薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板和显示装置与流程

文档序号:12613000阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种互补型薄膜晶体管的制作方法,所述互补型薄膜晶体管包括N型金属氧化物薄膜晶体管和P型金属氧化物薄膜晶体管,其特征在于,所述方法包括:

通过一次构图工艺在基板上形成N型金属氧化物薄膜晶体管和P型金属氧化物薄膜晶体管的有源层。

2.根据权利要求1所述的互补型薄膜晶体管的制作方法,其特征在于,所述通过一次构图工艺在基板上形成N型金属氧化物薄膜晶体管和P型金属氧化物薄膜晶体管的有源层包括:

在基板上形成N型金属氧化物层;

对所述N型金属氧化物层进行构图形成第一N型金属氧化物图形和第二N型金属氧化物图形,其中,第一N型金属氧化物图形为N型金属氧化物薄膜晶体管的有源层,第二N型金属氧化物图形用以形成P型金属氧化物薄膜晶体管的有源层;

对第二N型金属氧化物图形进行离子注入,使得第二N型金属氧化物图形转换为P型金属氧化物。

3.根据权利要求1所述的互补型薄膜晶体管的制作方法,其特征在于,所述通过一次构图工艺在基板上形成N型金属氧化物薄膜晶体管和P型金属氧化物薄膜晶体管的有源层包括:

在基板上形成P型金属氧化物层;

对所述P型金属氧化物层进行构图形成第一P型金属氧化物图形和第二P型金属氧化物图形,其中,第一P型金属氧化物图形为P型金属氧化物薄膜晶体管的有源层,第二P型金属氧化物图形用以形成N型金属氧化物薄膜晶体管的有源层;

对第二P型金属氧化物图形进行离子注入,使得第二P型金属氧化物图形转换为N型金属氧化物。

4.根据权利要求1所述的互补型薄膜晶体管的制作方法,其特征在于,所述通过一次构图工艺在基板上形成N型金属氧化物薄膜晶体管和P型金属氧化物薄膜晶体管的有源层之前还包括:

通过一次构图工艺形成第一金属层的图形,所述第一金属层的图形包括N型金属氧化物薄膜晶体管的第一电极的图形和P型金属氧化物薄膜晶体管的第二电极的图形;

所述通过一次构图工艺在基板上形成N型金属氧化物薄膜晶体管和P型金属氧化物薄膜晶体管的有源层之后还包括:

通过一次构图工艺形成第二金属层的图形,所述第二金属层的图形包括N型金属氧化物薄膜晶体管的第三电极的图形和P型金属氧化物薄膜晶体管的第四电极的图形;

其中,所述第一电极和第三电极其中之一为栅电极,另一为源电极和漏电极,所述第二电极和第四电极其中之一为栅电极,另一为源电极和漏电极。

5.根据权利要求1-4任一项所述的互补型薄膜晶体管的制作方法,其特征在于,所述N型金属氧化物薄膜晶体管采用的有源层材料包括IGZO、IZO或ZnON。

6.根据权利要求1-4任一项所述的互补型薄膜晶体管的制作方法,其特征在于,所述P型金属氧化物薄膜晶体管采用的有源层材料包括CuO或SnO。

7.一种互补型薄膜晶体管,所述互补型薄膜晶体管包括N型金属氧化物薄膜晶体管和P型金属氧化物薄膜晶体管,其特征在于,所述互补型薄膜晶体管为采用如权利要求1-6中任一项所述方法制作得到。

8.根据权利要求7所述的互补型薄膜晶体管,其特征在于,所述互补型薄膜晶体管包括:

第一金属层的图形,所述第一金属层的图形包括N型金属氧化物薄膜晶体管的第一电极的图形和P型金属氧化物薄膜晶体管的第二电极的图形;

N型金属氧化物薄膜晶体管的有源层和P型金属氧化物薄膜晶体管的有源层;

第二金属层的图形,所述第二金属层的图形包括N型金属氧化物薄膜晶体管的第三电极的图形和P型金属氧化物薄膜晶体管的第四电极的图形;

其中,所述第一电极和第三电极其中之一为栅电极,另一为源电极和漏电极,所述第二电极和第四电极其中之一为栅电极,另一为源电极和漏电极。

9.一种阵列基板,其特征在于,包括如权利要求7或8所述的互补型薄膜晶体管。

10.根据权利要求9所述的阵列基板,其特征在于,所述阵列基板具体包括:

衬底基板;

位于所述衬底基板上的N型金属氧化物薄膜晶体管的栅电极和P型金属氧化物薄膜晶体管的栅电极;

栅绝缘层;

位于所述栅绝缘层上的N型金属氧化物薄膜晶体管的有源层和P型金属氧化物薄膜晶体管的有源层;

位于N型金属氧化物薄膜晶体管的有源层上的第一刻蚀阻挡层图形和位于P型金属氧化物薄膜晶体管的有源层上的第二刻蚀阻挡层图形;

N型金属氧化物薄膜晶体管的源电极、漏电极和P型金属氧化物薄膜晶体管的源电极、漏电极;

钝化层。

11.根据权利要求9所述的阵列基板,其特征在于,所述阵列基板具体包括:

衬底基板;

位于所述衬底基板上的N型金属氧化物薄膜晶体管的有源层和P型金属氧化物薄膜晶体管的有源层;

位于N型金属氧化物薄膜晶体管的有源层上的第一刻蚀阻挡层图形和位于P型金属氧化物薄膜晶体管的有源层上的第二刻蚀阻挡层图形;

N型金属氧化物薄膜晶体管的源电极、漏电极和P型金属氧化物薄膜晶体管的源电极、漏电极;

栅绝缘层;

位于所述栅绝缘层上的N型金属氧化物薄膜晶体管的栅电极和P型金属氧化物薄膜晶体管的栅电极;

钝化层。

12.根据权利要求9或10所述的阵列基板,其特征在于,所述N型金属氧化物薄膜晶体管的源电极、漏电极和P型金属氧化物薄膜晶体管的源电极、漏电极为采用Al和/或Mo制成。

13.根据权利要求9所述的阵列基板,其特征在于,所述阵列基板具体包括:

衬底基板;

位于所述衬底基板上的N型金属氧化物薄膜晶体管的栅电极和P型金属氧化物薄膜晶体管的栅电极;

栅绝缘层;

位于所述栅绝缘层上的N型金属氧化物薄膜晶体管的有源层和P型金属氧化物薄膜晶体管的有源层;

N型金属氧化物薄膜晶体管的源电极、漏电极和P型金属氧化物薄膜晶体管的源电极、漏电极;

钝化层。

14.根据权利要求9所述的阵列基板,其特征在于,所述阵列基板具体包括:

衬底基板;

位于所述衬底基板上的N型金属氧化物薄膜晶体管的有源层和P型金属氧化物薄膜晶体管的有源层;

N型金属氧化物薄膜晶体管的源电极、漏电极和P型金属氧化物薄膜晶体管的源电极、漏电极;

栅绝缘层;

位于所述栅绝缘层上的N型金属氧化物薄膜晶体管的栅电极和P型金属氧化物薄膜晶体管的栅电极;

钝化层。

15.根据权利要求13或14所述的阵列基板,其特征在于,所述N型金属氧化物薄膜晶体管的源电极、漏电极和P型金属氧化物薄膜晶体管的源电极、漏电极为采用Cu制成。

16.一种显示装置,其特征在于,包括如权利要求9-15中任一项所述的阵列基板。

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