技术总结
本发明提供了一种承载装置及离子注入设备,所述承载装置包括:用于承托基板的承托台;以及,用于支撑基板的多个支撑部件,各支撑部件以可移动地方式设置在所述承托台上,以使各支撑部件在基板上的支撑位置可调节。本发明提供的承载装置及离子注入设备,能够减少由于支撑部件与基板接触所引起的亮暗点、白Mura等不良产生。
技术研发人员:刘晨亮;蒋冬华;傅永义;谭超;王学伟;李儒健;罗康;令勇洲;谢银;杨剑波;李飞
受保护的技术使用者:成都京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
文档号码:201710137906
技术研发日:2017.03.09
技术公布日:2017.06.20