1.一种蚀刻设备用片式收料装置，其特征在于，包括机架(1)以及设置于机架(1)上的输送装置(2)、第一存料装置(3)、拾取装置(4)和第一驱动装置；所述输送装置(2)用于输送片料至预定位置，所述第一存料装置(3)位于所述输送装置(2)的一侧，以收纳片料；所述拾取装置(4)可在水平方向上来回移动地安装于所述机架(1)上，并位于所述输送装置(2)和所述第一存料装置(3)的上方，以将所述输送装置(2)上的片料转移至所述第一存料装置(3)中；所述第一驱动装置连接于所述机架(1)和所述拾取装置(4)之间，以驱动所述拾取装置(4)相对于所述机架(1)在水平方向上来回移动。
2.根据权利要求1所述的片式收料装置，其特征在于，所述拾取装置(4)包括第一基座(41)、可上下移动地安装于该第一基座(41)上的第一拾取单元(42,42a)、以及用于驱动该第一拾取单元(42,42a)上下移动的第二驱动装置(44)；所述第一拾取单元(42,42a)包括尺寸与所述片料相当的吸盘(421)。
3.根据权利要求1所述的片式收料装置，其特征在于，所述拾取装置(4)包括第一基座(41)、可上下移动地安装于该第一基座(41)上的第一拾取单元(42,42a)、以及用于驱动该第一拾取单元(42,42a)上下移动的第二驱动装置(44)；所述第一拾取单元(42,42a)包括框体(420a)、第一夹持机构(421a)、第二夹持机构(422a)、丝杆(423a)以及操作盘(424a)；所述第一夹持机构(421a)和第二夹持机构(422a)能够相向和远离移动地设置于该框体(420a)上；所述丝杆(423a)分别与第一夹持机构(421a)和第二夹持机构(422a)反向螺接。
4.根据权利要求2或3所述的片式收料装置，其特征在于，所述拾取装置(4)还包括安装于该第一基座(41)上的第二拾取单元(43)，所述第二拾取单元(43)包括可上下移动的吸附机构(431)以及用于驱动该吸附机构(431)上下移动的第五驱动装置(432)；该片式收料装置还包括与所述第二拾取单元(43)对应的第二存料装置(5)，该第二存料装置(5)设置于所述机架(1)上，并位于所述第一存料装置(3)远离所述输送装置(2)的一侧。
5.根据权利要求4所述的片式收料装置，其特征在于，所述第二存料装置(5)包括界定出容置空间的围框(51)、设置于围框(51)内可上下移动的托板(52)以及用于驱动托板(52)上下移动的第六驱动装置(53)；所述第六驱动装置(53)包括固定于机架(1)上的支架(531)、可转动地安装于支架(531)中的第一丝杆(532)、固定于支架(531)上并与第一丝杆(532)联接的马达(533)、螺套于第一丝杆(532)上的活动板(534)、以及连接于活动板(534)和托板(52)之间的驱动杆(535)。
6.根据权利要求5所述的片式收料装置，其特征在于，所述第二存料装置(5)包括与控制系统电性连接的第二感测装置(54)，以感测最上层隔离物是否被取走。
7.根据权利要求1至3任一项所述的片式收料装置，其特征在于，所述第一存料装置(3)包括可前后移动地安装于机台(11)台面上的第二基座(31)、连接于该第二基座(31)和机架(1)之间以驱动第二基座(31)前后移动的第三驱动装置(32)、安装于该第二基座(31)前侧的第一托盘(33)、安装于该第二基座(31)后侧的第二托盘(34)、可上下移动地安装于机台(11)上的限位机构(35)以及安装于机台(11)与限位机构(35)之间以驱动限位机构(35)上下移动的第四驱动装置(36)；限位机构(35)与第一托盘(33)或第二托盘(34)配合，形成片料存储空间。
8.根据权利要求7所述的片式收料装置，其特征在于，所述限位机构(35)包括可上下移动地安装于第四驱动装置(36)上的基板(351)以及分别布置于该基板(351)上的若干个限位柱(352)；所述第一托盘(33)和第二托盘(34)上设有分别供该若干限位柱(352)穿过的穿孔，以与所述若干个限位柱(352)一道界定出片料存储空间。
9.根据权利要求7所述的片式收料装置，其特征在于，所述第四驱动装置(36)包括纵向安装于所述机架(1)上的第二丝杆(361)、与该第二丝杆(361)联接以驱动该第二丝杆(361)转动的马达(362)以及用于固定该马达(362)的支架(363)；所述第二丝杆(361)与所述限位机构(35)的基板(351)螺合在一起；所述第一存料装置(3)包括与控制系统电性连接的第一感测装置(37)，以感测片料是否装满。
10.一种蚀刻设备，其特征在于，包括卷式放料装置、片料放料装置、显影装置、拉料装置、蚀刻装置、权利要求1至9任一项所述的片式收料装置以及卷式收料装置。