，在本实施方式中，挠曲件基板24通 过蚀刻工艺进行加工，配重部52未通过蚀刻工艺除去而残留，形成由导体箱25构成的正方 形的岛状的图案25c。另外，由挠曲件基板24构成的岛状的图案24a和导体箱25的岛状的 图案25c，一边的长度相等，挠曲件15的平面方向（XY面方向）的外形形状相同，但不限于 此，为了进行质量调整，挠曲件基板24的岛状图案24a和导体箱25的岛状的图案25c也可 以形成为各不相同的形状。
[0079] 配重部52由臂部51支撑。具体而言，臂部51具备在配重部52的两侧向一方（磁 头支撑机构2的前端方向侧）延伸的第一臂部51a和向第一臂部51a的相反侧（底板侧） 延伸的第二臂部51b。第一臂部51a的一端与配重部52连接，另一端与挠曲件15的主体部 15a连接。同样，第二臂部51b的一端与配重部52连接，另一端与主体部15a连接。即，动 态吸振器50成为与中间具有作为集中质量的配重部52的两端固定梁等效的构造。在本实 施方式中，第一及第二臂部51a、51b，与各自的延伸方向正交的方向（图中X轴方向）的宽 度，比与配重部52的第一及第二臂部51a、51b的延伸方向正交的方向（图中X轴方向）的 宽度窄。该第一及第二臂部51a、51b由矩形状的绝缘层41和设于绝缘层41上的矩形状的 导体箱25构成，构成动态吸振器50的弹性机构。即，第一及第二臂部51a、51b是将多个弹 性及比重不同的单层材料层叠而构成。这些构成第一及第二臂部51a、51b的绝缘层41、导 体箱25通过在蚀刻工艺中不被除去而残留来形成。另一方面，处于第一及第二臂部51a、 51b的绝缘层41的背面侧的挠曲件基板24通过蚀刻工艺被除去。因此，第一及第二臂部 51a、51b与主体部15a及配重部52相比，弯曲弹性低。
[0080] 在本实施方式中，第一及第二臂部51a、51b和配重部52成为绝缘层41及导体箱 25共有的同一部件。即，在本实施方式中，成为第一及第二臂部51a、51b的多个单层材料 (绝缘层41、导体箱25)和配重部52的多个单层材料（挠曲件基板24、绝缘层41、导体箱 25)中的两个共用同一单层材料的结构。换言之，挠曲件基板24由于在第一及第二臂部 51a、51b通过蚀刻工艺被除去，所以成为在臂部51a、51b和配重部52之间不共用的结构的 单层材料。此外，构成第一及第二臂部51a、51b的导体箱25和构成配重部52的导体箱25 由布线罩42覆盖。另外，在本实施方式中，第一及第二臂部51a、51b和配重部52的导体箱 25及绝缘层41成为与挠曲件15的主体部15a共用同一单层材料的结构，在挠曲件15的外 形形成工序中，可以与挠曲件15 -体地进行外形形成加工。因此，主体部15a、作为弹性机 构的第一及第二臂部51a、51b及作为质量机构的配重部52连续地构成，因此，在主体部15a 和作为弹性机构的第一及第二臂部51a、51b和作为质量机构的配重部52之间没有构造上 的界线，可以利用第一及第二臂部51a、51b的弹性和配重部52的质量容易且高精度地决定 动态吸振器50的共振频率，且不需要在挠曲件15的外形形成工序中追加用于设置动态吸 振器50的追加工序。
[0081] 而且，在本实施方式中，挠曲件15的主体部15a与第一及第二臂部51a、51b的另 一端连接，具有支撑第一及第二臂部51a、51b的第一及第二臂支撑部54a、54b。具体而言， 第一及第二臂支撑部54a、54b由导体箱25构成，与构成第一及第二臂部51a、51b的导体箱 25连接。该第一及第二臂支撑部54a、54b中的与第一及第二臂部51a、51b的延伸方向正交 的方向（图中X轴方向）的宽度比与第一及第二臂部51a、51b各自的延伸方向正交的方向 (图中X轴方向）的宽度宽。
[0082] 这样，动态吸振器50能够通过吸收由负载梁14激励的振动而实现减振性高的磁 头支撑机构2。因此，可以高效地抑制负载梁14的振动模式之一的摆动模式。在此，第一及 第二臂部51a、51b的弹簧常数按照第一及第二臂部51a、51b各自的延伸方向（图中Y轴方 向）上的长度和与该延伸方向正交的方向（图中X轴方向）上的宽度进行调整，配重部52 的质量按照配重部52的面积进行设定。此外，在本实施方式中，配重部52的中心位于负载 梁14的中心线上，第一及第二臂部51a、51b配置成在与负载梁14的中心线平行的对称轴 (图中Y轴方向）上呈线对称。
[0083] 而且，绝缘层41及布线罩42优选由具有粘弹性的材料构成。即，由于构成第一及 第二臂部51a、51b的多个单层材料（绝缘层41、导体箱25)和构成配重部52的多个单层材 料（挠曲件基板24、绝缘层41、导体箱25)的一个由具有粘弹性的材料构成，从而第一及第 二臂部51a、51b利用由金属构成的导体箱25和具有粘弹性的绝缘层41及布线罩42构成， 因此，成为与非束缚型的制振板相同的构造，无需另外粘贴粘弹性体就可以得到衰减效果。 作为该具有粘弹性的材料，可举出粘弹性比金属高的聚酰亚胺等树脂材料。
[0084] 图12是简化了本发明第一实施方式的动态吸振器的模型图。动态吸振器50因为 用第一及第二臂部51a、51b从两个方向支撑配重部52,因此，如上所述可以看作是中间具 有集中质量的两端固定梁。通常，动态吸振器50吸振的频率为动态吸振器50的共振频率， 与动态吸振器50所具有的固有频率同步。此时，动态吸振器50的1次弯曲的固有频率在 设固有频率设为ω5。、弹簧常数（弯曲弹性）设为k、质量设为m时，用下式（1)表示。
[0085]
[0086] 另一方面，在设施加在两端固定梁的中间点的集中负荷为W，设弯曲为δ时，用下 式（2)表示弹簧常数k。
[0087]
[0088] 另外，在设两端固定梁的长度为L，设梁的杨氏模量为E，设梁的剖面二次力矩为I 时，用下式（3)表示弯曲δ。
[0089]
[0090] 若将该式（3)代入式（2)，则形成下式（4)。
[0091]
[0092