一种光伏硅片扩散后蓝黑点的去除方法与流程

文档序号:12681243阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种光伏硅片扩散后蓝黑点的去除方法,其特征在于光伏硅片经扩散散后有蓝黑点,进一步判断该蓝黑点是否已经刻蚀和镀膜工序变成白点;

若扩散后有蓝黑点,对此类光伏硅片进行如下处理:

s101、返工片准备;

s102、去除扩散后的氧化层:采用槽式制绒机,在第一个氢氟酸槽配置5%~8%摩尔浓度的氢氟酸溶液,返工片浸泡5分钟以上;

s103、去除蓝黑点:在第二个氢氟酸槽中配置氢氟酸与双氧水混合溶液,其中:氢氟酸的摩尔浓度为15%~20%,双氧水的摩尔浓度为10%~12%;将步骤s102处理后的返工片在该混合溶液中浸泡15分钟以上;

s104、将步骤s103处理后的返工片放入第一个氢氟酸槽中浸泡3分钟以上;

s105、水洗和烘干后得到干净的光伏硅片;

若镀膜后产生白点,对此类光伏硅片进行如下处理:

s201、返工片准备;

s202、去除镀膜后的氮化硅层:采用槽式制绒机,在第一个氢氟酸槽配置15%~20%摩尔浓度的氢氟酸溶液,浸泡20分钟以上;

s203、去除蓝黑点:在第二个氢氟酸槽中配置氢氟酸与双氧水混合溶液,其中:氢氟酸的摩尔浓度为15%~20%,双氧水的摩尔浓度为10%~12%;将步骤s202处理后的返工片在该混合溶液中浸泡15分钟以上;

s204、将步骤s203处理后的返工片放入第一个氢氟酸槽中浸泡3分钟以上;

s205、水洗和烘干后得到干净的光伏硅片。

2.根据权利要求1所述的一种光伏硅片扩散后蓝黑点的去除方法,其特征在于步骤s102中:第一个氢氟酸槽中氢氟酸的摩尔浓度为5%,步骤s102的返工片浸泡时间为5分钟。

3.根据权利要求1所述的一种光伏硅片扩散后蓝黑点的去除方法,其特征在于步骤s103中:第二个氢氟酸槽中氢氟酸的摩尔浓度为15%,双氧水的摩尔浓度为10%,步骤s103的返工片浸泡时间为15分钟。

4.根据权利要求1所述的一种光伏硅片扩散后蓝黑点的去除方法,其特征在于步骤s104的返工片浸泡时间为3分钟。

5.根据权利要求1所述的一种光伏硅片扩散后蓝黑点的去除方法,其特征在于步骤s202中:第一个氢氟酸槽中氢氟酸的摩尔浓度为15%,步骤s202的返工片浸泡时间为20分钟。

6.根据权利要求1所述的一种光伏硅片扩散后蓝黑点的去除方法,其特征在于步骤s203中:第二个氢氟酸槽中氢氟酸的摩尔浓度为15%,双氧水的摩尔浓度为10%,步骤203的返工片浸泡时间为15分钟。

7.根据权利要求1所述的一种光伏硅片扩散后蓝黑点的去除方法,其特征在于步骤s204的返工片浸泡时间为3分钟。

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