技术总结
本发明提供激光振荡器的真空容器，包括配置于配管与被插入部件之间的第一密封部件以及第二密封部件。第一密封部件由耐腐蚀性比第二密封部件的耐腐蚀性高的材料形成，第一密封部件配置在比第二密封部件更靠真空侧，第二密封部件由密封性比第一密封部件的密封性高的材料形成，第一密封部件至少局部地包含以提高第一密封部件的密封性能的方式变形的变形部。
技术研发人员：佐藤孝德;高实哲久
受保护的技术使用者：发那科株式会社
文档号码：201610603423
技术研发日：2016.07.27
技术公布日：2017.02.22