一种沿面触发结构及其构成的真空弧离子源的制作方法

文档序号:11054360阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种沿面触发结构,其特征在于,包括阴极(1)、触发极(2)、触发绝缘块(3)、触发极馈电杆(5)及触发电源(6),所述触发绝缘块(3)水平设置且其上端面为平面,所述触发极(2)为圆环状,触发极(2)水平设置于触发绝缘块(3)上端面;所述阴极(1)穿过触发绝缘块(3)且其上端的端头部位设于触发极(2)中央,阴极(1)下端与触发电源(6)负极连接;所述触发极馈电杆(5)穿过触发绝缘块(3)且其上端与触发极(2)连接,触发极馈电杆(5)下端与触发电源(6)正极连接;所述触发绝缘块(3)上端面位于阴极(1)与触发极(2)之间的区域涂覆有金属薄膜(4)。

2.根据权利要求1所述的一种沿面触发结构,其特征在于,所述金属薄膜(4)的厚度为100nm~300nm。

3.根据权利要求1所述的一种沿面触发结构,其特征在于,所述阴极(1)与触发极(2)之间的间距为0.1 mm~0.3 mm。

4.根据权利要求1所述的一种沿面触发结构,其特征在于,所述阴极(1)与金属薄膜(4)的材料相同。

5.真空弧离子源,其特征在于,包括放电电源(7)、阳极(9)及权利要求1~4中任意一项所述的沿面触发结构,所述放电电源(7)的正极与阳极(9)连接,其负极与阴极(1)连接。

6.根据权利要求5所述的真空弧离子源,其特征在于,所述阳极(9)为圆筒状,所述触发绝缘块(3)为圆柱状,触发绝缘块(3)的外径与阳极(9)的内径匹配,触发绝缘块(3)嵌入阳极(9)内且与阳极(9)形成过盈配合。

7.根据权利要求6所述的真空弧离子源,其特征在于,还包括阳极绝缘块(8),所述触发极(2)与触发绝缘块(3)同轴设置,且触发极(2)的外径小于触发绝缘块(3)的直径;所述阳极绝缘块(8)填充触发极(2)与阳极(9)之间的区域。

8.根据权利要求7所述的真空弧离子源,其特征在于,所述阳极(9)内壁构成有位于触发极(2)上方的第一环形限位平台,所述第一环形限位平台内径小于触发极(2)外径,所述阳极绝缘块(8)还填充触发极(2)与第一环形限位平台之间的区域。

9.根据权利要求5~8中任意一项所述的真空弧离子源,其特征在于,所述阴极(1)与阳极(9)接通的回路的通电时间不能落后阴极(1)与触发极(2)接通的回路通电时间超过0.3 μs。

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