一种薄膜电容器的制备方法与流程

文档序号:11835480阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种薄膜电容器的制备方法,其特征在于,包括蒸镀金属层、溅射法制备电极和升温/退火处理,薄膜电容器的制备方法如下:

(1)蒸镀金属层:在绝缘体薄膜表面蒸镀一层金属薄膜,并绕卷为薄膜卷;

(2)溅射法制备电极层:将薄膜卷放置在旋转绕驱架上放进真空腔室,并对真空腔室进行抽真空,采用离子溅射法制备电极层,并利用激光刻蚀获得图案化电极图层;

(3)升温/退火处理:将薄膜电容器放入电阻炉,在通入保护气体的环境下进行逐级升温处理,然后,再进行退火处理,待温度达到常温时,再将薄膜电容器从旋转绕驱架上的取出,分切成薄膜电容所需的薄膜带。

2.根据权利要求1所述的汽车轮毂的制造工艺,其特征在于,所述步骤(1)中金属薄膜的金属包括Ni、Ag、Cu、Ti、Au 或Pt 的纯金属或其复合金属。

3.根据权利要求1或2所述的汽车轮毂的制造工艺,其特征在于,所述步骤(2)中真空腔室内的真空度为105-100 Pa。

4.根据权利要求1所述的汽车轮毂的制造工艺,其特征在于,所述步骤(2)中电极层厚度为10-30 nm。

5.根据权利要求1所述的汽车轮毂的制造工艺,其特征在于,所述步骤(3)中升温温度为600-800 ℃,保温时间为30-60 min;退火温度为90-100 ℃,时间为200-210 min。

6.根据权利要求1所述的汽车轮毂的制造工艺,其特征在于,所述步骤(3)中保护气体为Ne、Xe、Ar或者它们的混合气体。

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