新型硅片周转架的制作方法

文档序号:12407309阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种新型硅片周转架,其特征在于:包括移动架、与所述移动架通过转轴相转动连接的放置架,所述转轴的轴心线与铅垂线相平行,所述移动架的底部转动设置有移动滚轮,所述放置架的上表面设置有若干组定位结构,所述定位结构为对称设置于所述放置架上的L形弹性摩擦块,所述移动架与所述放置架之间设置有将两者锁定的联动锁定机构,所述联动锁定机构包括开设于所述放置架上的若干锁孔、转动设置于所述移动架上的驱动轴、一端部固定设置于所述驱动轴上的若干呈L形的锁定件,所述锁定件的另一端部具有与所述锁孔相配合的锁定部,所述驱动轴的端部固定设置有驱动转盘,所述驱动转盘上固定设置有操作把手。

2.如权利要求1所述的新型硅片周转架,其特征在于:所述放置架上焊接固定有扶手。

3.如权利要求1所述的新型硅片周转架,其特征在于:所述移动架上设置有刹车机构,所述刹车机构包括刹车气缸、设置于所述刹车气缸的活塞杆上的刹车轮。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1