基板分等级存放方法与流程

文档序号:12274866阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基板分等级存放方法,其特征在于,包括如下步骤:

步骤1、提供多个基板,将所述多个基板分为若干等级,得到每一等级的基板的数量;

步骤2、提供多个载具,每个载具均包括多个载位;

步骤3、为收片机构设定手动指定存放模式、随机存放模式、及混合存放模式这三种模式;

在所述手动指定存放模式中,单一载具仅存放一预设的等级的基板;在所述随机存放模式中,单一载具空置时允许任意等级的第一片基板进入,之后仅允许存放与第一次进入该载具的基板的等级相同的基板;在所述混合存放模式中,单一载具至少存放两种等级的基板;

步骤4、设定M组载具为手动指定存放模式载具,分别对应存放多个基板中数量较多的M个等级的基板;设定N个载具为随机存放模式载具,其余载具设定为混合存放模式载具;其中,M、N均为正整数;

步骤5、逐片存放基板,判断当前待存放的基板是否为多个基板中数量较多的M个等级的基板,若是则进入手动指定存放模式,将当前待存放的基板放入M组手动指定存放模式载具中的对应载具中,将下一待存放基板设为当前待存放基板,并重复执行步骤5,若否则进入步骤6;

步骤6、判断当前待存放的基板的等级是否与随机存放模式载具已存放的基板的等级相同,若是则进入随机存放模式,将当前待存放的基板放入随机存放模式载具中的对应载具中,将下一待存放基板设为当前待存放基板,并返回步骤5,若否则进入步骤7;

步骤7、判断当前是否有空置的随机存放模式载具,若有,则进入随机存放模式,将当前待存放的基板放入随机存放模式载具中的一空置载具中,将下一待存放基板设为当前待存放基板,并返回步骤5,若否则进入步骤8;

步骤8、进入混合存放模式,将当前待存放的基板放入混合存放模式载具中,将下一待存放基板设为当前待存放基板,并返回步骤5。

2.如权利要求1所述的基板分等级存放方法,其特征在于,所述混合存放模式包括选择性混合存放模式、及完全混合存放模式;在所述选择性混合存放模式中,单一载具仅同时存放两个或两个以上预设的等级的基板;在所述完全混合存放模式中,单一载具同时存放任意等级的基板。

3.如权利要求2所述的基板分等级存放方法,其特征在于,所述步骤4中,设定K个混合存放模式载具为选择性混合存放模式载具,其余的混合存放模式载具设定为完全混合存放模式载具;其中,K为正整数。

4.如权利要求3所述的基板分等级存放方法,其特征在于,所述步骤8具体包括:

步骤81、设定选择性混合存放模式载具存放除手动指定存放模式载具设定存放的等级的基板、及随机存放模式载具已存放的等级的基板外的两个或两个以上等级的基板;

步骤82、判断当前待存放的基板的等级是否与选择性混合存放模式载具设定存放的基板的等级相同,若是则进入选择混合存放模式,将当前待存放的基板放入选择性混合存放模式载具中,将下一待存放基板设为当前待存放基板,并返回步骤5,若否则进入步骤83;

步骤83、进入完全混合存放模式,将当前待存放的基板放入完全混合存放模式载具中,将下一待存放基板设为当前待存放基板,并返回步骤5。

5.如权利要求1所述的基板分等级存放方法,其特征在于,所述步骤4中每组手动指定存放模式载具的载位总数与相对应等级的基板的数量的差值小于一个手动指定存放模式载具的载位数量。

6.如权利要求1所述的基板分等级存放方法,其特征在于,所述多个载具的数量与生产线上载具存放位置的数量对应。

7.如权利要求1所述的基板分等级存放方法,其特征在于,所述步骤1中利用外部检测机台将多个基板分为若干等级,并得到每个等级的基板的数量。

8.如权利要求1所述的基板分等级存放方法,其特征在于,所述多个基板为玻璃基板。

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