用于制造用于太阳能电池用途的钙钛矿膜的系统和方法与流程

文档序号:12288972阅读:来源:国知局
技术总结
提供了一种用于制造用于太阳能电池应用的钙钛矿膜的系统和方法,该系统包括:壳体,其用作真空室;基板台,其联接至壳体的顶部;第一蒸发器单元,其联接至壳体的底部并且构造为生成BX2(金属卤化物材料)蒸汽;第二蒸发器单元,其联接至壳体并且构造为生成AX(有机材料)蒸汽;以及流动控制单元,其联接至壳体,用于控制AX蒸汽的循环。第一蒸发器单元的水平截面形状的尺寸、基板台的水平截面形状的尺寸以及两个水平截面形状之间沿水平方向的相对位置构造为最大化两个水平截面形状之间的重叠。

技术研发人员:戚亚冰;大野路易斯胜也;王生浩
受保护的技术使用者:学校法人冲绳科学技术大学院大学学园
文档号码:201580023234
技术研发日:2015.04.10
技术公布日:2017.02.22

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