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半导体器件和方法与流程
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来源:国知局
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半导体器件和方法与流程
技术特征:
技术总结
提供了半导体器件和制造方法。靠近间隔件形成源极/漏极区,间隔件邻近栅电极。通过注入掩模向源极/漏极区和第一间隔件内实施注入,在间隔件内形成注入区域。本发明实施例涉及半导体器件和方法。
技术研发人员:
张哲诚;林志翰;曾鸿辉
受保护的技术使用者:
台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日:
2017.05.25
技术公布日:
2018.02.13
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