一种金属栅的形成方法与流程

文档序号:11136396阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种金属栅的形成方法,其特征在于包括:

第一步骤:提供形成NMOS区域和PMOS区域的衬底,在NMOS区域和PMOS区域上分别形成伪栅极多晶硅结构,其中伪栅极多晶硅结构侧部形成有侧壁,在硅衬底表面和侧壁侧部形成氮化硅层,并且在氮化硅层上形成层间介质层;

第二步骤:去除伪栅极多晶硅结构;

第三步骤:在NMOS区域和PMOS区域上生长介质层、高介电常数层和覆盖层的叠层;

第四步骤:在叠层上生长TiN层,并且在所述TiN层上沉积TaN层;

第五步骤:去除NMOS区域上的TiN层和TaN层;

第六步骤:在NMOS区域和PMOS区域上沉积TiAl层,并且在TiAl层上沉积TiN阻挡层和可湿性钛涂层的组合层;

第七步骤:在NMOS区域和PMOS区域上沉积Al金属;

第八步骤:在NMOS区域和PMOS区域执行化学机械研磨以露出层间介质层。

2.根据权利要求1所述的金属栅的形成方法,其特征在于,所述叠层中的所述介质层是二氧化硅层,所述叠层中的所述介质层的厚度为1~3nm。

3.根据权利要求1或2所述的金属栅的形成方法,其特征在于,生长介质层的方式是物理气相沉积、化学气相沉积、原子层沉淀、热氧化生长和低压化学气相沉积中的一种。

4.根据权利要求1或2所述的金属栅的形成方法,其特征在于,所述叠层中的高介电常数层的材料是HfO2、La2O3、ZrO2中的一种。

5.根据权利要求1或2所述的金属栅的形成方法,其特征在于,所述叠层中的高介电常数层的厚度为1.5~5nm。

6.根据权利要求1或2所述的金属栅的形成方法,其特征在于,所述叠层中的覆盖层的生长方式是物理气相沉积、化学气相沉积、原子层沉淀、热氧化生长和低压化学气相沉积中的一种。

7.根据权利要求1或2所述的金属栅的形成方法,其特征在于,覆盖层的厚度为1.5~5nm。

8.根据权利要求1或2所述的金属栅的形成方法,其特征在于,TiN层的厚度为3~8nm。

9.根据权利要求1或2所述的金属栅的形成方法,其特征在于,TaN层的厚度为1~5nm。

10.根据权利要求1或2所述的金属栅的形成方法,其特征在于,TiAl层的厚度为5~12nm。

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