具电磁遮蔽的无镀层铜线及其制造方法
【专利摘要】本发明是有关于一种具电磁遮蔽的无镀层铜线及其制造方法，所述方法是首先将钛锡合金层形成于铜芯线的表面，再将金镍合金层形成于钛锡合金层的表面，最后将铜芯线进行真空热处理，使得钛锡合金层以及金镍合金层可完全扩散至芯线的基地组织，并于芯线组织中形成均匀的Cu(TiSn)xAuyNiz合金层；藉此，本发明的无镀层铜线不仅具有抗电磁干扰以及改善高频的表面效应，亦可大幅提升线材拉伸强度与打线接合强度，进而提高接合线后续工艺的可靠度。
【专利说明】具电磁遮蔽的无镀层铜线及其制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明是有关于一种具电磁遮蔽的无镀层铜线及其制造方法，尤其是指一种以真 空热处理工艺将铜芯线表面的钛锡合金层以及金镍合金层完全扩散至芯线基地组织并于 芯线基地组织中形成有Cu(TiSn)xAuyNiJ^表面层的技术，不仅可避免传统接合线因环境氧 化、氯离子腐蚀以及硫化等所产生的可靠度降低等问题，且能适用于各式高频电子产品以 及防电磁干扰的医疗传输线。
【背景技术】
[0002] 半导体封装在打线接合（Wire-Bonding，WB)工艺时，常因铜线的硬度较高且易氧 化的问题造成封装工艺上的缺失；举例而言，使用铜导线时，由于封装用树脂与导线的热膨 胀系数差异过大，随着半导体晶片启动后温度上升，因热形成的体积膨胀对形成回路的铜 接合线产生外部应力，特别是对暴露于严酷的热循环条件下的半导体元件，更容易使铜接 合线发生界面剥离与断线问题；因此，针对上述缺失，虽有业者针对封装用的接合铜线改 良，请参阅中国台湾发明专利公开第201207129号所揭露的『封装用之接合铜线及其制造 方法』，其中揭露一种封装用的接合铜线，成分包括有银（Ag)、添加物、以及铜（Cu);其中， 银含量系〇. 1?3wt% ;添加物是至少一选自由镍（Ni)、钼（Pt)、钯（Pd)、锡（Sn)、及金（Au) 所组成的群组，且添加物的含量是〇. 1?3wt%;再者，铜与银共晶相体积率占全部体积的 0. 1?8%，且接合铜线抗拉强度250MPa以上，导电率在70%IACS以上；藉此，不仅使得阻抗 和传统金线相当或甚至更低（>70%IACS)，可达到更佳导电率，且硬度适中并易于焊接，更能 进行球型焊接，于耐热循环的严苛条件下亦能使用。
[0003] 然而，上述的接合铜线虽能满足成本与焊接的要求，但却有易氧化、寿命短的缺 失，因此有业者进一步藉由一表面涂层，其能为积体电路封装，提供更佳的引线接合性能； 请参阅中国台湾发明专利公告第480292号所揭露的『适用于引线接合之钯表面涂层及形 成钮表面涂层之方法』，其表面涂层是形成于一基板之上，包含一钮层与一种或多种材料 层；该一种或多种材料层是夹在基板与钯层之间；当至少一种材料的硬度少于250 (KHN50) 时，该钯层的硬度少于大约500 (KHN50);其中该钯层的厚度最好大于0. 075微米，以避免氧 化物在其下材料层上形成；上述的基板材料可包含有铜或铜合金，藉由镀钯铜线来取代金 线，不但可以节省约七成的材料成本，而且镀钯铜线被使用时的可靠度（如耐高温、高湿能 力）也能符合要求；此外，亦请一并参阅新日铁高新材料股份有限公司与日铁微金属股份 有限公司所申请一系列有关半导体装置用合接线的中国台湾发明专利公告第1342809所 揭露的『半导体装置用合接线』、公告第1364806所揭露的『半导体装置用合接线』、公告第 1364806所揭露的『半导体用接合导线』、公开第201107499的『半导体用铜合金接合线』、公 开第201140718的『半导体用铜接合线及其接合构造』以及公开第201230903的『复数层 铜接合线的接合构造』;上述前案的接合线结构大抵皆是于一芯材（可为铜、金、银等金属所 构成）表面设有一表皮层（可为钯、钌、铑、钼，以及银所构成），导致上述的接合线于实际 实施使用时常产生下述缺失：(a)因镀钯铜线（芯材）的表面具有一钯层（表皮层），使得 硬度偏高，且工艺电流控制不易，常导致镀钯层厚度不均，造成封装过程整体产出率差、良 率偏低；(b)铜或铜合金镀上钮层于烧球成型（electric frame off, EFO)时，因表面的钮 层使得成球（free air ball，FAB)的球心硬度过硬，造成焊球上方颈部的强度不足，于打线 (wire bonding，WB)后，常发生颈部断裂问题，进而导致接合界面剥离的问题发生；（c)铜 或铜合金上形成的表面涂层在高温下（160°C，24小时）的保存试验不佳，易导致表面起泡 的现象，造成接合强度降低，由可靠性的观点来看，存有问题；（d)成球后，钯元素几乎于颈 部区域偏析，对抑制金属间化合物（Intermetallic Compound, IMC)成长不彰；以及（e)不 具有电磁遮蔽特性和抗硫、耐氯阻抗的功效。
[0004] 据此，本案发明人于2013年2月19日以『固相扩散反应铜钯合金线及其制造方 法』（中国台湾申请案号第102105756号）向中国台湾申请发明专利；但是，原案的结构 虽具有较佳的球心硬度以及颈部降伏强度，并于打线接合封装工艺后产生较优异的界面接 合抗拉强度，但尚有未臻妥善之处，举例而言，一般所谓的胃镜检查，全名为『上消化道内 视镜检查』，其用以检查食道、胃、十二指肠球部及十二指肠第二部分的传输线易受医疗电 子仪器设备所释出的电磁波干扰，当电磁发生干扰时，传输线的讯号可能出现错误；又例 如打线接合为半导体封装及发光二极体（LED)封装的工艺上极为重要步骤，以提供晶片与 基板的讯号与功率传输，而一般用以封装的高分子封胶常含有高含量腐蚀性氯离子，且高 分子封胶本身具环境吸湿性，不仅使得线材容易因氯离子的腐蚀外，也会因环境氧化、硫化 等降低其导电性，甚至造成断线情形；再者，当线材应用在高频时，会产生表面效应（skin effect)，此因线材在高频时受到自身涡电流影响，致使电流流动范围只集中于线材表面边 缘部分，造成线材交流电阻的增加。因此，先前的铜钯合金线仍无法达到适用各式高频电子 产品、防电磁干扰的医疗传输线，以及优良抗氯离子、硫化腐蚀性等缺失。本案发明人有鉴 于此，乃本着创作改良的初衷，务求精益求精、尽善尽美的精神，遂决心再予改良，在几经苦 思与实验之后，终研创出本发明。
【发明内容】
[0005] 发明人即是鉴于上述现有的铜芯接合线在实际实施上仍具有多处的缺失，于是乃 本着孜孜不倦的精神，并藉由其丰富的专业知识及多年的实务经验所辅佐，而加以改善，并 据此研创出本发明。
[0006] 本发明主要目的为提供一种具电磁遮蔽的无镀层铜线的制备方法。
[0007] 本发明的另一目的为提供一种以上述制备方法制得的具电磁遮蔽的无镀层铜线。
[0008] -方面，本发明提供了一种具电磁遮蔽的无镀层铜线的制备方法，该方法主要包 含有下述步骤：
[0009] 步骤一：准备纯铜所制成的芯线；
[0010] 步骤二：将钛锡合金层形成于所述芯线的表面，所述钛锡合金层是由包含65重量 百分比至75重量百分比的钛以及剩余重量百分比的锡所构成；
[0011] 步骤三：于所述钛锡合金层的表面形成金镍合金层，所述金镍合金层是由包含92 重量百分比至99重量百分比的金以及剩余重量百分比的镍所构成；以及
[0012] 步骤四：进行真空热处理，使所述钛锡合金层以及金镍合金层可完全扩散至芯线 的基地组织（即上述纯铜所制成的芯线）中，并于芯线组织中形成均匀&1〇1511)/11#込合 金层；其中 0〈叉〈1，0〈}<1，0〈2〈1，且叉+7+2=1。
[0013] 藉此，由于表面镀层完全扩散至芯线的基地组织中，不仅可解决习知因镀钯层厚 度不均造成封装过程整体产出率差、良率偏低的问题，且因芯线组织中形成有Cu(TiSn)xAuyNiz的表面层，不仅可在芯线外围形成遮蔽层，避免外在的电磁干扰，且亦能改善高频的 表面效应，进而达到降低高频交流电阻的功效；同时，亦具有良好的抗氧化性与耐腐蚀性， 解决传统封装工艺制程时线材因环境氧化、氯离子腐蚀以及硫化等所产生的可靠度降低等 问题，符合市场殷切需求的产出率以及优良率。
[0014] 再者，于上述的制备步骤中，钛锡合金层与金镍合金层可分别以溅镀、蒸镀或沉积 的方式形成，且钛锡合金层较佳是以70重量百分比的钛以及30重量百分比的锡所构成；再 者，钛锡合金层以及金镍合金层所形成的总厚度介于75?85纳米，较佳为80纳米，而其中 的钛锡合金层厚度介于3?7纳米之间；较佳约为5纳米。
[0015] 此外，于上述的制备步骤中，真空热处理的温度范围可介于500°C?700°C之间， 处理时间为30?90分钟；较佳是以温度600°C、时间60分钟的方式处理，以便总厚度约为 80纳米的钛锡合金层以及金镍合金层可完全扩散至芯线的基地组织中，形成无镀层铜线。
[0016] 另一方面，本发明提供了一种以上述制备方法制得的具电磁遮蔽的无镀层铜线； 其中，电磁遮蔽的判定是以频率数1MHz?3GHz的电磁波测量屏蔽性具有-10dB以内。
[0017] 本发明的无镀层铜线不仅具有抗电磁干扰以及改善高频的表面效应，亦可大幅提 升线材拉伸强度与打线接合强度，进而提高接合线后续工艺的可靠度。
【专利附图】
【附图说明】
[0018] 图1 :本发明具电磁遮蔽的无镀层铜线的制备方法步骤流程示意图。
[0019] 图2 :本发明具电磁遮蔽的无镀层铜线其芯线表面的镀层完全扩散至芯线基地组 织中的显微镜照片电子图。
【具体实施方式】
[0020] 本发明的目的及其结构功能上的优点，将依据附图所示并配合具体实施例予以说 明，以使阅读者能对本发明有更深入且具体的了解。
[0021] 首先，本发明制造方法所制成的具电磁遮蔽的无镀层铜线可例如适用于印刷电路 板的电路、1C封装、IT0基板、1C卡等的电子工业零件的端子或电路表面，亦或是需防电磁 干扰的医疗传输线，以及恶劣环境下（例如氯离子、硫化腐蚀）的封装工艺；请参阅图1所 示，为本发明具电磁遮蔽的无镀层铜线的制备方法步骤流程示意图，所述方法包括有下述 步骤：
[0022] 步骤一（S1):准备纯铜所制成的芯线；
[0023] 步骤二（S2):将钛锡合金层形成于芯线的表面，钛锡合金层是由包含65重量百分 比至75重量百分比的钛以及剩余重量百分比的锡所构成；较佳的钛锡合金层是以70重量 百分比的钛以及30重量百分比的锡所构成；
[0024] 步骤三（S3):于钛锡合金层的表面形成金镍合金层，金镍合金层是由包含92重量 百分比至99重量百分比的金，以及剩余重量百分比的镍所构成；值得注意的，上述的钛锡 合金层与金镍合金层可分别以溅镀、蒸镀或沉积的方式形成，在此并不限定；且钛锡合金层 以及金镍合金层所形成的总厚度介于75?85纳米，较佳为80纳米，而其中的钛锡合金层 厚度介于3?7纳米之间；以及
[0025] 步骤四（S4):于步骤三（S3)完成后，进行真空热处理，使得钛锡合金层以及金镍 合金层可完全扩散至芯线的基地组织中，亦即于芯线表面无先前技术中所述的表皮层，并 于芯线组织中形成均匀Cu (TiSn) xAuyNiz合金层，其中0〈x〈 1，0〈y〈 1，0〈z〈 1，且x+y+z=l ;且 真空热处理的温度范围可介于500°C?700°C之间，处理时间为30?90分钟之间；较佳是 以温度600°C，时间60分钟的方式处理，以便钛锡合金层以及金镍合金层可完全扩散至芯 线的基地组织中，形成无镀层铜线。
[0026] 接着，为使阅读者能进一步了解本发明的目的、特征以及所达成的功效，以下兹举 本发明所制备出具电磁遮蔽的无镀层铜线一些具体实际实施例，并进一步证明本发明的制 造方法可实际应用的范围，但不意欲以任何形式限制本发明的范围：
[0027] 首先，准备一线径(q>)为20 的纯铜芯线（4N);接着，于芯线表面镀上一厚度 约为80纳米的金镍合金层，其中金镍合金层分别为99%Aul%Ni、97%Au3%Ni、94%Au6%Ni、 55%Au45%Ni，以及10%Au90%Ni不同比例所组成的实施例，同时以100%镀钯层、100%镀金层 以及100%镀镍层作为比较组，并进行盐雾试验、硫化处理以及电磁屏蔽的试验；其中本案 的盐雾试验是以100%、pH值介于7?8的NaCl于35°C下进行500小时，而硫化处理则以 纯硫蒸气（含硫化合物）于260°C下进行24小时为本案实施例中所示范使用者，电磁屏蔽 试验是以频率数1MHz?3GHz的电磁波测量屏蔽性是否具有-10dB以内的返回损失结果来 判断；其实验结果如下表所示。可清楚得知，100%镀钯层、100%镀金层的线材样品不仅无 法通过盐雾试验与硫化处理，亦不具有电磁屏蔽的功效，而100%镀镍层、10%Au90%Ni，以及 55%Au45%Ni则无法通过上述的电磁屏蔽试验，其原因可能为镍含量过高，虽可使线材本身 避免电磁波的干扰，但对其邻近的电路却同样产生遮蔽，影响讯号的传递或接收，故本试验 将返回损失尽可能控制在-10dB以内；然而，镍含量若过低，如99%Aul%Ni样品则无法通过 盐雾试验与硫化处理，足见镍含量范围为本案的一个重要技术特征。
[0028]
【权利要求】
1. 一种具电磁遮蔽的无镀层铜线的制造方法，该方法包括有下述步骤： 步骤一：准备纯铜所制成的芯线； 步骤二：将钛锡合金层形成于所述芯线的表面，所述钛锡合金层是由包含65重量百分 比至75重量百分比的钛以及剩余重量百分比的锡所构成； 步骤三：于所述钛锡合金层的表面形成金镍合金层，所述金镍合金层是由包含92重量 百分比至99重量百分比的金以及剩余重量百分比的镍所构成；以及 步骤四：进行真空热处理，使所述钛锡合金层以及金镍合金层完全扩散至芯线的基地 组织中，并于芯线组织中形成均匀Cu (T i Sn) xAuyNi z合金层；其中00〈1，0〈7〈1，0〈2〈1，且 x+y+z=l〇
2. 如权利要求1所述的具电磁遮蔽的无镀层铜线的制造方法，其中所述钛锡合金层是 由70重量百分比的钛以及30重量百分比的锡所构成。
3. 如权利要求1所述的具电磁遮蔽的无镀层铜线的制造方法，其中所述钛锡合金层以 及金镍合金层的总厚度介于75?85纳米。
4. 如权利要求1所述的具电磁遮蔽的无镀层铜线的制造方法，其中所述钛锡合金层的 厚度介于3?7纳米。
5. 如权利要求1所述的具电磁遮蔽的无镀层铜线的制造方法，其中所述钛锡合金层与 金镍合金层是分别以溅镀、蒸镀或沉积的方式形成。
6. 如权利要求1所述的具电磁遮蔽的无镀层铜线的制造方法，其中所述真空热处理的 温度范围介于500°C?700°C之间，且处理时间为30?90分钟之间。
7. 如权利要求6所述的具电磁遮蔽的无镀层铜线的制造方法，其中所述真空热处理是 以温度60CTC、时间60分钟的方式处理。
8. -种以如权利要求1?7任一项所述的方法制得的具电磁遮蔽的无镀层铜线。
9. 如权利要求8所述的具电磁遮蔽的无镀层铜线，其中无镀层铜线以频率数1MHz? 3GHz的电磁波测量屏蔽性具有-10dB以内。
【文档编号】H01B13/00GK104517687SQ201310466029
【公开日】2015年4月15日 申请日期:2013年9月30日 优先权日:2013年9月30日
【发明者】吕传盛, 洪飞义 申请人:吕传盛, 洪飞义