专利名称：一种用于扩散工艺的源瓶的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种源瓶，尤其涉及一种用于太阳能电池、半导体制造过程中 液态源扩散工艺中的源瓶。
背景技术：
在太阳能电池、半导体制造过程中，需要在硅片表面扩散形成PN结。现在大部 分采用液态源进行扩散，将氮气通入源液体(如三氯氧磷液体)中携带源的蒸汽到扩散炉管内。如图1所示，现有技术中用于扩散工艺的源瓶包括密闭瓶体11、进气管12和出 气管13，进气管12和出气管13相对应地设置在瓶体顶面的两侧上，进气管12从瓶体11 的顶面延伸进入瓶体11的内部。由于进气管12的一端延伸到了液面以下，直至接近瓶 体11的底面，因此氮气可以经由进气管12吹入瓶体11中的源液体(如三氯氧磷液体) 中，产生源蒸汽，源蒸汽通过出气管13送入扩散炉(图中未示出)。现有技术中的源瓶在使用一段时间以后，随着源液体的减少，氮气与源液体的 接触面积就会逐渐变小，产生的源的蒸汽就逐渐变少，从而使得进入扩散炉内的蒸汽逐 渐变少。在现有技术中的源瓶中，源的液位降低到20mm左右就得更换新的源，这样一 瓶400mL的源将有约1/4的源剩余，浪费非常严重，非常不经济。而且由于三氯氧磷为 剧毒物质，剩余的源越多，处理的风险越大，对环境的污染也越大。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种用于扩散工艺的源瓶，使得瓶内液面即使降到 很低时，仍然能够保证源蒸汽源源不断地送入扩散炉管内，从而保证了源的使用率，同 时减轻对于环境的污染。为了达到上述目的，本实用新型提供了一种用于扩散工艺的源瓶，包括一密闭 瓶体和设置于所述瓶体顶面的进气管和出气管，所述瓶体底面局部向下凹陷形成一集源 槽，所述进气管向瓶体内部延伸至接近所述集源槽的底面。优选地，所述集源槽位于所述瓶体底面的一侧，所述瓶体底面的另一侧设置有 用于支撑所述源瓶的支撑脚。优选地，所述瓶体底部略成漏斗状。优选地，所述集源槽略成漏斗状。本实用新型的有益效果是，通过集源槽的设置，将剩余的少量源液体集中起 来，使得氮气能够充分地与源液体接触产生蒸汽，从而提高源的利用率，同时减轻对于 环境的污染。
图1为现有技术的用于扩散工艺的源瓶的剖视图；[0012]图2为本实用新型的用于扩散工艺的源瓶的俯视图；图3为图2中沿A-A向的剖视图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步地详细描述。如图2和图3所示，根据本实用新型的用于扩散工艺的源瓶，包括瓶体21、进气 管22和出气管23，进气管22和出气管23相对应地设置在瓶体21顶面的两侧上。瓶体 21的底面局部向下凹陷形成一集源槽25，进气管22从瓶体21的顶面向瓶体21的内部延 伸，直至接近集源槽25的底面。当剩余的源液体量较少时，就会集中在集源槽25中，经由进气管22送入的氮气 就能够充分地与更多的源液体接触，从而能够带出更多的源蒸汽。在保证源液体被充分 集中的同时，又保证了氮气能够与源液体充分地接触。瓶体21的底部可以略成漏斗状， 集源槽25也可以略成漏斗状，这样可以使得源液体集中的效果更好。此外，与现有技术中的源瓶相比，瓶体21的高度(不包括集源槽的高度)减小 了。当产生的源蒸汽一定时，由于瓶体21体积的减小，相对地增大了蒸汽压，使得本实 用新型的源瓶即使在液面降低到很低时，也能将相对较多的源蒸汽经由出气管23送入扩 散炉管内。本实用新型的集源槽25作用在于汇聚收集剩余源液体并加以利用，理论上其设 置于所述瓶体21底面上局部的任意一处均可。但通常地，所述集源槽25位于瓶体21底 面的一侧，瓶体21底面的另一侧设置有支撑脚26，支撑脚26用于支撑集源瓶。如图2 所示，在本实施例中，所述支撑脚26设置有两个，可以想象，支撑脚26的数量并不重 要，能达到稳定支撑所述瓶体21即可。根据本实用新型的用于扩散工艺的源瓶，将原来浪费的源再利用，降低了生产 成本，同时减少了剧毒物质的排放，减轻了对于环境的污染，符合国家节能减排的要 求。本实用新型不局限于上述特定实施例，在不背离本实用新型精神及其实质情况 下，熟悉本领域的技术人员可根据本实用新型作出各种相应改变和变形，但这些相应改 变和变形都应属于本实用新型所附权利要求保护范围之内。
权利要求1.一种用于扩散工艺的源瓶，包括一密闭瓶体和设置于所述瓶体顶面的进气管和出 气管，其特征是所述瓶体底面局部向下凹陷形成一集源槽，所述进气管向瓶体内部延伸 至接近所述集源槽的底面。
2.根据权利要求1所述的用于扩散工艺的源瓶，其特征是所述集源槽位于所述瓶体底 面的一侧，所述瓶体底面的另一侧设置有用于支撑所述源瓶的支撑脚。
3.根据权利要求1或2所述的用于扩散工艺的源瓶，其特征是所述瓶体底部略成漏斗状。
4.根据权利要求1或2所述的用于扩散工艺的源瓶，其特征是所述集源槽略成漏斗状。
专利摘要本实用新型提供了一种用于扩散工艺的源瓶，包括一密闭瓶体和设置于所述瓶体顶面的进气管和出气管，所述瓶体底面局部向下凹陷形成一集源槽，所述进气管向瓶体内部延伸至接近所述集源槽的底面。本实用新型的源瓶提高了源利用率，降低了生产成本，并且减少了有毒物质的排放，减轻了对于环境的污染。
文档编号H01L31/18GK201804844SQ20102026217
公开日2011年4月20日 申请日期2010年7月13日 优先权日2010年7月13日
发明者杨斌, 鲁科 申请人:无锡尚德太阳能电力有限公司