一种透射EBSD夹具的制作方法

本实用新型属于电子显微学元件技术领域，尤其涉及一种透射EBSD(背散射电子衍射)夹具。

背景技术：

电子显微镜的发明将分辨本领提高到纳米量级，同时也将显微镜的概念由单一的形貌观察扩展到集形貌观察、晶体结构、成分分析等于一体。

目前，常规EBSD分析具有空间分辨率低，绝缘样品荷电效应较强的缺点，严重影响分析质量的提高。

技术实现要素：

本实用新型为解决公知技术中存在的目前EBSD分析空间分辨率低，绝缘样品荷电效应强的问题而提供一种结构简单、安装使用方便、提高工作效率的透射EBSD夹具。

本实用新型为解决公知技术中存在的技术问题所采取的技术方案是：

该透射EBSD夹具包括基座，基座为楔形结构，基座的倾斜面上安装有夹体，夹体上设置有通孔，夹头上设置有与通孔相匹配的滑块，夹头通过滑块活动安装在夹体的通孔内。

进一步，所述的基座的底面安装有螺钉孔。

进一步，所述的夹头与基座水平方向的夹角为70°。

进一步，在不拧紧螺钉前提下，所述的滑块可在一定范围内移动，调节夹头的高度。

进一步，所述的夹头由圆柱杆以及顶端3mm环装样品锁定机构组成。

本实用新型具有的优点和积极效果是：该透射EBSD夹具结构简单，将装有样品的透射电镜专用铜网安装在夹头上，通过基座固定在扫描电镜样品台上，方便对样品进行透射EBSD观察，具有空间分辨率高，荷电效应弱的特点，大幅提高分析质量。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的透射EBSD夹具的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的透射EBSD夹具的剖视图；

图3是本实用新型实施例提供的透射EBSD夹具的夹头结构示意图；

图4是本实用新型实施例提供的透射EBSD夹具的侧视及工作原理图。

图中：1、基座；2、夹体；3、夹头；4、通孔；5、滑块。

具体实施方式

为能进一步了解本实用新型的发明内容、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下：

下面结合图1至图4对本实用新型的结构作详细的描述。

通过基座1下端的螺钉孔将基座1固定在扫描电镜样品台上，通过夹头3将装有样品的透射电镜专用铜网进行固定，通过滑块5将夹体2固定在夹体2的通孔4内。

因为样品台透射EBSD夹具的倾斜角度为70°，可直接实现样品的透射EBSD观察，不需要倾斜扫描电镜样品台。使用该夹具进行透射EBSD观察，具有空间分辨率高，荷电效应弱的特点，相对于常规EBSD分析方法，可大幅提高分析质量。

以上所述仅是对本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改，等同变化与修饰，均属于本实用新型技术方案的范围内。