专利名称：晶圆检测用的装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种晶圆检测用的装置。本发明特别是涉及一种侦测一晶圆表面上的缺陷用的装置，晶圆配置在一可在二个互相垂直的方向中运行的桌件上。
背景技术：
在半导体制造时，晶圆在制程期间依序在多个步骤中进行加工。随着积体密度逐渐增加，则对晶圆上所形成的结构的品质上的需求亦提高。为了可对所形成的结构的品质进行检测且发现可能存在的缺陷，则对操控晶圆所用的构件的品质，准确性和可再生性的需求亦提高。这表示使晶圆在二个互相垂直而配置的方向中运行所用的桌件在决定位置时以及在一特殊事件(例如，电流中断，控制软件失效及/或整个系统紧急停止)之后又再定位时可达成一种快速且可靠的调整。
发明内容
本发明的目的是提供一种晶圆检测用的装置，藉此可在发生一特殊的事件时使桌件的位置能可靠地固定着。
上述目的藉由具有权利要求1特征的装置来达成。
当一种可在二个互相垂直而配置的空间方向中运行的桌件在发生一特殊事件(例如，电流中断，软件失效或整个系统紧急停止)的情况下可在该桌件刚刚所占有的瞬间位置上固定时是特别有利的。
可运行的桌件(其上放置着一待检测的晶圆)藉由多个空气喷嘴来储存空气。此桌件设有至少一阀(valve)，其与至少一电力控制单元相连接。须形成此阀，使得当该电力控制单元提供一种适当的信号或显示一种事件时，空气喷嘴上可存在着正常压力。
本装置分别设有第一和第二电力起动器，使该桌件可沿着二个互相垂直而配置的方向而移动。第一和第二电力起动器是一种线性马达。
此桌件由第一和第二桌件元件所构成。至少一第一轨道配置成与第一线性马达相平行，第一轨道是与多个空气喷嘴共同作用，其中藉由空气喷嘴使空气在压力下流出且因此在X方向中形成一种空气储存区。同样，至少一第二轨道配置成与第二线性马达相平行，第二轨道是与多个空气喷嘴共同作用，其中藉由空气喷嘴使空气在压力下流出且因此在Y方向中形成一种空气储存区。该阀在打开状态时在空气喷嘴上会存在着一种正常压力，使桌件(或第一和第二桌件元件)藉由空气喷嘴而坐在第一和第二轨道上且因此可固定在该桌件于信号产生期间所在的位置上。该阀可设置在空气喷嘴本身上或直接设置在空气管路本身中。
本发明的物件显示在各图式中且将依据图式描述于下。
为让本发明的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。
图1是本发明的桌件的俯视图。
图2是此桌件的平行于X方向的侧视图。
图3是此桌件的平行于Y方向的侧视图。
图4a是空气喷嘴和控制单元相连接时的第一实施形式的细部图。
图4b是空气喷嘴和控制单元相连接时的第二实施形式的细部图。
图5是晶圆检测用的整个系统中该桌件的配置图。
1晶圆检测用的装置 2桌件4，6电力起动器8第一轨道10第二轨道12，14空气喷嘴16坚固方块17，18止动件20凹口22，24可挠性导带25晶圆27控制单元29阀 30旋转轴32空气管路34电力管路40外壳42第一区段44第二区段46第三区段51照明装置52侦测装置60安装板 61光学元件70隔离板 100整个系统具体实施方式
图1显示桌件2的俯视图，此桌件2可在第一方向X和第二方向Y中运行。第一方向X和第二方向Y互相垂直。设有第一电力起动器4以使桌件2沿着第一方向X而移动。另设有第二电力起动器6以使桌件2沿着第二方向Y而移动。第一和第二电力起动器4，6分别以线性马达来构成。桌件2由第一桌件元件2a和第二桌件元件2b所构成。第一桌件元件2a在至少一平行于第一方向X的轨道8上运行。同样，第二桌件元件2b在至少一平行于第二方向Y的至少另一轨道10上运行。
第二桌件元件2b包含多个空气喷嘴12，其与至少一第二轨道10共同作用。同样，第一桌件元件2b具有多个空气喷嘴14，其与至少一第一轨道8共同作用。藉由空气喷嘴12和14，则气体可在较现有的正常压力还高的一种压力下被吹出。因此，藉由空气喷嘴12，则可在空气喷嘴12和第二轨道10之间产生一种气垫，其可使第二桌件元件2b以几乎无摩擦的方式而在气垫上滑动。同样，藉由空气喷嘴14，则可在空气喷嘴14和第一轨道8之间产生一种气垫，其可使第一桌件元件2a以几乎无摩擦的方式而在气垫上滑动。至少一第一轨道8和第一电力起动器4是安装在坚固方块16上。于此，在坚固方块16上设有多个止动件17，其可在X方向中在二侧限制第一桌件元件2a的移动。第二桌件元件2b上同样设有多个止动件18，其可在Y方向中在二侧限制第二桌件元件2b的移动。第二桌件元件2b承载一种用于晶圆25的凹口20(参阅图2)。多个管路(未显示)在可挠性的导带22中延伸至第二桌件元件2b。同样，多个管路(未显示)在另一可挠性的导带24中延伸至第一桌件元件2a。延伸至第一桌件元件2a或第二桌件元件2b的各管路是空气管路或电力管路。藉由可挠性的导带22和24，则可使第一桌件元件2a和第二桌件元件2b的各管路达成一种有次序的移动。
图2是此桌件2的平行于图1中X方向的侧视图。在凹口20上放置一晶圆25且此凹口另外可围绕一旋转轴30而旋转。第一桌件元件2a是与多个空气喷嘴14及至少一第一轨道8共同作用。藉由此空气喷嘴14使气体在一种较现有的正常压力还高的压力下被吹出。因此，在空气喷嘴14和第一轨道8之间会产生气垫，其可使第一桌件元件2a以几乎无摩擦的方式而沿着第一轨道8滑动。第一桌件元件2a的移动会在二侧受到止动件17所限制。图3是此桌件的平行于图1中Y方向的侧视图。第二桌件元件2b可沿着第二轨道10而运行。第二轨道10可与多个空气喷嘴12共同作用，各空气喷嘴12设在第二桌件元件2b上。空气喷嘴12藉由以压力来驱出的气体而产生气垫，第二桌件元件2b沿着第二轨道10而在气垫上滑动。第二桌件元件2b的移动会在二侧受到止动件18所限制。桌件2另外包含一控制单元27，藉此可对各电力元件或对第一和第二桌件元件的空气喷嘴的空气供应进行控制和调整。如图3所示，一种可挠性导带22延伸至第二桌件元件2b。
在可挠性导带中或其上设有由控制单元27至第二桌件元件2b或至其空气喷嘴12的适当的电力管路或空气管路。
图4a和4b显示一种与空气喷嘴12或14共同作用的阀29。此阀29与控制单元27相连接，且此阀在构成上须使得在电力控制单元27提供一种适当的信号时此阀可在空气喷嘴12和14中形成正常压力。例如，当软件失效及/或整个系统的紧急停机被起动时，此控制单元27即产生一种信号，此信号使该系统的电流供应失效。图4a和图4b分别显示一种空气喷嘴12或14，其是与轨道8共同作用。此行的专家当然可对本发明图解用的空气喷嘴进行一种适当的选择且一种相对应的作用关系适用于其它全部的空气喷嘴中。图4a显示本发明的第一实施例。阀29直接配置在空气喷嘴14上。空气喷嘴14经由至少一空气管路32而与控制单元27相连接。经由空气管路32可对空气喷嘴14供应以一种压缩空气。同样，此阀经由电力管路34而与控制单元27相连接。电力管路提供一种相对应的信号至此阀29，此阀29因此打开且在空气储存区中形成一种正常压力。藉由此正常压力的形成，则空气不会由空气喷嘴流出且第一2a和第二桌件元件2b可分别坐在轨道8和10上。图4b所显示的实施形式中此阀29在空气管路32中由控制单元27插入至空气喷嘴14中。如图1和图2所示，第一2a和第二桌件元件2b是与可挠性导带22和24相连接，各导带使至少一电力管路34和至少一空气管路34由控制单元导引至空气储存区的空气喷嘴12和14或导引至第一2a和第二桌件元件2b。可挠性导带22和24发出一种力至第一2a和第二桌件元件2b，此力可容易地藉由已施加电流的线性马达而受到抑制。例如，若线性马达上的电流中断，则可挠性导带22和24的机械力的大小即足以使第一2a及/或第二桌件元件2b由各导带中移出。在对晶圆或半导体基板进行检测时，特别重要的是桌件2的位置或第一2a及第二桌件元件2b的位置通常都是已知的。若桌件2在电流中断或紧急停机时未显示出位置的资料而移动，则在系统重新起动时此桌件会对晶圆造成损伤，此乃因须输送此桌件以回到系统上所配置的匣盒(cassette，未显示)中。
图5是晶圆检测用的整个系统100中该桌件2的配置图。此系统100由外壳40所围绕且划分成第一区段42，第二区段44和第三区段46。外壳40在全部的外表面上以壁面(未显示)来封闭，使外壳40的内部中存在着特定的无尘室条件。外壳40的第一区段42中基本上安装着多个照明装置51和至少一侦测装置52。第一区段42藉由一种安装板60而与第二区段44相隔开。照明装置51的光藉由光学元件61以经由此安装板60而入射至待检测的晶圆的表面上。第二空间中设有桌件2，其就像图1中所述一样可在方向X和方向Y中运行。桌件2安装在一种隔离板70上，此隔离板70使第二区段44和第三区段46互相隔开。第三区段46包含多个控制单元27或电脑，其用来对此系统100和此系统100的各别的组件进行抑制、控制和调整。于此，同样可接收资料且对各资料进行评估。
虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明，任何熟习此技艺者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视权利要求所界定者为准。
权利要求
1.一种晶圆检测用的装置(1)，其具有一可在二个配置成互相垂直的方向(X，Y)中运行的桌件(2)，桌件(2)上放置着待检测的晶圆(25)，此桌件(2)可储存空气且具有多个空气喷嘴(12，14)，此装置(1)的特征是其设有至少一阀(29)，此阀(29)与至少一电力控制单元(27)相连接，且在该电力控制单元(27)提供一种适当的信号时，此阀(29)在构成上使各空气喷嘴(12，14)上形成一种正常压力。
2.如权利要求1所述的装置(1)，其中该信号藉由一种电压降而触发。
3.如权利要求1所述的装置(1)，其中该信号藉由紧急停机而触发。
4.如权利要求1所述的装置(1)，其中该信号藉由软件失效而触发。
5.如权利要求1至4任一项所述的装置(1)，其中设有第一和第二电力起动器(4，6)，使桌件(2)可分别沿着二个配置成互相垂直的方向(X，Y)而移动。
6.如权利要求1至5任一项所述的装置(1)，其中第一和第二电力起动器(4，6)是一种线性马达。
7.如权利要求6所述的装置(1)，其中至少一第一轨道(8)配置成与第一线性马达相平行，第一轨道(8)与多个空气喷嘴(12)共同作用，其中藉由空气喷嘴(12)使空气在压力下流出且因此在方向(X)中形成一种空气储存区。
8.如权利要求6所述的装置(1)，其中至少一第二轨道(10)配置成与第二线性马达相平行，第二轨道(10)与多个空气喷嘴(14)共同作用，其中藉由空气喷嘴(14)使空气在压力下流出且因此在方向(Y)中形成一种空气储存区。
9.如权利要求1所述的装置(1)，其中在该阀(29)打开时在空气喷嘴(12，14)上形成一种正常压力，使桌件(2)藉由空气喷嘴(12，14)而坐在第一和第二轨道(8，10)上且因此使桌件(2)可固定在桌件(2)于信号产生期间所在的位置上。
10.如权利要求1至9任一项所述的装置(1)，其中该桌件(2)具有一种用于待检测的晶圆(25)的凹口(20)。
11.如权利要求1至10任一项所述的装置(1)，其中桌件(2)、线性马达、第一和第二桌件元件(2a，2b)所属的空气喷嘴(12，14)、至少一控制单元(27)、空气管路(32)以及电力管路(34)配置在一种外壳中。
12.如权利要求1所述的装置(1)，其中该阀(29)设置在空气喷嘴(12，14)本身上。
13.如权利要求1所述的装置(1)，其中该阀(29)设置在至少一空气管路(32)上。
全文摘要
本发明涉及一种晶圆检测用的装置(1)，其具有一可在二个配置成互相垂直的方向(X，Y)中运行的桌件(2)。此桌件(2)具有多个空气喷嘴(12，14)。此装置(1)设有至少一阀(29)，此阀(29)与至少一电力控制单元(27)相连接，且在该电力控制单元(27)提供一种适当的信号时，此阀(29)在构成上使各空气喷嘴(12，14)上形成一种正常压力。
文档编号H01L21/68GK1816895SQ200480018740
公开日2006年8月9日 申请日期2004年5月12日 优先权日2003年7月5日
发明者麦可·哈拉马, 艾伯特·苛立, 昆特·施米特 申请人:莱卡显微系统半导体股份有限公司