LED芯片的制作方法与流程

文档序号:13806793阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本申请公开了一种LED芯片的制作方法,涉及LED制作技术领域,该方法依次包括:制作包含GaN基的LED外延片、沉积透明导电层、对透明导电层进行退火处理、制作发光区台面、去除P型GaN层边缘区域的透明导电层、沉积钝化层、制作P型电极、P型焊盘、N型电极和N型焊盘并形成LED芯片组合、切割形成单独的LED芯片。如此方案,在完成透明导电层的沉积后,立即将透明导电层进行退火处理,这样制备出的透明导电层的穿透率高,可有效提升LED芯片的亮度。

技术研发人员:袁章洁;胡卫;李康
受保护的技术使用者:湘能华磊光电股份有限公司
技术研发日:2017.10.18
技术公布日:2018.02.23
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