蚀刻设备及其片式收料装置的制作方法

文档序号:11054368阅读:378来源:国知局
蚀刻设备及其片式收料装置的制造方法

本实用新型涉及一种成型设备,尤其涉及一种蚀刻设备及其片式收料装置。



背景技术:

现有的诸如集成电路引线框架在制作过程中,通常都会通过精密冲压的方式在料带上形成通孔或引脚等。冲压的方式一定程度上的满足了引线框架的制作需求。然而,随着电子技术的飞速发展,集成电路的体积越来越小,引脚的数量越来越多。此时,如果仍然采用传统的冲压方式进行成型,模具的花费非常高昂。因此,有必要采用新的技术来替代。



技术实现要素:

本实用新型要解决的技术问题在于,提供一种改进的蚀刻设备及其片式收料装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:提供一种蚀刻设备用片式收料装置,包括机架以及设置于机架上的输送装置、第一存料装置、拾取装置和第一驱动装置;所述输送装置用于输送片料至预定位置,所述第一存料装置位于所述输送装置的一侧,以收纳片料;所述拾取装置可在水平方向上来回移动地安装于所述机架上,并位于所述输送装置和所述第一存料装置的上方,以将所述输送装置上的片料转移至所述第一存料装置中;所述第一驱动装置连接于所述机架和所述拾取装置之间,以驱动所述拾取装置相对于所述机架在水平方向上来回移动。

在一些实施例中,所述拾取装置包括第一基座、可上下移动地安装于该第一基座上的第一拾取单元、以及用于驱动该第一拾取单元上下移动的第二驱动装置;所述第一拾取单元包括尺寸与所述片料相当的吸盘。

在一些实施例中,所述拾取装置包括第一基座、可上下移动地安装于该第一基座上的第一拾取单元、以及用于驱动该第一拾取单元上下移动的第二驱动装置;所述第一拾取单元包括框体、第一夹持机构、第二夹持机构、丝杆以及操作盘;所述第一夹持机构和第二夹持机构能够相向和远离移动地设置于该框体上;所述丝杆分别与第一夹持机构和第二夹持机构反向螺接。

在一些实施例中,所述拾取装置还包括安装于该第一基座上的第二拾取单元,所述第二拾取单元包括可上下移动的吸附机构以及用于驱动该吸附机构上下移动的第五驱动装置;该片式收料装置还包括与所述第二拾取单元对应的第二存料装置,该第二存料装置设置于所述机架上,并位于所述第一存料装置远离所述输送装置的一侧。

在一些实施例中,所述第二存料装置包括界定出容置空间的围框、设置于围框内可上下移动的托板以及用于驱动托板上下移动的第六驱动装置;所述第六驱动装置包括固定于机架上的支架、可转动地安装于支架中的第一丝杆、固定于支架上并与第一丝杆联接的马达、螺套于第一丝杆上的活动板、以及连接于活动板和托板之间的驱动杆。

在一些实施例中,所述第二存料装置包括与控制系统电性连接的第二感测装置,以感测最上层隔离物是否被取走。

在一些实施例中,所述第一存料装置包括可前后移动地安装于机台台面上的第二基座、连接于该第二基座和机架之间以驱动第二基座前后移动的第三驱动装置、安装于该第二基座前侧的第一托盘、安装于该基座后侧的第二托盘、可上下移动地安装于机台上的限位机构以及安装于机台与限位机构之间以驱动限位机构上下移动的第四驱动装置;限位机构与第一托盘或第二托盘配合,形成片料存储空间。

在一些实施例中,所述限位机构包括可上下移动地安装于第四驱动装置上的基板以及分别布置于该基板上的若干个限位柱;所述第一托盘和第二托盘上设有分别供该若干限位柱穿过的穿孔,以与所述若干个限位柱一道界定出片料存储空间。

在一些实施例中,所述第四驱动装置包括纵向安装于所述机架上的第二丝杆、与该第二丝杆联接以驱动该第二丝杆转动的马达以及用于固定该马达的支架;所述第二丝杆与所述限位机构的基板螺合在一起;所述第二存料装置包括与控制系统电性连接的第一感测装置,以感测片料是否装满。

提供一种蚀刻设备,包括卷式放料装置、片料放料装置、显影装置、拉料装置、蚀刻装置、上述任一项中的片式收料装置以及卷式收料装置。

本实用新型的有益效果:本实用新型的片式收料装置中的拾取装置能够将输送装置上的片料转移至第一存料装置,为片料的收料提供极大的便利。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明,附图中:

图1是本实用新型一些实施例中的蚀刻设备的侧视图;

图2是图1所示蚀刻设备的俯视图;

图3是图2所示片式收料装置的立体结构示意图;

图4是图3所示片式收料装置的第一纵向剖面结构示意图,示出了第一存料装置的内部结构示意图;

图5是图3所示片式收料装置第二纵向剖面结构示意图,示出了第一拾取单元的内部结构示意图;

图6是图3所示片式收料装置第三纵向剖面结构示意图,示出了第二存料装置的内部结构示意图;

图7是另一些实施例中的第一拾取单元的立体结构示意图。

具体实施方式

为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解,现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。

本实用新型一些实施例提供了一种蚀刻设备,该蚀刻设备可用于诸如集成电路引线框架等结构的蚀刻成型,具备成型精度高、成本低廉的优点。另外,本蚀刻设备还能实现卷对卷(卷料进卷料出)、卷对片(卷料进片料出)以及片对片(片料进片料出)等多功能,极大地满足了用户的不同需求。

如图1及图2所示,本实用新型一些实施例中的蚀刻设备可依序包括卷式放料装置A、输送辊道B、校平装置C、拉料装置D、显影装置E、第一水洗装置F、第一烘干装置G、蚀刻装置H、第二水洗装置I、剥离装置J、第三水洗装置K、第二烘干装置L、片式收料装置M以及卷式收料装置N。

卷式放料装置A用于承载并平稳放出卷料,该卷料可为按照需要曝光后的材料。可以理解地,在一些实施例中也可以把曝光设备整合到蚀刻设备,从而可以在蚀刻设备中进行曝光。该输送辊道B大致贯穿整个蚀刻设备,以将料带或片料由上游向下游平稳输送,该输送辊道B可包括一个可敞开的前端,以供片料放入,形成片料放料装置。校平装置C可布置在该片料放料装置的紧邻下游,用于对料带进行校平,防止料带不够平整而影响到后续的蚀刻效果。拉料装置D用于拉动料带驱动料带向下游行进,使得卷料被蚀刻呈片料时,料带仍然能够很好地移动。显影装置E用于对曝光后的料带或片料进行显影。第一水洗装置F用于对显影后的料带或片料进行清洗,防止显影药水被带入下游的蚀刻装置H中,而对蚀刻装置H内药水造成污染。第一烘干装置G用于对清洗后的料带进行烘干,在一些实施例中,在第一水洗装置F和第一烘干装置G之间还设置有吸水装置P。蚀刻装置H用于对显影后的料带或片料进行蚀刻,以形成需要的成型结构;蚀刻装置H可以将料带蚀刻成片料。第二水洗装置I用于对蚀刻后的料带或片料进行清洗,剥离装置J用于对清洗后的料带或片料上的菲林膜进行剥离,并具备菲林膜废渣回收功能,以节约剥离药水的使用。第三水洗装置K用于对剥离菲林膜的料带或片料进行清洗,第二烘干装置L则用于对清洗后的料带或片料进行烘干;同样,第三水洗装置K和第二烘干装置L之间也可以设置吸水装置P。片式收料装置M用于收取片料,卷式收料装置N用于收取卷料。

在上述的蚀刻设备中,由于同时具备了卷式放料装置A、片料放料装置、显影装置E、拉料装置D、蚀刻装置H、片式收料装置M以及卷式收料装置N,使得该蚀刻设备具备卷对卷、卷对片以及片对片三种蚀刻成型模式。具体而言,当需要卷料进和卷料出时,则只要片料放料装置和片式收料装置M不工作即可。当需要卷料进和片料出时,只要卷式收料装置N不工作即可。而当需要片料进和片料出时,只要卷式放料装置A和卷式收料装置N不工作即可。如此,该蚀刻设备为用户的使用带来了极大的便利。

如图3所示,片式收料装置M在一些实施例中可包括机架1、输送装置2、第一存料装置3、拾取装置4以及第一驱动装置。输送装置2设置于机架1上,以输送片料至预定位置。第一存料装置3可设置于机架1上,并位于输送装置2的一侧,以收纳片料。拾取装置4可在水平方向上来回移动地安装于机架1上,并位于输送装置2和第一存料装置3的上方,以将输送装置2上的片料转移至第一存料装置3中。第一驱动装置连接于机架1和拾取装置4之间,以驱动拾取装置4相对于机架1在水平方向上来回移动。

在一些实施例中,为了防止在堆叠过程中相邻片料产生磨损,每堆叠一片片料时,都要在上一片料表面放置一张隔离纸等隔离物。片式收料装置M还可包括第二存料装置5,第二存料装置5设置于机架1上,并位于第一存料装置3远离输送装置2的一侧,以存储隔离纸等隔离物。此时,拾取装置4还具备将隔离物转移至第一存料装置3的功能。

机架1在一些实施例中可包括机台11、安装于机台11台面上的支架12以及设置于支架12上的第一导轨13。输送装置2、第一存料装置3以及第二存料装置5均布置在机台11的台面上。支架12在一些实施例中可包括一对竖立的立柱121以及安装于立柱121顶端的水平布置的横梁122。第一导轨13水平安装于横梁122上。

输送装置2在一些实施例中可包括输送辊道21以及设置在输送辊道上方的感测装置22,感应装置22用于感应片料的原点位和极限位,并将感测信号输送给控制系统,由控制系统控制拾取装置4工作。

一同参阅图4,第一存料装置3在一些实施例中可包括可前后移动地安装于机台11台面上的第二基座31、连接于第二基座31和机架1之间以驱动第二基座31前后移动的第三驱动装置32、安装于第二基座31前侧的第一托盘33、安装于第二基座31后侧的第二托盘34、可上下移动地安装于机台11上的限位机构35以及安装于机台与限位机构35之间以驱动限位机构35上下移动的第四驱动装置36。限位机构35可以与第一托盘33或第二托盘34配合,形成片料存储空间。限位机构35的上下移动,使得其与第一托盘33或第二托盘34配合或解除配合。具体地,当限位机构35上移到预定位置时,与第一托盘33或第二托盘34配合;当限位机构35下移到预定位置时,两者的配合解除。

第二基座31在一些实施例中可呈长方形板状,其长度方向与输送装置2的输送方向相平行,并可沿着平行于输送方向(已经前后方向)来回移动。第二基座31包括前后两个安装位,以分别供第一托盘33和第二托盘34安置于其上。第二基座31的前后移动,使得第一托盘33和第二托盘34能够交替地移动到拾取装置4的正下方,使得一个托盘中片料堆满之后能够切换到另一个托盘来承接片料,从而实现一备一用,以提升收料效率。第三驱动装置32在一些实施例中可为诸如气缸等伸缩式驱动装置。

限位机构35在一些实施例中可包括可上下移动地安装于第四驱动装置36上的基板351以及分别布置于该基板351的四角落的四个限位柱352。第一托盘33和第二托盘34的四角落分别设有供该四个限位柱352穿过的穿孔。该四个限位柱352从下往上贯穿台面、第二基座31,并穿设于相应托盘的穿孔中,界定出片料存储空间。当限位机构35向下移动到限位柱352从托盘的穿孔中脱离时,则限位机构35和托盘的配合解除。可以理解地,限位柱352的数量并不局限于四个,三个或四个以上的情形也可。在一些实施例中,当限位柱352穿过第二基座31时,还限制了第二基座31的移动;所以,当需要第二基座31移动时,需要让限位柱252从第二基座31中脱离。

第四驱动装置36可包括纵向安装于机架1上的丝杆361、与丝杆361联接以驱动丝杆361转动的马达362以及用于固定马达362的支架363。丝杆361并与限位机构35的基板351螺合在一起,以通过丝杆361的转动控制限位机构35的上下移动。具体地,当丝杆361在马达362的驱动下正转时,驱动限位机构35向上移动;反之,则向下移动。支架363包括固定板以及将固定板固定于台面下方的固定柱。马达362固定在固定板上,与丝杆361联接。

第一存料装置3在一些实施例中还可包括感测装置37,以感测片料是否装满。具体地,该感测装置37可以是红外感测装置,其发射端和接收端分别布置在第一存料装置3的两侧,当片料堆积到一定高度而阻挡到红外光时,表示满载。此时感测装置可以发出感测信号给控制系统,由控制系统控制限位机构35下移,再控制第二基座31移动到预定位置,此时备用的托盘位于拾取装置4正下方,再让限位机构35上移,再次界定出片料存储空间。这时,卸料人员可以在另一侧把叠好的片料移走,而不会耽搁叠料作业。

再如图3所示,拾取装置4在一些实施例中可包括第一基座41、可上下移动地安装于第一基座41上的第一拾取单元42、安装于第一基座41上的第二拾取单元43以及驱动第一拾取单元42上下移动的第二驱动装置44。第一基座41安装于第一导轨13上,并能够沿着第一导轨13的长度方向来回移动。第一拾取单元42用于将片料从输送装置2上转移至第一存料装置3中,第二拾取单元43用于将第二存料装置5中的隔离物转移至第一存料装置3中。

第一基座41在一些实施例中包括纵向设置的第二导轨411,第一拾取单元42可上下移动地安装在第二导轨411上,其包括尺寸与片料相当的吸盘421,该吸盘421包括与气泵(未图示)相连接的抽气口420,以便拾取或放下片料。第二驱动装置44安装于第二导轨411和第一拾取单元42之间,以驱动第一拾取单元42沿着第二导轨411来回移动。结合图5可知,第一拾取单元42在一些实施例中可呈四棱锥状,并为中空结构,其底面周边区域分布有气孔,以产生吸力去吸附片料的周边区域,从而拾取片料。第二拾取单元43在一些实施例中可包括可上下移动的吸附机构431以及用于驱动该吸附机构431上下移动的第五驱动装置432,吸附机构431大致呈工字形,其四个角落各设置有一个吸盘,以吸附隔离纸等隔离物。

如图6所示,第二存料装置5在一些实施例中可包括界定出容置空间的围框51、设置于围框51内可上下移动的托板52以及用于驱动托板52上下移动的第六驱动装置53。围框51在一些实施例中可包括四个侧壁,该四个侧壁界定出一个矩形的容置空间。托板52与围框51相适配,以便能够将围框51内的隔离纸平稳地推起。第六驱动装置53在一些实施例中可包括固定于台面上的支架531、可转动地安装于支架531中的丝杆532、固定于支架531上并与丝杆532联接的马达533、螺套于丝杆532上的活动板534、以及连接于活动板534和托板52之间的驱动杆535。如此,丝杆532的转动带动活动板534上下移动,进而带动托板52上下移动。

第二存料装置5在一些实施例中还可包括感测装置54,以感测最上层隔离物是否被取走。具体地,该感测装置54可以是红外感测装置,其发射端和接收端分别布置在第二存料装置5的两侧,当隔离物被取走让接收端接收到红外信号时,表示最上层隔离物被取走。此时感测装置54可以发出感测信号给控制系统,由控制系统控制托板52上移,以让隔离物移动至待取走位置,直至第二存料装置5内的隔离物被全部取走为止。

片式收料装置M工作时,可以首先在图3所示状态下,当片料移动到拾取装置4的正下方时,控制系统控制拾取装置4向下移动,与片料紧密接触,再抽气吸住片料。拾取装置4再上升一段距离后,向右移动,直至吸住片料正对第一存料装置3,此时第二拾取单元43正对第二存料装置5。拾取装置4再向下移动将片料放入第一存料装置3,同时,第二拾取单元43从第二存料装置5内吸取隔离物。待片料放入到第一存料装置3中之后,拾取装置4上升复位,并向作移动到初始位置,等待拾取下一个片料,此时第二拾取单元43正对第一存料装置3。当拾取装置4拾取下一个片料时,第二拾取单元43将隔离物放入第一存料装置3并覆盖在片料的表面。如此往复,实现了片料的收料操作。

图7示出了本实用新型另一些实施例中的第一拾取单元42a,该第一拾取单元42a可以替代上述的该第一拾取单元42,其可包括框体420a、第一夹持机构421a、第二夹持机构422a、丝杆423a以及操作盘424a。框体420a在一些实施例中可呈矩形,其在宽度方向上设置有导轨。第一夹持机构421a和第二夹持机构422a能够相向和远离移动地设置于该导轨上,以便能够夹持不同宽度的片料。丝杆423a分别与第一夹持机构421a和第二夹持机构422a反向螺接,使得丝杆423a的转动能够带动第一夹持机构421a和第二夹持机构422a的靠近或远离。第一夹持机构421a和第二夹持机构422a均包括若干个夹子以及驱动夹子开合的第七驱动装置,这些夹子间隔地分布于长度方向上。每个一夹子包括定夹臂以及可转动的动夹臂,第七驱动装置带动动夹臂转动,实现夹子的开合。每个夹持机构的动夹臂均共轴,并与第七驱动装置相联接。

以上所述仅为本实用新型的实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围,凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

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