柔性基板的金属导线制作方法与流程

文档序号:16170029发布日期:2018-12-07 21:52阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种柔性基板的金属导线制作方法,其特征在于,其包括:

制备含气泡的聚酰亚胺溶液;

将含气泡的聚酰亚胺溶液涂覆于一基板上;

烘烤固化,在烘烤固化的过程中,气泡逐渐聚集至聚酰亚胺溶液的表层并破裂,在基板上形成表面具有凹孔的聚酰亚胺层;

在聚酰亚胺层上沉积金属层;

图案化金属层,在聚酰亚胺层上形成具有上下起伏的金属导线。

2.根据权利要求1所述的柔性基板的金属导线制作方法,其特征在于:所述聚酰亚胺溶液的粘度为3000~10000CPS。

3.根据权利要求1所述的柔性基板的金属导线制作方法,其特征在于:所述制备含气泡的聚酰亚胺溶液的步骤包括:

准备聚酰亚胺溶液;

向聚酰亚胺溶液中通入气体,形成含不同体积气泡的聚酰亚胺溶液;以及

滤除气泡。

4.根据权利要求3所述的柔性基板的金属导线制作方法,其特征在于:所述滤除气泡的步骤包括令含气泡的聚酰亚胺溶液通过一孔径为1~3μm的滤网。

5.根据权利要求4所述的柔性基板的金属导线制作方法,其特征在于:所述滤网设于盛放聚酰亚胺溶液的容器的出液口处。

6.根据权利要求4所述的柔性基板的金属导线制作方法,其特征在于:所述滤网设于一箱型容器的喷嘴处,所述含气泡的聚酰亚胺溶液经所述喷嘴涂覆于所述基板上。

7.根据权利要求4所述的柔性基板的金属导线制作方法,其特征在于:所述滤网设于一双层管的内管侧壁上,所述含气泡的聚酰亚胺溶液由所述内管侧壁流出后涂覆于所述基板上。

8.根据权利要求1所述的柔性基板的金属导线制作方法,其特征在于:烘烤固化时的温度低于400℃。

9.根据权利要求1所述的柔性基板的金属导线制作方法,其特征在于:形成于金属导线上的起伏为波浪状起伏。

10.根据权利要求1所述的柔性基板的金属导线制作方法,其特征在于:形成于金属导线上的起伏包括平坦处和凹陷处,所述凹陷处对应聚酰亚胺层上有凹孔的位置,所述平坦处对应聚酰亚胺层上的没有凹孔的位置。

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