一种低温多晶硅薄膜晶体管及显示面板的制作方法

文档序号:12262424阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种低温多晶硅薄膜晶体管及显示面板,解决了现有低温多晶硅薄膜晶体管提供的驱动电流较大的问题,实现了显示面板的高分辨显示。其中,该低温多晶硅薄膜晶体管包括从下到上依次排布的绝缘层、有源层,以及位于有源层之上相对排布的源极和漏极,在源极和漏极之间的有源层上表面形成至少一个凹槽,所述凹槽的延伸方向与源极和漏极正相对方向交错或平行。

技术研发人员:袁波;刘玉成;高胜;徐琳;敖伟
受保护的技术使用者:昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司
文档号码:201621044301
技术研发日:2016.09.08
技术公布日:2017.02.22

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