技术特征：
技术总结
本发明涉及一种元件基板以及显示装置，所述元件基板包括基板以及元件层。元件层配置于基板上，其中元件层包括多个主动元件，多个主动元件各包括栅极、栅极绝缘层、金属氧化物半导体层、源极以及漏极。栅极配置于基板上。栅极绝缘层配置于基板上且覆盖于栅极上。金属氧化物半导体层配置于栅极绝缘层上。源极以及漏极配置于金属氧化物半导体层上，其中源极以及漏极各包括第一层及第二层，第一层介于第二层及金属氧化物半导体层之间，且第一层的材料包括氮化钛。借此使得在制造主动元件的过程中，钛原子不易扩散进入金属氧化物半导体层中。因而使得元件基板及显示装置具有良好的信赖性。
技术研发人员：锺旺成
受保护的技术使用者：群创光电股份有限公司
技术研发日：2016.10.31
技术公布日：2017.12.08