专利名称：硅片切割专用周转粘接台的制作方法
技术领域：
本发明涉及与晶体硅切片机配套用器具，尤其涉及与晶体硅切片机配套用的硅棒
粘接台。
背景技术：
晶体硅太阳能电池越来越多的应用于能源领域，在晶体硅太阳能电池中含有若干 硅片，硅片是由硅棒通过多线切割机切割制备而成的。硅棒在切割前须先用胶粘剂将承载 硅棒的玻璃板粘固在周转粘接台上，然后用固定螺钉将周转粘接台固定在切割机的机架顶 板上，最后再将待切割硅棒用胶粘剂固定在玻璃板上，以防止切割过程中因硅棒发生移位 产生废品。当硅棒切割后，松开周转粘接台上的固定螺钉，将承载有硅片组的周转台整体放 入高温水中，取出硅片和玻璃板，再将周转粘接台进行高温碳化处理，以去除周转粘接台表 面的粘接剂。由于切割硅片时，用于固定硅棒的周转粘接台的台面需要足够大，在实际使用 过程中，周转粘接台需要反复经高温加热处理，这样容易造成周转粘接台台面的翘曲变形， 使得粘接台不能长期正常使用。当周转粘接台的台面翘曲变形后，玻璃板与周转粘接台的 台面之间就不能紧密贴合，切割时硅棒受力后很容易脱落，这是硅棒切割工序中产生废品 的主要因素。
发明内容
为了克服现有硅棒切割周转粘接台存在的上述不足，本发明提供了一种新型的硅 片切割专用周转粘接台，它与晶体硅切片机配套使用，周转粘结台台面能满足反复高温碳 化处理工艺的要求，周转粘结台台面受热和冷却交变过程中翘曲变形量极小，它能有效防 止硅棒在切割时受力脱落的现象，且能长期稳定重复使用。
本发明所采用的技术方案是 —种硅片切割专用周转粘接台，它包括机架1、顶板2，顶板2固定在机架1上，其 特征是在顶板2上可拆御地固定有周转板3，所述周转板3的截面形状为中空的"工"字 形，在周转板3的上表面设有均匀分布的网纹槽31，两侧面设有便于固定螺栓装御的开口 槽32，在周转板3的下端两侧设有固定耳板33，在固定耳板33上设有安装孔34，安装孔34 的中心轴线距开口槽32的内边36的距离大于固定螺栓的最小旋紧空间尺寸，在空腔35中 设有加强筋37。 所述周转板3的材质为铸铁，网纹槽31的截面形状为V形、矩形或锯齿形中的任一种。 由于在顶板上增加了抗变形结构的铸铁周转板，在铸铁周转板的台面上均匀地设 有网纹槽，便于玻璃板与铸铁周转板的台面之间用粘接剂可靠粘接，将铸铁周转板设计成 中空且带有加强筋的抗变形结构，既能大幅度减轻铸铁周转板的重量，又能提高铸铁周转 板的抗翘曲变形能力，铸铁周转板台面在交替高温变条件下产生的变形量最小。经实际使 用验证，玻璃板用粘接剂能与周转板上表面的网纹槽牢固粘接成一体，硅棒通过粘接剂粘
3接在玻璃板上，粘接的结合力大，在切割过程中硅棒粘接牢固不会脱落，铸铁周转板经过反 复高温碳化去胶处理后，铸铁周转板上表面的翘曲变形量极小，能与玻璃板完全贴合，这种 周转粘接台能满足硅片切割工艺中的高温除胶工艺要求。
图1为硅棒安装在本发明上处于待切割状态的示意图；
图2为周转板的结构示意图；
图3为图2的仰视图； 图中l-机架；2-顶板；3-周转板；4_玻璃板；5_硅棒；6_粘接剂；31_网纹槽； 32-开口槽；33-固定耳板；34-安装孔；35-空腔；36-内边；37-加强筋。
具体实施例方式
下面结合附图1 图3详细说明本发明的具体实施方式
。 本发明所述硅片切割专用周转粘接台，它由机架1、顶板2和周转板3组成，顶板2 固定在机架1上，所述周转板3由铸铁铸造而成，其截面形状为中空的"工"字形，铸铁周转 板3通过四只M12的螺栓可拆御地固定在顶板2上，在铸铁周转板3的上表面设有均匀分 布的网纹槽31，网纹槽31的截面形状为V形、矩形或锯齿形中的任一种，在铸铁周转板3的 两侧面设有便于M12螺栓装御的开口槽32，在铸铁周转板3的下底面设有固定耳板33，在 固定耳板33上设有直径为12. 5毫米的安装孔34，安装孔34的中心轴线距开口槽32的内 边36的距离为25毫米，大于M12螺栓的最小旋紧空间尺寸，在空腔35中设有两条交叉型 的加强筋37。
权利要求
一种硅片切割专用周转粘接台，它包括机架(1)、顶板(2)，顶板(2)固定在机架(1)上，其特征是在顶板(2)上可拆御地固定有周转板(3)，所述周转板(3)的截面形状为中空的“工”字形，在周转板(3)的上表面设有均匀分布的网纹槽(31)，两侧面设有便于固定螺栓装御的开口槽(32)，在周转板(3)的下端两侧设有固定耳板(33)，在固定耳板(33)上设有安装孔(34)，安装孔(34)的中心轴线距开口槽(32)的内边(36)的距离大于固定螺栓的最小旋紧空间尺寸，在空腔(35)中设有加强筋(37)。
2. 根据权利要求l所述硅片切割专用周转粘接台，其特征是所述周转板(3)的材质 为铸铁，网纹槽(31)的截面形状为V形、矩形或锯齿形中的任一种。
全文摘要
一种硅片切割专用周转粘接台，在顶板上可拆御地设有周转板，其截面形状为中空的“工”字形，在其上表面设有网纹槽，两侧面设有开口槽，在周转板的下端两侧设有固定耳板，在空腔中设有加强筋。由于周转板为抗变形结构，在周转板的上表面均匀地设有网纹槽，便于玻璃板与台面之间可靠粘接，周转板设计成中空且带有加强筋的抗变形结构，既能大幅度减轻重量，又能提高在交替高温变条件下的抗翘曲变形能力，这种周转粘接台能满足硅片切割工艺中的高温除胶工艺要求。
文档编号H01L21/02GK101722582SQ20091025574
公开日2010年6月9日 申请日期2009年12月23日 优先权日2009年12月23日
发明者赵岳金, 魏国华 申请人:常州亿晶光电科技有限公司