专利名称：具有柔性电极的压电陶瓷执行器的制作方法
技术领域：
本发明涉及压电陶瓷领域，特别涉及一种具有柔性电极的压电陶瓷执行器。
背景技术：
压电陶瓷执行器的制作是公知技术，压电陶瓷执行器的制作方法来源于独石电容器的制作，它是利用多个具有内电极的膜片按照一定的方式叠堆，通过等静压压制，然后切割成所需大小后共烧；也可采用先制成压电陶瓷单片，再利用其银电极在加高温时粘接或采用胶粘剂粘接的假独石方法。在传统的压电陶瓷执行器中，两组内电极通过涂覆在堆垛的两个侧面的金属层连接引出。当压电陶瓷执行器在外加电压的作用下不断伸长或缩短，这些金属涂层受到较大的交变应力的作用，很易导致外电极产生裂纹，该裂纹能导致外电极的电阻变大而产生电·弧，电弧使外电极很快断裂。外电极断裂导致电流的阻断，从而不能正常的工作，这些都是传统的压电陶瓷执行器的制作方法所存在的问题。传统的器件在生产的过程中使用的是一些导电的柔性胶或者金属膜及其他的一些外电极材料。其主要是弊端是操作复杂，不易实现自动化生产，金属膜的形变小，在执行器工作过程中易与器件脱开，造成器件的外电极导通不良，导致器件不工作。
发明内容
为了克服上述缺陷，本发明提供了一种具有良好的导通性的柔性电极的压电陶瓷执行器。本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是1、一种柔性电极的压电陶瓷执行器，包括多个压电陶瓷层，每个压电陶瓷层设有内电极，内电极按照奇、偶数分别沿压电陶瓷层两相对侧向外延伸，所述奇数列和偶数列的内电极分别并联连接两个外电极，所述两个外电极上贴覆有一柔性导电层。作为本发明的进一步改进，所述柔性导电层为具有柔性的压敏被胶布，且压敏被胶布的表面涂有高导电金属涂层，压敏被胶布具有很高的抗拉伸的特性，抗疲劳的拉伸能力。作为本发明的进一步改进，所述外电极采用化学沉积、或气相沉积、或印刷的其中一种方法制成。作为本发明的进一步改进，所述外电极为铜、镍、钯、铝中的至少一种材料。作为本发明的进一步改进，所述高导电金属涂层包括铜、镍、钯、铝的至少一种材料。本发明的有益效果是压电陶瓷执行器是具有布置在一个堆中的多个压电陶瓷层结构的器件，各层具有一个相对独立的电极的结构，内电极需向外延伸，形成一个并联的整体工作的结构，多个内电极必须与外电极接触良好，电极与电极在工作的时候会产生一个相对的位移，相对的位移会在外电极上形成裂缝，会给外电极的连通带来隐患，本发明的压敏被胶布具有高的导电性和很高的柔韧性，能保证紧密贴合在外电极上，并且在内电极工作的时候产生相对应的伸长动作，同步于内电极的工作，保证外电极和各个内电极的良好的导通性，从而保证期间的正常工作，本发明中的压敏布还具有高强的粘附性，保证与器件贴合的紧密；器件在工作的时候由于布材料具有良好的抗拉伸的能力，加上紧密的贴合保证了器件工作时候的如有外电极开裂也能保证其连通性，从而保证了器件的整体工作；另外由于是压敏被胶布，操作简单，且易于自动化的生产。
图I为本发明结构示意 图2为图I的侧视图。·
具体实施例方式为了加深对本发明的理解，下面将结合实施例和附图对本发明作进一步详述，该实施例仅用于解释本发明，并不构成对本发明保护范围的限定。图1-2出示了本发明一种柔性电极的压电陶瓷执行器的一种实施方式，包括多个压电陶瓷层1，每个压电陶瓷层I设有内电极2，内电极2按照奇、偶数分别沿压电陶瓷层I两相对侧向外延伸，所述奇数列和偶数列的内电极2分别并联连接两个外电极3，所述两个外电极3上贴覆有一柔性导电层4，所述柔性导电层4为具有柔性的压敏被胶布，且压敏被胶布的表面涂有高导电金属涂层，所述外电极3采用化印刷制成，外电极3为铜材料，所述高导电金属涂层铜材料，制作时将执行器的外电极表面清洗干净，然后将压敏胶布贴制在器件外电极表面，加上一定的压力压制一段时间即可，操作极为简单。
权利要求
1.ー种具有柔性电极的压电陶瓷执行器，包括多个压电陶瓷层(1)，每个压电陶瓷层(I)设有内电极(2)，内电极(2)按照奇、偶数分别沿压电陶瓷层(I)两相对侧向外延伸，所述奇数列和偶数列的内电极(2)分别并联连接两个外电极(3)，其特征在于所述两个外电极(3)上贴覆有ー柔性导电层(4)。
2.根据权利要求I所述的柔性电极的压电陶瓷执行器，其特征在于所述柔性导电层(4)为具有柔性的压敏被胶布，且压敏被胶布的表面涂有高导电金属涂层。
3.根据权利要求I所述的柔性电极的压电陶瓷执行器，其特征在于所述外电极(3)采用化学沉积、或气相沉积、或印刷的其中ー种方法制成。
4.根据权利要求I或3所述的柔性电极的压电陶瓷执行器，其特征在于所述外电极(3)为铜、镍、钯、铝的至少ー种材料。
5.根据权利要求2所述的柔性电极的压电陶瓷执行器，其特征在于所述高导电金属涂层包括铜、镍、钯、铝的至少ー种材料。
全文摘要
本发明公开了一种柔性电极的压电陶瓷执行器，包括多个压电陶瓷层，每个压电陶瓷层设有内电极，内电极按照奇、偶数分别沿压电陶瓷层两相对侧向外延伸，所述奇数列和偶数列的内电极分别并联连接两个外电极，所述两个外电极上贴覆有一柔性导电层，本发明的压敏被胶布具有高的导电性和很高的柔韧性，能保证紧密贴合在外电极上，并且在内电极工作的时候产生相对应的伸长动作，同步于内电极的工作，保证外电极和各个内电极的良好的导通性，从而保证期间的正常工作；另外由于是压敏被胶布，操作简单，且易于自动化的生产。
文档编号H01L41/083GK102790168SQ20121028161
公开日2012年11月21日 申请日期2012年8月9日 优先权日2012年8月9日
发明者王晓峰 申请人:昆山攀特电陶科技有限公司