一种柔性基板处理装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种柔性基板处理装置，通过微调主动辊轮的实时转速以使其线速度保持恒定，从而保证柔性基板在处理液中的处理时间一致，简化了设备结构，降低了成本。本实用新型提供的柔性基板处理装置，包括：处理槽，用于盛放处理液；定位辊轮，位于所述处理液液面的下方；主动辊轮和从动辊轮，位于所述处理液液面的上方；还包括：检测单元，用于采集所述主动辊轮的转动周期；计算单元，用于获取主动辊轮的转动周期，计算并输出满足所需线速度时，需要的主动辊轮的角速度数值；以及微调单元，用于获取并将主动辊轮的角速度调整至所述计算单元计算的角速度数值。
【专利说明】
一种柔性基板处理装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种卷对卷处理装置。
【背景技术】
[0002]由于柔性基板具有可卷曲的特点，所以可利用卷对卷装置对柔性基板进行卷绕转动处理，实现低成本、高效率的生产。但是在现有的卷对卷工艺中，由于卷绕柔性基板的辊轮是匀速旋转的，那么随着柔性基板卷绕层数的不断变化，柔性基板的移动线速度也在不停变化，从而使得柔性基板在处理液中的浸泡时间随着辊轮半径的变化而变化，导致柔性基板上的器件尺寸不均匀，影响柔性显示产品的品质。
[0003]为解决上述技术问题，业内主要提供以下两种技术方案:一种是通过排液和补液的方式来调整处理液的液面高度，以实现柔性基板在处理液中浸泡时间恒定的效果；另一种是根据基板实时线速度的变化量来调整定位辊轮在处理液中的位置，以使柔性基板在处理液中的时间保持恒定。
[0004]但是上述技术方案都需要在原有设备的基础上另外再加硬件装置(如移动排液组件或者位移调整装置)，来调整处理液的液位或是定位辊轮的位置，使得设备结构更加复杂，也相应地增加了成本。
【实用新型内容】
[0005]有鉴于此，本实用新型实施例提供了一种柔性基板处理装置，通过微调主动辊轮的实时转速以使其线速度保持恒定，从而保证柔性基板在处理液中的处理时间一致，简化了设备结构，降低了成本。
[0006]本实用新型一实施例提供的一种柔性基板处理装置，包括:处理槽，用于盛放处理液;定位辊轮，位于所述处理液液面的下方;主动辊轮和从动辊轮，位于所述处理液液面的上方;还包括:检测单元，用于采集所述主动辊轮的转动周期;计算单元，用于获取主动辊轮的转动周期，计算并输出满足所需线速度时，需要的主动辊轮的角速度数值；以及微调单元，用于获取并将主动辊轮的角速度调整至所述计算单元计算的角速度数值；
[0007]其中，所述检测单元为计数器，用于记录主动辊轮的旋转圈数，并将所述主动辊轮的旋转圈数反馈给所述计算单元；
[0008]其中，所述检测单元为传感器，其中，待处理的柔性基板上设置有标记；
[0009]其中，所述标记为等距离间隔设置的图案；
[0010]其中，所述传感器为数字传感器，用于监测并记录卷绕在主动辊轮的连续柔性基板上所经过的标记数目，并将所述标记数目反馈给所述计算单元；
[0011]其中，所述传感器为电荷耦合器件传感器，用于记录相邻两个标记通过所述主动棍轮时所经历的时间间隔，并将记录结果反馈给所述计算单元；
[0012]其中，相邻两个标记间的距离为所述柔性基板沿移动方向的长度；
[0013]其中，所述计算单元为计算机或者服务器；
[0014]其中，所述处理液为刻蚀液、清洗液或者剥离液中的一种。
[0015]本实用新型实施例提供的柔性基板处理装置，通过检测单元和计算单元检测计算出当柔性基板移动速度保持恒定时，主动辊轮需要的角速度，然后通过微调单元对主动辊轮的转速进行微调，即可保证柔性基板在处理液中的浸泡时间保持恒定，不需要额外的硬件装置即可实现柔性基板上器件尺寸的均匀性，保证了柔性显示产品品质的同时，简化了设备结构，降低了成本。
【附图说明】
[0016]图1所示为本实用新型一实施例提供的一种柔性基板处理装置的结构示意图。
[0017]图2所示为本实用新型另一实施例提供的一种柔性基板处理装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0018]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0019]如图1?2所示，本实用新型提供的柔性基板处理装置，包括:用于盛放处理液11的处理槽12，位于处理液11液面下方的定位辊轮15，位于处理液11液面上方的主动辊轮13和从动辊轮14，还包括检测单元17，用于采集主动辊轮13的转动周期，计算单元，用于获取主动辊轮13的转动周期，计算并输出满足所需线速度时，需要的主动辊轮13的角速度数值，以及主动辊轮13，用于获取计算单元计算的角速度数值，并将主动辊轮13的角速度调整至该数值。在本实用新型一实施例中，该计算单元为计算机或者服务器。
[0020]其中，图1所示为本实用新型一实施例提供的柔性基板处理装置的结构示意图。在本实施例中，检测单元17为计数器，该计数器与主动辊轮13连接，用来记录主动辊轮13的旋转圈数m并将数值m反馈给计算单元，其初始值为零，主动辊轮13每旋转一周，计数器记录的旋转圈数111就加一。根据公式￥ = '/￥打='/￥*(1'()+1]1#1())(其中，ro为主动棍轮13的自有半径，ho为单层柔性基板18的厚度)可知，主动辊轮13的线速度V是其旋转圈数m和角速度w的函数，旋转圈数m通过计数器已检测出，要想获得所需的线速度V，计算单元利用上述公式计算出相应的w然后发送给微调单元，微调单元即可对主动辊轮13的角速度进行调整，使其为W。
[0021]图2所示为本实用新型另一实施例提供的柔性基板处理装置的结构示意图。在本实用新型一实施例中，检测单元17为传感器，具体为数字传感器，靠近主动辊轮13设置，其中，待处理的柔性基板18上设置有标记19，该标记19为等距离间隔设置的图案，其图案可以设置在基板的边缘，也可以设置在其他位置，其间隔距离可以根据柔性基板18沿移动方向的长度1的倍数来设置，比如在本实施例中，选择1的1/2倍作为两个标记19的间隔距离，当然，也可以选择其他倍数，本实用新型对此不作具体限定。数字传感器用于监测并记录卷绕在主动辊轮13的连续柔性基板18上所经过的标记19数目，并将该数目反馈给计算单元，数字传感器是通过检测周期对标记19进行计数的，进而获取主动辊轮13的半径/直径变化量，具体过程为，数字传感器实时监测主动辊轮13上连续转动的柔性基板18，每当监测到一个标记19，就累计数值加一，再将累计的数值η反馈给计算单元。根据设定的相邻两个标记19间的距离与1的关系，即可推断出主动辊轮13上通过的柔性基板18的层数kn，其中，k为间隔距离与1的比值。例如，在本实施例中，由于选择1的1/2倍作为两个标记19的间隔距离，那么每经过两个标记19才可判断为经过一层柔性基板18，则k = l/2，再根据如下公式:1ο*h0*kn = 3i(r2-r()2)(其中，ho为单层柔性基板18的厚度，r为kn层柔性基板18卷绕后主动辊轮13的半径，Π)为主动辊轮13的自有半径)，计算单元即可计算出kn层柔性基板18卷绕后主动棍轮13的半径r，进而根据v=w*r计算出满足所需的线速度V时，需要的w数值并将计算结果输出给微调单元，微调单元根据获取的w数值即可实现对主动辊轮13角速度的微调。
[0022]在本实用新型另一实施例中，检测单元17为电荷耦合器件传感器，基板18的边缘间隔设置固定间距为1的标记19，相邻两个标记19构成的直线与柔性基板18的移动方向平行，电荷耦合器件传感器靠近主动辊轮13设置，用于记录相邻两个标记19通过主动辊轮13时所经历的时间间隔，并将记录结果反馈给计算单元，电荷耦合器件传感器是通过检测标记19带来的电荷周期变化进行累计获取半径/直径变化的，具体过程为，每通过一个标记19，便通过电荷变化量记录下与上一个标记19通过时所经历的时间间隔并反馈给计算单元，然后将时间清零，重新开始计时并监测记录下一个标记19通过时的时间间隔，计算单元通过电荷耦合器件传感器反馈的柔性基板18上相邻两个标记19的时间，便可计算出每层柔性基板18的移动线速度，再根据以下两个公式:vn=wn*rn，vn’ =wn’*rn+i(其中，vn为第η个柔性基板18的实时线速度，wn为第η个柔性基板18通过时主动辊轮13的实时角速度，rn为第η个柔性基板18通过时主动辊轮13的半径，νη’为第η+1层柔性基板18需要达到的移动速度，因需要保持柔性基板18的移动速度恒定，SPvn’应为初始线速度vo，Wn’为满足线速度^’时主动辊轮13所需的角速度，即第η+1层柔性基板18需要调整到的角速度，可近似相等)，即可计算出第Π+1层柔性基板18满足线速度Vn’(VO)时所需要的角速度Wn’ ,Wn' =Vn'*wn/Vn，Vn’已知，vn通过1以及电荷耦合器件传感器检测的时间数据已计算出，wn即为上次调整过的K’，通过迭代算法即可计算出所需的wn’并输出给微调单元，微调单元根据获取的数值即可对主动辊轮13的角速度进行微调。
[0023]本实用新型实施例提供的柔性基板处理装置，通过检测单元和计算单元检测计算出当柔性基板移动速度保持恒定时，主动辊轮需要的角速度，然后通过微调单元对主动辊轮的转速进行微调，即可保证柔性基板在处理液中的浸泡时间保持恒定，不需要额外的硬件装置即可实现柔性基板上器件尺寸的均匀性，保证了柔性显示产品品质的同时，简化了设备结构，降低了成本。
[0024]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种柔性基板处理装置，包括: 处理槽，用于盛放处理液； 定位辊轮，位于所述处理液液面的下方； 主动辊轮和从动辊轮，位于所述处理液液面的上方;其特征在于，还包括: 检测单元，用于采集所述主动辊轮的转动周期； 计算单元，用于获取主动辊轮的转动周期，计算并输出满足所需线速度时，需要的主动辊轮的角速度数值;以及 微调单元，用于获取并将主动辊轮的角速度调整至所述计算单元计算的角速度数值。2.根据权利要求1所述的柔性基板处理装置，其特征在于，所述检测单元为计数器，用于记录主动辊轮的旋转圈数，并将所述主动辊轮的旋转圈数反馈给所述计算单元。3.根据权利要求1所述的柔性基板处理装置，其特征在于，所述检测单元为传感器，其中，待处理的柔性基板上设置有标记。4.根据权利要求3所述的柔性基板处理装置，其特征在于，所述标记为等距离间隔设置的图案。5.根据权利要求3所述的柔性基板处理装置，其特征在于，所述传感器为数字传感器，用于监测并记录卷绕在主动辊轮的连续柔性基板上所经过的标记数目，并将所述标记数目反馈给所述计算单元。6.根据权利要求3所述的柔性基板处理装置，其特征在于，所述传感器为电荷耦合器件传感器，用于记录相邻两个标记通过所述主动辊轮时所经历的时间间隔，并将记录结果反馈给所述计算单元。7.根据权利要求6所述的柔性基板处理装置，其特征在于，相邻两个标记间的距离为所述柔性基板沿移动方向的长度。8.根据权利要求1至7任一所述的柔性基板处理装置，其特征在于，所述计算单元为计算机或者服务器。9.根据权利要求1至7任一所述的柔性基板处理装置，其特征在于，所述处理液为刻蚀液、清洗液或者剥离液中的一种。
【文档编号】H01L21/67GK205692808SQ201620669112
【公开日】2016年11月16日
【申请日】2016年6月29日 公开号201620669112.0, CN 201620669112, CN 205692808 U, CN 205692808U, CN-U-205692808, CN201620669112, CN201620669112.0, CN205692808 U, CN205692808U
【发明人】周俊, 朱刚
【申请人】昆山国显光电有限公司