一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池光电吸收转换层的制备方法与流程

文档序号:12797057阅读:来源:国知局
技术总结
一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池光电吸收转换层的制备方法,其基本步骤按顺序依次为:1)用物理真空溅射沉积薄膜的方法沉积一层铜镓合金薄膜。2)将上述铜镓薄膜在真空蒸发镀膜的硒蒸汽环境中硒化处理。3)在硒化处理后的薄膜上用真空共蒸发法沉积铟和硒元素。4)最后用真空蒸发法在上述薄膜之上沉积少量的镓以调节铜铟镓硒薄膜太阳能电池光电吸收转换层的电学性能。

技术研发人员:陈良范;孙嵩泉;甄永泰
受保护的技术使用者:安徽恒致铜铟镓硒技术有限公司
文档号码:201610410939
技术研发日:2016.06.04
技术公布日:2017.07.07

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