防止浅层离子注入工艺过程中离子析出的方法与流程

文档序号:12473813阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种防止浅层离子注入工艺过程中离子析出的方法,其特征在于包括:

第一步骤:在晶圆上涂覆第一光刻胶图案,并且利用第一光刻胶图案对晶圆执行第一掺杂类型的离子注入,从而在晶圆中形成第一掺杂类型的阱;

第二步骤:通过热制程去除第一光刻胶图案,其中在晶圆表面由于热制程而形成氧化层;

第三步骤:去除表面氧化层;

第四步骤:在晶圆上涂覆第二光刻胶图案,并且利用第二光刻胶图案对晶圆执行第二掺杂类型的离子注入,从而在晶圆中形成第二掺杂类型的阱。

2.根据权利要求1所述的防止浅层离子注入工艺过程中离子析出的方法,其特征在于,第一掺杂类型的离子注入为P型离子注入。

3.根据权利要求1或2所述的防止浅层离子注入工艺过程中离子析出的方法,其特征在于,第一掺杂类型的阱为P型离子阱区。

4.根据权利要求1或2所述的防止浅层离子注入工艺过程中离子析出的方法,其特征在于,第二掺杂类型的离子注入为N型离子注入。

5.根据权利要求1或2所述的防止浅层离子注入工艺过程中离子析出的方法,其特征在于,第二掺杂类型的阱为N型离子阱区。

6.根据权利要求1或2所述的防止浅层离子注入工艺过程中离子析出的方法,其特征在于,在第三步骤通过湿洗制程去除表面氧化层。

7.根据权利要求6所述的防止浅层离子注入工艺过程中离子析出的方法,其特征在于,在第三步骤,湿洗制程采用氢氟酸和去离子水的混合溶液。

8.根据权利要求6所述的防止浅层离子注入工艺过程中离子析出的方法,其特征在于,湿洗制程的时长为10分钟。

9.根据权利要求6所述的防止浅层离子注入工艺过程中离子析出的方法,其特征在于,湿洗制程去除100A的表面氧化层。

10.根据权利要求1或2所述的防止浅层离子注入工艺过程中离子析出的方法,其特征在于,晶圆上形成有栅极,而且晶圆中形成有源区和漏区。

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