台面型半导体器件的制作方法

文档序号:11320145阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种台面型半导体器件,包括N+型半导体衬底;N型半导体层,接合于所述N+型半导体衬底的表面;P+型半导体层,接合于所述N型半导体层的表面,与所述N型半导体层共同形成PN接合部;第一沟槽,从所述P+型半导体层的表面到达所述N型半导体层中;钝化层,填充于所述第一沟槽内;第二沟槽,位于相邻的两个第一沟槽之间;钝化薄膜,设在所述第二沟槽的表面;金属层,形成在所述P+型半导体层和N+型半导体衬底的表面。

2.根据权利要求1所述的一种台面型半导体器件,其特征在于:所述钝化薄膜延伸到所述第一沟槽的钝化层上。

3.根据权利要求1所述的一种台面型半导体器件,其特征在于:所述钝化层由SiO2、Si3N4、SIPOS、SiC、聚酰亚胺、玻璃中的一种或多种材料固化制作形成。

4.根据权利要求1所述的一种台面型半导体器件,其特征在于:第二沟槽的深度超过第一沟槽的深度。

5.根据权利要求1所述的一种台面型半导体器件,其特征在于:第一沟槽的宽度为350μm-450μm,深度为35μm-45μm。

6.根据权利要求1所述的一种台面型半导体器件,其特征在于:所述钝化薄膜为SiO2或者聚酰亚胺薄膜。

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