体弹性波器件和体弹性波器件的制造方法与流程

技术特征：

技术总结
提供体弹性波器件和体弹性波器件的制造方法，将制造时对环境的负荷抑制为较低。BAW器件(11)具有基板(13)以及形成在基板的正面(13a)上的压电元件(23)，在基板的背面侧设置有由凹部形成的弹性波扩散区域(31)，该凹部是将基板的背面局部熔融而形成的。

技术研发人员：阿畠润
受保护的技术使用者：株式会社迪思科
技术研发日：2017.03.01
技术公布日：2017.09.12