一种非晶薄膜器件以及制作方法与流程

文档序号:12907345阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种非晶薄膜器件以及制作方法,所述制作方法包括:提供一基底;在所述基底上形成第一电极结构;在所述第一电极结构背离所述基底的一侧形成非晶薄膜层;在所述非晶薄膜层背离所述第一电极结构的一侧形成第二电极结构;其中,所述第一电极结构与所述第二电极结构相互接触连接。该制作方法工艺简单,且由该制作方法制作而成的非晶薄膜器件单向导电性,具有明显的二极管效应,整流效果良好。

技术研发人员:汤卉;唐新桂;刘秋香;蒋艳平;张天富
受保护的技术使用者:广东工业大学
技术研发日:2017.07.20
技术公布日:2017.11.10
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