1.一种n型III族氮化物半导体材料,其特征在于,所述n型III族氮化物半导体材料中掺杂有第一掺杂源X和第二掺杂源Y,所述第一掺杂源X和第二掺杂源Y选自第IV族和第VI族中的元素;
所述第一掺杂源X的含量大于10%S,所述第二掺杂元Y的含量大于10%S,且所述第一掺杂源X和第二掺杂源Y的含量之和小于等于100%S,所述S为总的n型元素掺杂量,所述n型III族氮化物半导体材料的厚度不小于15μm。
2.根据权利要求1所述的n型III族氮化物半导体材料,其特征在于,所述第一掺杂源X和第二掺杂源Y选自:Si、Ge、Sn、O、S。
3.根据权利要求2所述的n型III族氮化物半导体材料,其特征在于,所述第一掺杂源X为Si,所述第二掺杂源Y为Ge。
4.根据权利要求3所述的n型III族氮化物半导体材料,其特征在于,所述Si:Ge=(1:3)~(3:1)。
5.根据权利要求1所述的n型III族氮化物半导体材料,其特征在于,所述III族氮化物半导体材料为GaN、AlN、InN、AlGaN、GaInN、AlInN和AlGaInN中的一种。
6.一种n型III族氮化物半导体材料,其特征在于,所述n型III族氮化物半导体材料中掺杂有第一掺杂源X、第二掺杂源Y、……、第N掺杂源Z,所述第一掺杂源X、第二掺杂源Y、……、第N掺杂源Z选自第IV族和第VI族中的元素,所述N>2;
所述第一掺杂源X的含量大于10%S,所述第二掺杂元Y的含量大于10%S、……、所述第N掺杂源Z的含量大于10%S,且所述第一掺杂源X、第二掺杂源Y、……、第N掺杂源Z的含量之和小于等于100%S,所述S为总掺杂量,所述n型III族氮化物半导体材料的厚度不小于15μm。
7.一种n型III族氮化物半导体材料的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括如下步骤:
S1、向反应室内通入反应气,与反应源反应;
S2、向反应室内的第一掺杂源X中通入反应气,得到第一掺杂气体;
S3、向反应室内的第二掺杂源Y中通入反应气,得到第二掺杂气体;
S4、第一掺杂气体、第二掺杂气体以及反应气与反应源的产物与NH3反应,在衬底区域得到X、Y共掺杂的n型III族氮化物半导体材料。