技术总结
本发明提供了一种薄膜电容器的制备方法，涉及电子元器件制作技术领域，包括蒸镀金属层、溅射法制备电极层和升温/退火处理，在绝缘体薄膜表面蒸镀一层金属薄膜，并绕卷为薄膜卷；将薄膜卷放置在旋转绕驱架上放进真空腔室，并对真空腔室进行抽真空，采用离子溅射法制备电极层，并利用激光刻蚀获得图案化电极图层；将薄膜电容器放入电阻炉，在通入保护气体的环境下进行逐级升温处理，然后，再进行退火处理，待温度达到常温时，再将薄膜电容器从旋转绕驱架上的取出，分切成薄膜电容所需的薄膜带。本发明工艺简单、易于工业化的特点，实际生产成本较小，这种方法制备的薄膜电容器具有较高的抗氧化性和延展性，同时还具有较大电容量，满足产品轻量化的要求。
技术研发人员：罗文彬
受保护的技术使用者：合肥佳瑞林电子技术有限公司
文档号码：201610617283
技术研发日：2016.08.01
技术公布日：2016.11.23