技术总结
本发明提供一种阵列基板及其制造方法、显示面板、显示装置。制备方法包括：在基底上依次沉积有源层薄膜、源漏金属薄膜和钝化层薄膜，通过构图工艺形成有源层、源漏电极和第一钝化层图案，第一钝化层的图案与源漏电极的图案相同。阵列基板包括基底，有源层、源漏电极和第一钝化层设置在所述基底上，所述第一钝化层的图案与源漏电极的图案相同。本发明通过在源漏电极上设置第一钝化层，在形成有源层和源漏电极图案的构图工艺中，避免了刻蚀过度甚至光刻胶剥落的缺陷，增加了图案准确性，提高了TFT性能的可靠性。
技术研发人员：崔承镇
受保护的技术使用者：京东方科技集团股份有限公司
文档号码：201710224259
技术研发日：2017.04.07
技术公布日：2017.05.31