激光振荡器的真空容器的制作方法

文档序号:12276400阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种激光振荡器的真空容器,其特征在于,具备:

圆筒形状或者方筒形状的配管;

供该配管插入的被插入部件;以及

配置于上述配管与上述被插入部件之间的第一密封部件和第二密封部件,

上述第一密封部件由耐腐蚀性比上述第二密封部件的耐腐蚀性高的材料形成,

上述第一密封部件配置在比上述第二密封部件更靠真空侧,

上述第二密封部件由密封性比上述第一密封部件的密封性高的材料形成,

上述第一密封部件至少局部地包含以提高上述第一密封部件的密封性能的方式变形的变形部。

2.根据权利要求1所述的激光振荡器的真空容器,其特征在于,

上述变形部以提高了上述第一密封部件的密封性能的状态对上述第一密封部件进行保持。

3.根据权利要求1或2所述的激光振荡器的真空容器,其特征在于,

上述变形部通过上述第一密封部件的周围的压力降低而变形。

4.根据权利要求1或2所述的激光振荡器的真空容器,其特征在于,

上述变形部是上述第一密封部件所含有的形状记忆金属或者形状记忆树脂。

5.根据权利要求1或2所述的激光振荡器的真空容器,其特征在于,

上述变形部含有挥发成分,并配置于上述第一密封部件的切口,上述变形部通过上述挥发成分挥发而变形。

6.根据权利要求1~5任一项中所述的激光振荡器的真空容器,其特征在于,

上述第一密封部件的一部分被把持在上述第二密封部件与上述被插入部件之间。

7.根据权利要求1~6任一项中所述的激光振荡器的真空容器,其特征在于,

上述第一密封部件的至少一部分由氟树脂构成。

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