专利名称：快换式硅片镀膜对称挂钩组件及其安装方法
快换式硅片镀膜对称挂钩组件及其安装方法
技术领域：
本发明涉及太阳能电池片PECVD镀膜用的一种硅片承载器，尤其涉及硅片承载上的挂钩。
背景技术：
PECVD是太阳能电池片等离子体化学沉积镀膜工艺的简称，在太阳能电池的生产 过程中，对硅片镀膜是提高太阳能电池吸收效率的关键技术，根据硅片的光电转换发电原 理，光线照射到硅片上会产生反射，硅片的光学损失会使太阳能电池的输出低于理想值，硅 片镀膜技术是提高太阳能电池吸收效率的成熟技术，已在太阳能电池工业化生产中得到广 泛应用，通过PECVD能在硅片表面形成一层减反射膜。在PECVD镀膜过程中必须使用硅片承载器，现用的硅片承载器如图1所示，它由单 面挂钩1、双面挂钩2和承载框架3组成，承载框架3由纵向杆31和横向杆32拼合而成，单 面挂钩1安装在左右两侧的纵向杆31上，双面挂钩2则安装在其它纵向杆31上。将待镀 膜硅片4逐块平放在硅片承载器上，靠挂钩将硅片4水平托起，对硅片4向下的扩散面进行 镀膜。现有双面挂钩如图2所示，它为片状结构，由托钩21、钩身22、定位槽23、扎带24组 成，托钩21位于钩身22底部的一侧，定位槽23位于钩身22的上方，且处于两根扎带24之 间，双面挂钩2通过定位槽23安装在硅片承载器的纵向杆31上，其安装固定方式为将定 位槽23卡装在纵向杆31上，然后用钳子将两根扎带24铰接起来，从而使双面挂钩2固定 在纵向杆31上，在铰接紧固挂钩时，两根扎带24必然会对纵向杆31产生收紧力和磨擦力， 由于硅片承载框架由碳素复合纤维材料制成，在挂钩的安装收紧和拆除过程中，扎带24对 纵向杆31会产生较大的损伤，这必然加速硅片承载器的损坏，缩短其使用寿命。目前，硅片 承载器一般的使用寿命为二个月，生产消耗较大，由于硅片承载器的价格较高，所以硅片承 载器消耗成本在镀膜成本中的比例较高。在镀膜的过程中，待镀膜硅片是平放在硅片承载器上，并由四个托钩水平托起，由 于挂钩固定的松紧程度直接影响托钩顶部与纵向杆底面之间的距离，从而改变硅片与硅片 承载器之间的间隙，增大了硅片背面沉积氮化硅层的机率，电池背面存有氮化硅层对后道 工序铝背场的印刷烧结将产生不良影响。同时，在镀膜过程中，在硅片承载器和挂钩表面都 会沉积氮化硅，根据镀膜工艺要求，在镀膜结束后必须将硅片承载器上的挂钩拆除，然后用 低浓度的HF溶液(5% )浸泡以清除附着其上的氮化硅，否则挂钩就会在浸泡过程中被HF 溶液腐蚀掉，这样不仅要消耗HF溶液，而且还需要清除尚末腐蚀的挂钩部份，同时也增大 了后道对HF溶液环保处理的成本与难度。
发明内容为了克服现有双面挂钩的不足，本发明的目的是提供了一种快换式硅片镀膜对称 挂钩组件及其安装方法，采用这种对称挂钩组件，不仅便于快速安装和拆除，而且安装和拆 除对硅片承载框架都不会产生损伤，还能大幅度降低在硅片背面沉积氮化硅层的机率。
本发明所述快换式硅片镀膜对称挂钩组件，其特征是，它包括双面挂钩和垫板，所 述双面挂钩由托钩、钩身、定位槽、扎带、压迫凸台和折弯槽组成，托钩设置在钩身底部的二 侧，定位槽位于钩身的上方，且处于两根扎带之间，压迫凸台设置在扎带的顶端，在两扎带 的外侧等高度地设有折弯槽，折弯槽的开设位置要求是当压迫凸台沿折弯槽向内侧边折 弯90°后，内侧边到定位槽底边的距离等于两个垫板厚度与纵向杆厚度之和；所述垫板呈 “工”字形，在垫板的两侧设有扎带槽，扎带槽的宽度与扎带的厚度相当，两扎带槽的槽底之 间的距离与两扎带的内侧边之间的距离相当，托钩的顶尖与纵向杆底边的距离小于或等于 硅片的厚度。由于改变了双面挂钩的结构，并增设了二块垫板，双面挂钩在安装时，纵向杆的顶 面和底面均通过垫板与双面挂钩接触，双面挂钩的两扎带在收紧和拆除过程中都直接作用 在垫板上，不会对纵向杆产生损伤，因此，能大幅度提高硅片承载器的使用寿命。由于在两 扎带的外侧等高度地开设了折弯槽，在扎带的顶部设置了压迫凸台，因此，双面挂钩的安装 只要用钳子将两根扎带上端的压迫凸台沿折弯槽向内侧边折弯90°即可，拆除时，只要复 原即可。由于单面挂钩和双面挂钩结构及安装方式相同，这样就能使所有挂钩的托钩顶尖 与纵向杆底面的距离相等，在镀膜过程中，由于硅片的上端面不低于纵向杆的底面，这样就 能大幅度降低在硅片背面沉积氮化硅层的机率，采用这种对称挂钩组件，不仅便于快速安 装和拆除，而且安装和拆除对硅片承载框架都不会产生损伤，还能大幅度降低在硅片背面 沉积氮化硅层的机率，能更好地满足镀膜工艺要求。
图1为硅片承载器的结构示意图；图2为现有双面挂钩的结构示意图；图3为本发明安装在硅片承载器上的结构示意图；图4为本发明中双面挂钩的结构示意图；图5为本发明中垫板的结构示意图。图中，1-单面挂钩；2-双面挂钩；21-托钩；22-钩身；23-定位槽；24-扎带；25-压 迫凸台；26-折弯槽；27-内侧边；28-底边；3-承载框架；31-纵向杆；32-横向杆；4-硅片； 5-垫板；51-扎带槽；52-槽底。
具体实施方式下面结合说明书附图介绍本发明的具体实施方式
。本发明所述快换式硅片镀膜对称挂钩组件，如图3所示，它包括双面挂钩2和垫板 5，所述双面挂钩2如图4所示，它由托钩21、钩身22、定位槽23、扎带24、压迫凸台25和折 弯槽26组成，托钩21设置在钩身22底部的二侧，定位槽23位于钩身22的上方，且处于两 根扎带24之间，压迫凸台25设置在两扎带24的顶端，在两扎带24的外侧等高度地设有折 弯槽26，折弯槽26的开设位置要求是当压迫凸台25沿折弯槽26向内侧边27折弯90° 后，内侧边27到定位槽23底边28的距离等于两个垫板5厚度与纵向杆31厚度之和；所述 垫板5呈“工”字形，如图5所示，在垫板5两侧设有扎带槽51，扎带槽51的宽度与扎带24 的厚度相当，两扎带槽51槽底52之间的距离与两扎带24内侧边27之间的距离相当，托钩 21的顶尖与纵向杆31底边的距离小于或等于硅片4的厚度。本发明的安装方法如下在两扎带24间先放入一块垫板5，然后将对称挂钩的定位槽23套装在硅片承载器的纵向杆31上，再加一块垫板5，然后用钳子将两根扎带24上端的压迫凸台25沿折弯槽26向内侧边27折弯90°，使得压迫凸台25的内侧边27压住垫板 5的上端面，如图3所示，这样整个双面挂钩就能稳固地固定在纵向杆31上，由于单面挂钩 1与双面挂钩2结构相同，仅比双面挂钩2少了一只托钩，且安装方式与双面挂钩2完全相 同，这样所有挂钩的托钩21的顶尖与纵向杆31底面的距离都能相等，将待镀膜硅片4平放 在托钩21上，即可按PECVD镀膜工艺进行镀膜处理。
权利要求
一种快换式硅片镀膜对称挂钩组件，其特征是，它包括双面挂钩(2)和垫板(5)，所述双面挂钩(2)由托钩(21)、钩身(22)、定位槽(23)、扎带(24)、压迫凸台(25)和折弯槽(26)组成，托钩(21)设置在钩身(22)底部的两侧，定位槽(23)位于钩身(22)的上方，且处于两根扎带(24)之间，压迫凸台(25)设置在扎带(24)的顶端，在两扎带(24)的外侧等高度地设有折弯槽(26)，折弯槽(26)的开设位置要求是当压迫凸台(25)沿折弯槽(26)向内侧边(27)折弯90°后，内侧边(27)到定位槽(23)底边(28)的距离等于两个垫板(5)厚度与纵向杆(31)厚度之和；所述垫板(5)呈“工”字形，在垫板(5)两侧设有扎带槽(51)，扎带槽(51)的宽度与扎带(24)的厚度相当，两扎带槽(51)槽底(52)之间的距离与两扎带(24)内侧边(27)之间的距离相当，托钩(21)的顶尖与纵向杆(31)底边的距离小于或等于硅片(4)的厚度。
2.权利要求1所述快换式硅片镀膜对称挂钩组件的安装方法为在两扎带(24)间先放入一块垫板(5)，然后将挂钩的定位槽(23)安装在硅片承载器的 左纵向杆(31)或右纵向杆(31)上，再加一块垫板(5)，然后用钳子将两根扎带(24)上端的 压迫凸台(25)沿折弯槽(26)向内侧边(27)折弯90°，使得压迫凸台(25)的内侧边(27) 压住垫板(5)的上端面，这样整个挂钩就能稳固地固定在纵向杆(31)上。
全文摘要
本发明公开了一种快换式硅片镀膜对称挂钩组件及其安装方法，它包括双面挂钩和垫板，在两扎带顶端设有压迫凸台，在其外侧等高度地设有折弯槽，折弯槽的开设位置要求为当压迫凸台向内侧边折弯90°后，内侧边到定位槽底边的距离等于两个垫板厚度与纵向杆厚度之和；所述垫板呈“工”字形，在其两侧开有扎带槽，双面挂钩和垫板配套使用，双面挂钩通过两块垫板固定在纵向杆上，两扎带在收紧、拆除过程中都不会直接作用于纵向杆，折弯槽和压迫凸台的设置，既能便于双面挂钩的快速收紧与拆除，又不会对硅片承载框架产生损伤，还能降低硅片背面沉积氮化硅层的机率。
文档编号H01L21/687GK101826483SQ201010147219
公开日2010年9月8日 申请日期2010年3月29日 优先权日2010年3月29日
发明者冯鑫, 刘志刚, 屈莹 申请人:常州亿晶光电科技有限公司