1.一种多晶硅片用组合夹具,其特征在于,包括:
一主支架,所述主支架四边分别垂直的安装有四个副支架;
四个伸缩杆,四个所述伸缩杆分别安装在四个所述副支架上,所述伸缩杆一端安装有调节螺母;
四个固定块,四个所述固定块分别安装在四个所述伸缩杆的顶端,所述固定块与所述伸缩杆之间安装旋转装置,所述固定块顶端设有橡胶层;
八个回位弹簧,八个所述回位弹簧分别与每个所述固定块的两侧与该所述固定块所连接的所述伸缩杆的两侧相连接。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅片用组合夹具,其特征在于:所述主支架与所述副支架之间通过螺母连接。
3.根据权利要求1所述的一种多晶硅片用组合夹具,其特征在于:所述伸缩杆与所述副支架之间采用螺纹连接。