金属‑绝缘体‑金属电容器结构的制作方法

文档序号:11262731阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本文描述了能够提供低压电容器和高压电容器二者的电容器结构。在一个实施例中,电容器结构包括低压电容器和高压电容器。该低压电容器包括从第一金属层形成的第一电极、从第二金属层形成的第二电极、从第三金属层形成的第三电极、在第一与第二电极之间的第一介电层、以及在第二与第三电极之间的第二介电层。该高压电容器包括从第一金属层形成的第四电极、从第三金属层形成的第五电极、以及在第四与第五电极之间的第三介电层,其中,该第三介电层比第一介电层或者第二介电层厚。

技术研发人员:R·亚库什卡斯;V·斯里尼瓦斯;R·W·C·金
受保护的技术使用者:高通股份有限公司
技术研发日:2014.06.13
技术公布日:2017.09.19
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