一种光电探测器的制作方法

文档序号:12129655阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及半导体器件领域,特别是一种光电探测器,能完成可见光到红外光波段的探测。将硅光电二极管与锗光电二极管通过重掺杂N型Si层背靠背相连,利用Si PIN型光电二极管和Ge PIN型光电二极管分别对短波和长波有较高响应的特点,实现可见光到红外光波段的探测;其中,钝化层既有钝化器件的作用,又有减少短波反射的作用;第一金属阳极接触同时作为电极和金属镜,起到加电压和反射长波光子的作用;而且,本发明涉及的光电二极管工作电压较低,可在5V及以下的电压工作,易与前置放大器混合集成。

技术研发人员:张有润;钟晓康;刘影;李明晔;刘凯;胡刚毅;张波
受保护的技术使用者:电子科技大学
文档号码:201611075272
技术研发日:2016.11.29
技术公布日:2017.03.22

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